掩模版盒充气柜招标公告
掩模版盒充气柜招标公告
上海机电设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2018-02-16在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于【硅片存储盒检测机/ FOUP INSPECTION】
满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于【部件清洗槽/机】/
满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于【炉管清洗装置(水平式)】
满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于【炉管清洗装置】
满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于【掩模版盒充气柜】/
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位,具备了招标条件。
项目已具备招标条件的说明:现招标人资金已到位,具备了招标条件。
2、招标内容
招标项目编号:****-********0339/05
招标项目名称:掩模版盒充气柜
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 硅片存储盒检测机 | 1台 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于【硅片存储盒检测机/ FOUP INSPECTION】 | |
2 | 部件清洗槽/机 | 12台 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于【部件清洗槽/机】/ | |
3 | 炉管清洗装置(水平式) | 1台 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于【炉管清洗装置(水平式)】 | |
4 | 炉管清洗装置 | 4台 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于【炉管清洗装置】 | |
5 | 掩模版盒充气柜 | 9台 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于【掩模版盒充气柜】/ |
招标
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