湿式清洗工艺机台招标公告
湿式清洗工艺机台招标公告
中国电子进出口有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2018-03-07在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:新建12吋内存晶圆厂生产线FAB1生产线
资金到位或资金来源落实情况:资金已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0714-1740JHICC001/62
招标项目名称:福建省晋华集成电路有限公司存储器生产线建设项目
项目实施地点:中国福建省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
0714-1740JHICC001/60 | 湿式清洗工艺机台 | 8套 | 本招标用于有机聚合物与微粒去除 | CNY20000 / USD3250 |
0714-1740JHICC001/61 | 湿式清洗工艺机台 | 7套 | 本招标用于氧化膜与聚合物去除/铜段溶剂清洗/溶剂清洗/晶背膜去除 | CNY20000 / USD3250 |
0714-1740JHICC001/62 | 湿式清洗工艺机台 | 9套 | 本招标用于氮化硅去除/钴金属去除/硅片刷洗/挡控片膜去除/挡控片微粒清洗 | CNY20000 / USD3250 |
0714-1740JHICC001/63 | 薄膜沉积工艺机台 | 8套 | 能够满足晋华12吋晶圆厂用于各类薄膜沉积系统,该厂商须满足下述各类机台,系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,表现稳定,售后服务优良。 | CNY20000 / USD3250 |
0714-1740JHICC001/64 | 薄膜沉积工艺机台 | 3套 | 够满足晋华12吋晶圆厂用于各类薄膜沉积系统,该厂商须满足下述各类机台,系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,表现稳定,售后服务优良。 | CNY15000 / USD2500 |
0714-1740JHICC001/65 | 薄膜沉积工艺机台 | 3套 | 该厂商能够满足晋华12吋晶圆厂用于各类薄膜沉积系统,该厂商须满足下述各类机台,系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,表现稳定,售后服务优良。 | CNY15000 / USD2500 |
0714-1740JHICC001/66 | 薄膜沉积工艺机台 | 13套 | 厂商能够满足晋华12吋晶圆厂用于各类薄膜沉积系统,该厂商须满足下述各类机台,系统要求设计合理并采用先进科技以保证其拥有良好的运行品质。控制系统采用的执行组件应具备高精度、高可靠性和反应迅速的特点。系统应使用、操作、维修方便,表现稳定,售后服务优良。 | CNY25000 / USD4150 |
招标
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