6寸氮化镓外延片招标公告
6寸氮化镓外延片招标公告
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 6寸氮化镓外延片 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 其他 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2017-10-23 16:19 |
| 竞价结束时间： | 2017-10-26 16:19 我要报价 |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 6寸氮化镓外延片 | 12 | 个 | 无 | 无 | 是 | 按行业标准提供服务 | Wafer Diameter：150 mm；Substrate：p-type Si(111)；GaN Channel：> 150 nm；GaN Cap：2 ~ 3 nm；AlGaN barrier：23 nm, 26% Al；AlN spacer：~ 1 nm；Buffer：> 3.5 um；2DEG density：> 9E12/cm2；Electron mobility：> 1500 cm2/Vs；Vertical Breakdown：> 600V @ 1mA/cm2；Surface morphology：rms < 0.5 nm in 5 × 5 μm2；Sheet resistance：< 400 Ω/□；Buffer resistivity：> 105 (Ω·cm)；Wafer bow / Warp：< 50 um | 无 |
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