紫外光清洗机&有机膜紫外漂白仪招标公告
紫外光清洗机&有机膜紫外漂白仪招标公告
中国电子进出口有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2017-12-29在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:绵阳京东方第6代AMOLED(柔性)生产线项目
资金到位或资金来源落实情况:资金已到位
项目已具备招标条件的说明:具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0714-174BOEMY0001/48
招标项目名称:绵阳京东方第6代AMOLED(柔性)生产线项目
项目实施地点:中国四川省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
0714-174BOEMY0001/24 | 基板搬运篮清洗机 | 3台 | 本设备主要用于【清洗G6卡匣、G6 2in1卡匣和G6 Half卡匣】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质和良好的清洗、干燥效果。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000 |
0714-174BOEMY0001/25 | 平板显示器无尘垂直移栽机 | 3台 | 本设备主要用于【跨楼层搬送CST】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000 |
0714-174BOEMY0001/28 | 三维测试/阵列扫描电镜检查机 | 1台 | 本设备主要用于【表面形貌扫描/成分分析/结晶状态监控】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000 |
0714-174BOEMY0001/29 | 自动光学检查系统&气泡检查机&自动光学检查系统&自动光学检查系统&掩膜板缺陷光学检查机 | 3台&3台&23台&16台(BP 8台/TSP 8 台)&8台 | 本设备主要用于LTPS工艺中发生的不良性PATTERN进行检查的设备&检测G6(2In1)柔性面板工艺所产生的微观、宏观的缺陷检测&【掩膜板缺陷光学检查机】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY25000 |
0714-174BOEMY0001/31 | BOE清洗机&平板显示器玻璃基板初始清洗机&湿法刻蚀机&基板预清洗机&直水连接式清洗机&简易水洗单元&湿法剥离机 | 2台&2台&5台&9(BP Pre Cleaner)台+2台(TSP Pre Cleaner)&4台+1台&3台&13台(BP WET STRIP)+2台(TSP WET STRIP) | 本设备主要用于【低温多晶硅/主动有机发光二极管制程中的BOE清洗工艺】&低温多晶硅/主动有机发光二极管工艺中,成膜前的玻璃表面清洗&【低温多晶硅/主动有机发光二极管制程中的湿法刻蚀工艺】&低温多晶硅/主动有机发光二极管工艺中,干法刻蚀后的玻璃表面清洗。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY25000 |
0714-174BOEMY0001/32 | 薄膜厚度测量仪&薄膜厚度测量仪&结晶检查机&椭偏仪&椭偏仪 | 3台(BP Thickness (SE))+1台(TSP Thickness (SE))&2台&1台&1台&1台 | 本设备主要用于AMOLED基板的膜厚测量&【AMOLED基板触控工艺的膜厚测量】&【 以数据化来协助判断及监控,在准分子激光退火使非晶硅膜转变成多晶硅膜时所需的最佳能量密度&转变成多晶硅后产品的长期电性监控&多晶硅表面均匀性(Mura)的检测及监控,以及透明氧化物半导体数据测试 】&测量TFE薄膜厚度。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY10000 |
0714-174BOEMY0001/33 | 恒温污染物处理设备 | 16台(BP TAU)+2台(TSP TAU) | 本设备主要用于防止曝光机镜头污染。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000 |
0714-174BOEMY0001/34 | 氢氟酸连接式清洗机 | 13台 | 本设备主要用于低温多晶硅/主动有机发光二极管工艺中,成膜前的玻璃表面清洗。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY20000 |
0714-174BOEMY0001/35 | 残留气体成分分析仪 | 76套 | 本设备主要用于检查蒸镀及PECVD工艺过程中不明物质outgassing情况。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000 |
0714-174BOEMY0001/36 | 掩膜板入库检查机&激光切线设备&掩膜板手动修复机&掩膜板图形光学检查机 | 1套&3套&1套&5套 | 本设备主要用于【FMM来料入库检查】&【激光焊切】&【金属掩模板手动修复】&【掩膜板图形光学检查机】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY20000 |
0714-174BOEMY0001/37 | 磨边机 | 2套 | 本设备主要用于6代线二分之一切割后边缘研磨工艺。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000 |
0714-174BOEMY0001/38 | 平板显示器基板切割机 | 2套 | 本设备主要用于【6G玻璃二分之一切割工艺】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000 |
0714-174BOEMY0001/39 | 掩膜板激光修复机 | 9套 | 本设备主要用于【掩膜板激光修复机】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY10000 |
0714-174BOEMY0001/40 | 关键尺寸测量机&基板光刻尺寸光学检测机 | 6台&4台 | 本设备主要用于6世代线低温多晶硅有机发光二极管柔性面板的关键尺寸量测&6世代线半板(925mm*1500mm)低温多晶硅、有机发光二极管的关键尺寸测量&6世代线低温多晶硅有机发光二极管柔性面板的长寸测量。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY20000 |
0714-174BOEMY0001/41 | EPD终点探测系统 | 85台 | 本设备主要用于G6世代柔性工艺干法刻蚀制程中的终点侦测需求。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000 |
0714-174BOEMY0001/43 | 台阶/接触角测试仪 | 2台 | 本设备通过测量出基板表面轮廓以获得高度差数据,辅助主要工艺设备进行制程&G6 Half Glass测量, 设备通过测量出基板表面轮廓以获得高度差数据,辅助主要工艺设备进行制程,并且可以测试接触角,翘曲度和RS。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态质量,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000 |
0714-174BOEMY0001/44 | 曝光前温控设备 | 18台 | 本设备主要用于曝光前玻璃基板温度控制&【曝光前玻璃基板温度控制】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000 |
0714-174BOEMY0001/45 | 超声波清洗机 | 29台 | 本设备主要用于G6世代柔性玻璃在干法刻蚀或物理气相沉积制程前段的超声波清洗工艺。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY10000 |
0714-174BOEMY0001/46 | 四点探针测量仪 | 1台 | 本设备主要用于物理气相沉积膜层电阻测试。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY1500 |
0714-174BOEMY0001/47 | 刻蚀液管理系统 | 7台 | 本设备主要用于低温多晶硅/主动有机发光二极管工艺中刻蚀液管理系统。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000 |
0714-174BOEMY0001/48 | 紫外光清洗机&有机膜紫外漂白仪 | 65台&9台 | 本设备主要用于低温多晶硅/主动有机发光二极管工艺中,玻璃表面处理&光刻工艺显影后基板表面有机膜的固化、漂白处理。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000 |
0714-174BOEMY0001/49 | 高压喷淋清洗机 | 71台 | 本设备主要用于低温多晶硅/主动有机发光二极管工艺中,白玻璃和镀有膜层的玻璃清洗。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000 |
0714-174BOEMY0001/50 | 剥离液管理系统 | 16台 | 本设备主要用于低温多晶硅/主动有机发光二极管工艺中剥离液管理系统。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000 |
0714-174BOEMY0001/51 | 自动化物料输运系统&自动化物料输运系统 | 1套&1套 | 本设备主要用于【在AMHS设备与Index之间搬送CST,实现主工艺之间搬送】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY30000 |
0714-174BOEMY0001/52 | 自动化物料输运系统 | 1套 | 本设备主要用于【在AMHS设备与Index之间搬送CST,实现主工艺之间搬送】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY20000 |
0714-174BOEMY0001/53 | 特气供应系统 | 1套 | 本系统主要用于特殊气体供应。要求系统结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY20000 |
0714-174BOEMY0001/55 | 化学品供给系统 | 1套 | 本设备主要用于【化学品供应及回收】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY20000 |
0714-174BOEMY0001/56 | 显影回收系统&清洗回收系统&平板显示器显影液控制系统 | 3台/3台/18台 | 本设备主要用于显影液回收管理,光刻胶分离。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY10000 |
0714-174BOEMY0001/57 | 分子泵 | 499台 | 本设备主要用于【G6主设备超高真空控制系统】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY10000 |
0714-174BOEMY0001/58 | 热交换器 | 207台 | 本设备主要用于【AMOLED主设备的温控系统】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY20000 |
0714-174BOEMY0001/59 | 固化炉 | 2台 | 本设备主要用于【TSP有机膜固化】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000 |
0714-174BOEMY0001/60 | 自动光学检查系统&自动光学检查系统&自动光学检查系统&自动光学检查系统&自动宏观检测机&自动宏观检测机&自动光学检查系统&自动光学检查系统&自动光学检查系统&自动光学检查系统 | 2套&2套&4套&10套&14套&5套&2套&2套&4套&4套 | 本设备主要用于OLED 工艺中玻璃表面的particle和pattern defect 检查&Lami工艺后柔性薄膜基板上表面或下表面的缺陷以及OLED 工艺中玻璃表面的particle和pattern defect 检查&【1.检查Lami工艺后柔性薄膜基板上下面的缺陷 2. Lami前检查Top, Bottom Film的不良和缺陷】&检测G6柔性面板工艺所产生的微观、宏观的缺陷检测&检查不同型号产品不良情况。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY20000 |
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