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聚焦离子束双束系统及附件

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聚焦离子束双束系统技术指标 * 3.1.1.1 Ga离子束分辨率：2.5 nm @ 30 kV *3.1.1.2 Ga 离子束流强度：0.1 pA – 65 nA * 3.1.2.1 电子束分辨率： 0.6 nm @ 15-2 kV； 0.7 nm @ 1 kV； 1.0 nm @500 V *3.1.2.2 STEM分辨率：0.6 nm@30 kV * 3.3.1 高精度piezo-driven压电陶瓷驱动XYR方向； * 3.3.2 X、Y方向马达移动范围：≥150 mm * 3.3.3 XY样品台回复精度：≤ 1.0 mm *3.9.2具有原厂主机软件集成原位样品自动提出系统，用于制备好透射电镜样品后提出：漂移≤50nm/min；马达驱动360度无限制旋转。可在双束电镜操作界面直接控制。可实现编程控制机械手的动作。 *3.9.5 自动TEM样品制备软件：可实现自动控制TEM样品制备过程，包括自动控制机械手的伸缩，样品与针尖的焊接，及最终减薄和低电压清洗样品非晶区。电制冷能谱仪性能指标 1.2 *探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，晶体面积110mm2，有效活区面积80mm2，超薄窗设计，无需液氮冷却，仅消耗电能。 1.3 *能量分辨率：Mn Ka保证优于127eV, 元素分析范围: Be4～Cf98。 1.4 *圆形对称芯片，独立封装FET场效应管，避免X射线轰击。 1.5 *谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV，分辨率变化小于1eV, 48小时内峰位漂移小于1.5eV 1.8 *能谱仪图像处理器及脉冲处理器均与计算机采用分立式设计，电子图像清晰度8192*8192，全谱面分布图清晰度4096*4096 1.12 *定量分析: 可对抛光表面或粗糙表面定量分析。采用定量修正技术, 可对倾斜样品进行修正, 并增强对轻元素的修正。冷冻制备传输系统技术指标 *3.2.1冷冻制备腔室和扫描电镜冷台、冷阱均采用过冷氮气气冷方式；配置分体式安装的液氮杜瓦瓶组件；无需补充液氮的连续运行时间不小于16小时 *3.3.1真空系统涡轮分子泵抽真空系统，抽速为70升/秒，其前级泵为抽速5立方/小时的旋转机械泵；制备腔室真空度优于1*10-6 mbar（液氮冷却时） *3.3.4具有样品断裂、升华、喷镀等功能。可设置及贮存时间-温度的升华参数曲线，全自动升华操作；溅射镀膜头为低电压冷溅射工作方式，标配Pt靶，可选其它靶材，全自动溅射镀膜 *3.5.2 BD兼容冷台：-190℃，温度稳定度<1℃；可兼容电镜样品台高达5KV反向电压冷阱：-190℃或更低 *3.6.1系统需配有触摸电脑及相应操作软件，通过软件可实现自动控制操作及编辑、贮存程序；具有远程诊断功能 *4.1冷冻制备传输系统1台，包括：冷冻传输系统主机(内含断裂、升华及镀膜功能)、涡轮分子泵组件、机械泵、组合式样品预处理装置、样品传输装置、触摸屏电脑（含操作软件）、CCD相机、适配于扫描电镜底座的低温样品台、防污染冷阱、21升分体式液氮杜瓦瓶装置、扫描电镜端口适配组件、铂靶一块、100L自增压液氮杜瓦一个及各种用途的样品座（至少包含标准样品梭2个，平样品梭一个，30°、45°样品托各一个）。

预算：RMB 6,970,000