12吋晶圆聚焦离子束显微镜&聚焦离子束显微镜&球差校正穿透式电子显微镜招标公告
12吋晶圆聚焦离子束显微镜&聚焦离子束显微镜&球差校正穿透式电子显微镜招标公告
中国电子进出口有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2018-02-27在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:新建12吋内存晶圆厂生产线FAB1生产线
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位
项目已具备招标条件的说明:具备了招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0714-1740JHICC001/56
招标项目名称:福建省晋华集成电路有限公司存储器生产线建设项目
项目实施地点:中国福建省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
0714-1740JHICC001/56 | 12吋晶圆聚焦离子束显微镜&聚焦离子束显微镜&球差校正穿透式电子显微镜 | 1台 1台 1台 | 应用于半导体制程材料物性与化性分析、产品制程微区缺陷分析、组件特性与失效分析,wafer FIB具有defect导航功能,可自动导航到defect位置进行缺陷分析及TEM试片制作。能够满足晋华12吋厂工艺研发所需图形观察,线宽量测,可以符合10nm以下之制程需求。应用于半导体制程材料物性与化性分析、产品制程微区缺陷分析、组件特性与失效分析。能够满足晋华12吋厂工艺研发所需图形观察,线宽量测,可以符合10nm以下之制程需求。TEM应用于半导体制程材料物性与化性分析、产品制程微区缺陷分析、组件特性与失效分析,加裝球面像差校正器(Cs corrector)於STEM (scanning transmission electron microscopy),讓TEM的分析能力可推進到原子等級。能够满足晋华12吋厂工艺研发所需图形观察,线宽量测,可以符合10nm以下之制程需求。 | CNY15000 / USD2500 |
0714-1740JHICC001/57 | 晶舟盒清洗设备 | 6台 | 通过高压纯水对FOUP/FOSB表面的颗粒清洗,干燥等,去除颗粒 | CNY10000 / USD1650 |
0714-1740JHICC001/58 | 挡控片微粒清洗 | 1 台 | 通过化学药液方式,对芯片表面的微粒清洗,能够满足工艺研发并量产的成熟化学清洗设备 | CNY5000 / USD850 |
0714-1740JHICC001/59 | 气相氧化膜去除&氧化膜与聚合物去除&铜段硅片刷洗 | 2套 1套 2套 | 3 Reactor 3 Heating (Total : 12 CH)(3组常温无电浆气态蚀刻腔室 3组加热腔室)49%HF (1:500 or 1:300) DHF 1:100 NH4OH | CNY20000 / USD3250 |
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