12吋晶圆聚焦离子束显微镜&聚焦离子束显微镜&球差校正穿透式电子显微镜招标公告

12吋晶圆聚焦离子束显微镜&聚焦离子束显微镜&球差校正穿透式电子显微镜招标公告

中国电子进出口有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2018-02-27在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:新建12吋内存晶圆厂生产线FAB1生产线
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位
项目已具备招标条件的说明:具备了招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0714-1740JHICC001/56
招标项目名称:福建省晋华集成电路有限公司存储器生产线建设项目
项目实施地点:中国福建省
招标产品列表(主要设备):

序号产品名称数量简要技术规格备注
0714-1740JHICC001/5612吋晶圆聚焦离子束显微镜&聚焦离子束显微镜&球差校正穿透式电子显微镜1台 1台 1台应用于半导体制程材料物性与化性分析、产品制程微区缺陷分析、组件特性与失效分析,wafer FIB具有defect导航功能,可自动导航到defect位置进行缺陷分析及TEM试片制作。能够满足晋华12吋厂工艺研发所需图形观察,线宽量测,可以符合10nm以下之制程需求。应用于半导体制程材料物性与化性分析、产品制程微区缺陷分析、组件特性与失效分析。能够满足晋华12吋厂工艺研发所需图形观察,线宽量测,可以符合10nm以下之制程需求。TEM应用于半导体制程材料物性与化性分析、产品制程微区缺陷分析、组件特性与失效分析,加裝球面像差校正器(Cs corrector)於STEM (scanning transmission electron microscopy),讓TEM的分析能力可推進到原子等級。能够满足晋华12吋厂工艺研发所需图形观察,线宽量测,可以符合10nm以下之制程需求。CNY15000 / USD2500
0714-1740JHICC001/57晶舟盒清洗设备6台通过高压纯水对FOUP/FOSB表面的颗粒清洗,干燥等,去除颗粒CNY10000 / USD1650
0714-1740JHICC001/58挡控片微粒清洗1 台通过化学药液方式,对芯片表面的微粒清洗,能够满足工艺研发并量产的成熟化学清洗设备CNY5000 / USD850
0714-1740JHICC001/59气相氧化膜去除&氧化膜与聚合物去除&铜段硅片刷洗2套 1套 2套3 Reactor 3 Heating (Total : 12 CH)(3组常温无电浆气态蚀刻腔室 3组加热腔室)49%HF (1:500 or 1:300) DHF 1:100 NH4OHCNY20000 / USD3250

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标人应是响应招标、已在招标机构处领购招标文件且满足文件中要求,并参加投标竞争的法人或其他组织。凡是来自中华人民共和国或是与中华人民共和国有正常贸易往来的国家或地区的法人或其他组织均可投标。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2018-02-27
招标文件领购结束时间:2018-03-06
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点:中国电子进出口有限公司, 北京市海淀区复兴路17号国海广场A座新中电大厦21层标书发售处
招标文件售价:¥20000/$3250
5、投标文件的递交
投标截止时间(开标时间):2018-03-20 10:00
投标文件送达地点:中国电子进出口有限公司,北京市海淀区复兴路17号国海广场A座新中电大厦19层
开标地点:中国电子进出口有限公司,北京市海淀区复兴路17号国海广场A座新中电大厦19层
6、投标人在投标前需在上完成注册。评标结果将在公示。
7、联系方式
招标人:福建省晋华集成电路有限公司
地址:福建省泉州市晋江市集成电路科学园联华大道88号
联系人:林先生
联系方式:139*****257
招标代理机构:中国电子进出口有限公司
地址:北京市海淀区复兴路17号国海广场A座
联系人:高攀、马文强、赵天舒
联系方式: 86-***-********; 86-***-********
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):


联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 国际招标 生产线 存储器

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