Plasma清洗设备招标公告

Plasma清洗设备招标公告

苏美达国际技术贸易有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2018-03-05在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:包1 全自动裂片机 11台 包2 陶瓷盘清洗机 4台 包3 甩干机 13台(套) 包4 Plasma清洗设备 12台 包5 RTA退火炉 2台 包6 自动曝光机 4台 包7 自动匀胶机 3台 包8 自动显影机 4台 包9 扩张机 2台 包10 自动裁膜机 1台 包11 激光划片机-双焦点 7台 包12 倒装测试机 8台(套) 包13 全自动刮边机 2台 包14 全自动单面化学机械抛光机 1台 包15 全自动上蜡机 2台 包16 全自动研磨机 3台 包17 全自动硬抛机 1台 包18 AOI芯片目检机 2台(套) 包19 晶圆自动翻转倒膜机 2台 包20 全自动分选机 8台 包21 SPM清洗机 1台(套) 包22 去光阻清洗机 1台(套) 包23 ITO BOE半自动蚀刻清洗机 1台(套) 包24 PSS缺陷及反射率检测设备 3台(套) 包25 光刻版自动清洗机 1台 包26 膜厚测试仪 1台(套)
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0664-1840SUMECA62/04
招标项目名称:Plasma清洗设备
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):

序号产品名称数量简要技术规格备注
1全自动裂片机11台设备产能:≥7片/小时(4英寸7Mil×9Mil,隐切工艺);
2陶瓷盘清洗机4台一次清洗盘数≧3盘
3甩干机13台(套)晶圆尺寸:适用于4/6 inch
4Plasma清洗设备12台制程温度: <70℃(5 min)
5RTA退火炉2台产品尺寸: 4吋、6寸产品及碎片
6自动曝光机4台预对准精度:精度≤50μm。
7自动匀胶机3台晶圆尺寸:适用于4 /6inch且4 /6inch兼容生产,切换生产无需硬件调试。
8自动显影机4台具备DIW清洗功能及洗背功能,且晶片清洗洁净程度必须满足工艺要求
9扩张机2台扩膜倍数范围:1~1.5倍圆度;
10自动裁膜机1台单边切割斜裂宽度小于6um;
11激光划片机-双焦点7台单边切割斜裂宽度小于6um;
12倒装测试机8台(套)带自动清针功能,自动校准功能
13全自动刮边机2台探头测厚精度±3(um)
14全自动单面化学机械抛光机1台设备产能: 月产能 ≥49000
15全自动上蜡机2台一次加工片数2"≥12片, 4"≥5片
16全自动研磨机3台研磨作业时间<25min
17全自动硬抛机1台一次加工片数2"≥12片, 4"≥5片
18AOI芯片目检机2台(套)可加工wafer 尺寸:2-4寸wafer,6寸产品可进行升级;
19晶圆自动翻转倒膜机2台可生产单颗晶粒尺寸大小:101.6μm *127μm~1524μm *1524μm;
20全自动分选机8台扫描判别率: 99.95%(误判率<0.05%);
21SPM清洗机1台(套)节水功能:节水30%以上
22去光阻清洗机1台(套)温控保护:三道保护装置
23ITO BOE半自动蚀刻清洗机1台(套)节水模式:节水30%以上
24PSS缺陷及反射率检测设备3台(套)稼动率(1年内):大于95%
25光刻版自动清洗机1台产能:≥40PC/H
26膜厚测试仪1台(套)设备验收合格后一季度内运行稼动率需大于95%

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1、投标人如为代理商,则必须提供企业法人营业执照副本; 2、投标人如为代理商,则必须提供制造商授权函(如果是针对本次项目的专项授权则必须是正本原件,不接受彩打件。如果是非专项授权可以提供复印件,原件备查) 3、投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明原件或该原件的复印件 4、如果投标文件是由单位负责人授权的被授权代表签署,则需要提供《单位负责人授权书》,授权书中必须要有单位负责人的手写签名或法人章。(如果是针对本次项目的专项授权则必须是正本原件,不接受彩打件或复印件。如果是非专项授权可以提供复印件,原件备查) 如果投标文件直接由单位负责人签署,则不需要授权书。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2018-03-05
招标文件领购结束时间:2018-03-12
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点:苏美达大厦9楼西侧(南京长江路198号)
招标文件售价:¥800/$120
5、投标文件的递交
投标截止时间(开标时间):2018-03-27 13:30
投标文件送达地点:苏美达大厦四楼大会议室
开标地点:苏美达大厦四楼大会议室
6、投标人在投标前需在上完成注册。评标结果将在公示。
7、联系方式
招标人:合肥彩虹蓝光科技有限公司
地址:合肥
联系人:金经理
联系方式:158*****370
招标代理机构:苏美达国际技术贸易有限公司
地址:南京
联系人:邓梦诗
联系方式:***-********
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):

标签: 国际招标 清洗设备

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