Heat Exchanger(PECVD)(热交换器(化学气相沉积设备用))招标公告
Heat Exchanger(PECVD)(热交换器(化学气相沉积设备用))招标公告
中国电子进出口有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2018-03-13在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:第10.5代薄膜晶体管液晶显示器件(TFT-LCD)30K扩产项目
资金到位或资金来源落实情况:资金已到位
项目已具备招标条件的说明:具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0714-164HFBOEDT02/96
招标项目名称:第10.5代薄膜晶体管液晶显示器件(TFT-LCD)30K扩产项目
项目实施地点:中国安徽省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
0714-164HFBOEDT02/92 | EPD System(终点检测仪) | 9台 | 本设备主要用于干刻终点检测。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY1500 |
0714-164HFBOEDT02/95 | Heat Exchanger(Dry Etch)(热交换器(干法刻蚀设备用)) | 31台 | 本设备主要用于Dry Etcher工艺腔进行温度控制。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000 |
0714-164HFBOEDT02/96 | Heat Exchanger(PECVD)(热交换器(化学气相沉积设备用)) | 9台 | 本设备主要用于Dry Etcher工艺腔进行温度控制。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY1500 |
0714-164HFBOEDT02/104 | RTPSA(Real Time Plasma Spectral Analysis)(实时光谱分析仪) | 4台 | 本设备主要用于【监测等离子增强化学气相沉积装置工艺腔室状态,用以判断工艺腔运行是否正常】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY1500 |
0714-164HFBOEDT02/105 | Heating Jacket & Hot N2(加热恒温设备) | 124套 | 本设备主要用于【TFT LCD领域PECVD管道加热】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY1500 |
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