高精度深紫外双面曝光系统招标公告

招 标 正 文
 

高精度深紫外双面曝光系统招标公告

( 高精度深紫外双面曝光系统 )需求公示

项目名称

高精度深紫外双面曝光系统

是否预选项目

否

采购人名称

南方科技大学

采购方式

公开招标

财政预算限额（元）

*******

项目背景



能源光子学研究平台需要高精度的深紫外双面曝光机来进行微米级的光学对准和图形加工工艺，用于加工高分辨率的Micro-LED和量子点等显示器件。同时，双面对准的曝光功能可以提高显示器件的集成度，把驱动模块和电源管理模块全部做到同一个显示芯片上实现全集成化。

投标人资质要求


1）具有独立法人资格（提供合法有效的营业执照原件扫描件，原件备查）；
2）本项目不接受联合体投标，不允许分包，接受投标人选用进口产品参与投标；
3）参与政府采购项目投标的供应商近三年内无行贿犯罪记录（由采购中心定期向市人民检察院申请对政府采购供应商库中注册有效的供应商进行集中查询，投标文件中无需提供证明材料）；
4）（1.只能将国家或地方法律法规规定的资质要求作为投标人资质要求；2.不得提出投标人须提交任何形式的产品授权书或代理证的要求；3.不得违反《深圳经济特区政府采购条例实施细则》第三十四条的规定。）

货物清单

序号采购计划编号货物名称数量单位备注财政预算限额(元)
1PLAN-2017-136001-000180高精度深紫外双面曝光系统1.0套接受进口*******.0

具体技术要求



序号

货物名称

招标技术要求

1



















高精度深紫外双面曝光系统



主要功能

1.具备真空接触、硬接触、软接触以及接近式曝光模式；

2.具有自动找平功能，能自动调整掩模板和衬底基片之间平行度、间距；

3.具有自动恒功率光刻功能；

4.具有背面对准功能；

5.具有纳米压印的扩展功能

6.可加工芯片尺寸包括碎片，2英寸-6英寸



主要配置

7.主机台、对准台、防震台、背面对准系统、图像存储系统、分离式视场显微镜、物镜各两个（5x、10x、20x）、显微镜照明、 350W曝光单元、汞灯接头、汞灯电源供应器、350W汞灯耗材、UV400 微光学系统、SUSS 双路光传感器365/405nm、直径2英寸衬底盘 、直径100mm寸衬底卡盘、小片10mmx10mm衬底卡盘、3英寸掩模版、5英寸掩模版、Suss 光强计、光强探头 365/405nm各一个。



主要技术规格：

8.适用于2“~ 6”圆片，以及碎片等加工基板

（夹具规格需定制）。

9.对准范围：

X= +/-10.0mm

Y= +/-5.0mm

Theta= +/-5°

工作台位移精度= 0.1 μm

10.背面对准显微镜。

11.*紫外曝光分辨率：<0.8μm

12.曝光时间：0.1~1000sec

13.*设备配置SUSS最新的MO曝光系统，此系统光强的不均匀性 ≦±2%，光强强度 > 40 mw/cm2；同时不需要再调节汞灯的位置；这个系统同时适用于薄胶和厚胶的光刻。

14.*正面对准精度：±0.5μm

15.*背面对准精度：±1μm



商务需求



序号

目录

招标商务需求

（一）免费保修期内售后服务要求

1

免费保修期

货物免费保修期1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。

2

维修响应及故障解决时间

在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知24小时内赶到现场进行修理或更换，投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。

3

其他

为保证售后服务质量，设备必须提供制造厂家授权文件和售后服务承诺。

（二）其他商务要求

1

关于交货

1.1签订合同后120天（日历日）内。

1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。

2

关于验收

2.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。

2.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告：

a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。

b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。

c、货物具备产品合格证。

3

付款方式

合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的65%；余款5%待质保期满且无质量问题并经学校确认后支付。

技术规格偏离表




序号

货物名称

招标技术要求

投标技术响应

偏离情况

说明

1

高精度深紫外双面曝光系统



主要功能

1.具备真空接触、硬接触、软接触以及接近式曝光模式；

2.具有自动找平功能，能自动调整掩模板和衬底基片之间平行度、间距；

3.具有自动恒功率光刻功能；

4.具有背面对准功能；

5.具有纳米压印的扩展功能

6.可加工芯片尺寸包括碎片，2英寸-6英寸



主要配置

7.主机台、对准台、防震台、背面对准系统、图像存储系统、分离式视场显微镜、物镜各两个（5x、10x、20x）、显微镜照明、 350W曝光单元、汞灯接头、汞灯电源供应器、350W汞灯耗材、UV400 微光学系统、SUSS 双路光传感器365/405nm、直径2英寸衬底盘 、直径100mm寸衬底卡盘、小片10mmx10mm衬底卡盘、3英寸掩模版、5英寸掩模版、Suss 光强计、光强探头 365/405nm各一个。



主要技术规格：

8.适用于2“~ 6”圆片，以及碎片等加工基板

（夹具规格需定制）。

9.对准范围：

X= +/-10.0mm

Y= +/-5.0mm

Theta= +/-5°

工作台位移精度= 0.1 μm

10.背面对准显微镜。

11.*紫外曝光分辨率：<0.8μm

12.曝光时间：0.1~1000sec

13.*设备配置SUSS最新的MO曝光系统，此系统光强的不均匀性 ≦±2%，光强强度 > 40 mw/cm2；同时不需要再调节汞灯的位置；这个系统同时适用于薄胶和厚胶的光刻。

14.*正面对准精度：±0.5μm

15.*背面对准精度：±1μm










商务规格偏离表



序号

目录

招标商务条款

投标商务条款

偏离情况

说明

（一）免费保修期内售后服务条款偏离表

1

免费保修期

货物免费保修期1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。







2

维修响应及故障解决时间

在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知24小时内赶到现场进行修理或更换。投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。







3



其他



为保证售后服务质量，设备必须提供制造厂家授权文件和售后服务承诺。







（二）其他商务条款偏离表





1







关于交货





1.1签订合同后120天（日历日）内。







1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。







2

关于验收

2.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。







3

付款方式









合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的65%；余款5%待质保期满且无质量问题并经学校确认后支付。







评标信息




序号

评分项

权重

1

价格

30

2

技术部分

55



序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

技术保障措施

3

专家打分

在投标文件中详细说明保障措施（包括技术团队、技术方案、技术人员、场地、车辆等），评审委员会根据响应情况进行横向比较，按优100分，良80分，中60分，差0分打分。

3

检测报告

（仅适用于对产品有检测要求的项目）

1

专家打分

检测合格的得100分，检测不合格的不得分。

4

样品/演示



1

专家打分

评审委员会根据样品/演示情况进行横向比较，按优100分，良80分，中60分，差0分打分。未提供样品或未演示的该项不得分。

（所有采购项目不允许要求投标人提供大样。样品需求只能将设计图纸作为参考，不得放图片和照片）

5

技术规格偏离情况

50

专家打分

1. 投标人应如实填写《技术规格偏离表》，评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，各项技术参数指标及要求全部满足的得100分，每负偏离一项扣6分。



3

商务需求

7



序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

免费保修期内售后服务条款偏离情况

4

专家评分

投标人应如实填写《免费保修期内售后服务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣50分。



2

其他商务条款偏离情况

3

专家评分

投标人应如实填写《其他商务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣50分。



4

综合实力部分

8



序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

投标人近三年同类业绩（截止日为本项目公告发布之日）

3

专家评分

提供3个同类业绩即得满分，提供2个得60分，提供1个得30分，未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每一个完工项目的合同和验收报告，否则不得分。

2

诚信

5

专家评分

根据《深圳市财政委员会关于加强招投标评审环节诚信管理的通知》（深财购[2013]27号）的要求，投标人在参与政府采购活动中存在诚信相关问题的，本项不得分，未出现相关诚信问题的得满分。以深圳市政府采购履约评价库和政府采购行政处罚记录中的资料为准。履约评价无差评且没有处罚记录的得100分，有差评的或有处罚记录得0分。投标人无需提供任何证明材料，由采购中心工作人员向评委会提供相关信息。




备注1：本公示期限为2个工作日。公示期内如有异议，请登录采购系统，点击“提出需求疑问”功能点进行质疑，由采购人进行回复。
备注2：供应商在公示期过后对采购需求仍有异议的，请向采购人提出，采购人应予答复，并将供应商异议及答复材料在制作采购文件前移交给集中采购机构或社会采购代理机构。（采购公告查询地址：http://www.cgzx.sz.gov.cn/）。采购需求疑问及回复列表
序号疑问标题疑问内容疑问单位疑问人疑问附件疑问日期标题内容单位采购人附件日期

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 紫外 高精度

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