紫外光刻机招标公告
紫外光刻机招标公告
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 紫外光刻机 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | ******** 光学仪器 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2018-03-21 12:00 |
| 竞价结束时间： | 2018-03-24 10:08我要报价 |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 紫外光刻机 | 1 | 中国科学院光电技术研究所 | URE-2000/17 型 | 是 | 按行业标准提供服务 | (1)最大曝光面积：4 英寸；(2)光刻分辨力：1.5um（胶厚 2um 的正胶），(3)对准精度：±1um (4)掩模样片整体运动范围： X：15mm;Y:15mm (5)掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸 (6)样片尺寸：直径 15mm-- 100mm；厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm) (7)曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量 (8)照明不均匀性： 5%（直径100mm 范围） (9)最大曝光能量密度：6mW/cm2，能量密度可调整 | 无 |
标签: 大学
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