中电流离子注入机设备招标公告
中电流离子注入机设备招标公告
上海机电设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2017-12-23在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:满足28HKMG产品高电流注入需求,并能满足14nm FinFET 技术开发需求
满足28HKMG产品高电流注入需求,并能满足14nm FinFET 技术开发需求
满足28HKMG产品高电流低温注入需求,并能满足14nm FinFET 技术开发需求
满足28HKMG产品高能注入需求,并能满足28nm 及14nm FinFET 技术开发需求
满足28HKMG产品中电流注入需求,并能满足14nm FinFET 技术开发需求
满足28HKMG产品中电流注入需求,并能满足14nm FinFET 技术开发需求
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位,具备了招标条件。
项目已具备招标条件的说明:现招标人资金已到位,具备了招标条件。
2、招标内容
招标项目编号:****-********4610/05
招标项目名称:上海华力集成电路制造有限公司高能量离子注入机
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 高电流离子注入机设备 | 6台 | 满足28HKMG产品高电流注入需求,并能满足14nm FinFET 技术开发需求 | |
2 | 高电流离子注入机(锗&碳)设备 | 5台 | 满足28HKMG产品高电流注入需求,并能满足14nm FinFET 技术开发需求 | |
3 | 高电流离子注入机(低温)设备 | 2台 | 满足28HKMG产品高电流低温注入需求,并能满足14nm FinFET 技术开发需求 | |
4 | 高能量离子注入机设备 | 1台 | 满足28HKMG产品高能注入需求,并能满足28nm 及14nm FinFET 技术开发需求 | |
5 | 中电流离子注入机设备 | 3台 | 满足28HKMG产品中电流注入需求,并能满足14nm FinFET 技术开发需求 | |
6 | 中电流离子注入机(铟)设备 | 4台 | 满足28HKMG产品中电流注入需求,并能满足14nm FinFET 技术开发需求 |
招标
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