键合退火炉招标公告
键合退火炉招标公告
上海机电设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2018-03-18在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:用于12英寸集成电路生产企业的原子层沉积氧化铝炉工艺,满足28nm及以下的工艺研发及量产需求。
用于12英寸集成电路生产企业的键合退火工艺,满足28nm及以下的工艺研发及量产需求
满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于铜化学机械研磨设备(顶层金属层)
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位,具备了招标条件。
项目已具备招标条件的说明:现招标人资金已到位,具备了招标条件。
2、招标内容
招标项目编号:****-********0710/02
招标项目名称:键合退火炉
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 原子层沉积氧化铝炉 | 1台 | 用于12英寸集成电路生产企业的原子层沉积氧化铝炉工艺,满足28nm及以下的工艺研发及量产需求。 | |
2 | 键合退火炉 | 1台 | 用于12英寸集成电路生产企业的键合退火工艺,满足28nm及以下的工艺研发及量产需求 | |
3 | 铜化学机械研磨设备(顶层金属层) | 1台 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求,用于铜化学机械研磨设备(顶层金属层) |
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