气体纯化器气柜招标公告
气体纯化器气柜招标公告
上海机电设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2018-02-03在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:用于12英寸集成电路生产企业的聚焦离子束设备,满足28纳米和14纳米的工艺研发及量产要求
用于12英寸集成电路生产企业的液浸式光刻设备日常生产所需的纯化水和高纯气体的纯度提升,满足28nm以下的工艺研发及量产需求。
满足12英寸集成电路生产企业的28nm、14nm工艺研发和量产要求,用于EPI设备气体纯化
满足12英寸集成电路生产企业的28nm、14nm工艺研发和量产要求,用于承载EPI设备气体纯化器
用于12英寸集成电路生产企业的可靠性项目测试,能够满足华力集成电路制造有限公司28纳米的工艺研发并量产。/
用于12英寸集成电路生产企业的可靠性项目测试,能够满足华力集成电路制造有限公司28纳米的工艺研发并量产。
用于半导体行业硅片的倒片、分检,适用于12英寸硅片,满足28nm及以下工艺研发和量产的技术需要。
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位,具备了招标条件。
项目已具备招标条件的说明:现招标人资金已到位,具备了招标条件。
2、招标内容
招标项目编号:****-********0284/04
招标项目名称:气体纯化器气柜
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 聚焦离子束设备 | 1 | 用于12英寸集成电路生产企业的聚焦离子束设备,满足28纳米和14纳米的工艺研发及量产要求 | |
2 | 光刻机纯化器 | 6 | 用于12英寸集成电路生产企业的液浸式光刻设备日常生产所需的纯化水和高纯气体的纯度提升,满足28nm以下的工艺研发及量产需求。 | |
3 | 气体纯化器 | 4 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm、14nm工艺研发和量产要求,用于EPI设备气体纯化 | |
4 | 气体纯化器气柜 | 3 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm、14nm工艺研发和量产要求,用于承载EPI设备气体纯化器 | |
5 | 晶圆级半自动测试仪设备 | 1 | 用于12英寸集成电路生产企业的可靠性项目测试,能够满足华力集成电路制造有限公司28纳米的工艺研发并量产。/ | |
6 | 晶圆级并行测试系统设备 | 1 | 用于12英寸集成电路生产企业的可靠性项目测试,能够满足华力集成电路制造有限公司28纳米的工艺研发并量产。 | |
7 | 硅片倒片机 | 16 | 用于半导体行业硅片的倒片、分检,适用于12英寸硅片,满足28nm及以下工艺研发和量产的技术需要。 |
招标
|
上海机电设备招标有限公司 关注我们可获得更多采购需求 |
关注 |
最近搜索
无
热门搜索
无