招标书09017--等离子体增强化学气相沉积及磁控溅射系统

各公司、厂商：
　　上海理工大学材料学院因教学、科研需要，须购置材料制备系统两套。现在网上公开招供应商，欢迎各单位参与投标。
　　一、招标物品与数量
等离子体化学气相沉积与磁控溅射系统
　　二、供应商要求：
1.生产该类系统20年以上 2.注册资金：1000万以上；3.完善的质量管理体系；4.不接受代理商投标；
　　三、系统技术指标
PECVD室极限真空度：≤6.67×10-5pa（单独抽气）
　　分子泵机组工作30分钟后，真空度：5.0×10-3 Pa
　　漏 率：≤10-7 Pa.l/s
　　磁控溅射室： ≤6.67×10-5pa （单独抽气）
　　分子泵机组工作30分钟后，真空度：5.0×10-3 Pa
　　漏 率：≤10-7 Pa.l/s
　　PECVD系统各部组成
　　设备基本配置：主要由真空反应室、配气系统、电器控制系统、报警系统等部分组成。
1、真空反应室： 1套
　　真空室有效尺寸为ф400mm×300mm；由上法兰，下法兰及中间壳体三段结构
组成；上法兰与中间壳体可电动控制升降。上下法兰有水冷环冷却，中间壳体采用采用双层夹壁水冷结构。材料全部采用优质不锈钢，氩弧焊接，表面喷玻璃丸处理后抛光处理。
1.2、电极反应装置：由射频偶合电极板与样品盘组成。
　　1.2.1、电极板尺寸 ф100mm（4英寸），采用匀流板结构配气，可使气流均匀进气；
　　1.2.2、样品盘尺寸 ф100mm（4英寸），加热温度：室温-----1000℃±3℃，连续可调。热电偶闭环控制温度，接地，也可接负偏压：-20—-500v；
　　1.2.3、两极板之间距离可调，20～80mm；
1.3、热丝反应装置：热丝架（由4根组成）放在电极板与样品盘之间，可拆卸；（热丝与基片可在10～20mm之间调节）可加直流大电流：80伏，60安培；灯丝表面温度：室温-1600℃。
1.4、上法兰可电动控制升降，升降距离300mm；
　　2．设备抽气系统：
反应室本底真空由复合分子泵及机械泵机组获得，工作排气由羅茨泵及机械泵，或单独由机械泵完成。
　　2.1、30l/s羅茨泵（成都南光） 1台
　　2.2、11L/s机械泵（进口） 1台
　　2.3、820L/s镀膜专用分子泵（进口） 1台
　2.4、系统压力由薄膜真空计及可控蝶阀控制（进口） 1套
　　　2.5、手动插板阀（超高真空超洁净） 1台
　　3．配气系统：
　　3.1、5路气体由质量流量控制器、手动截止阀、管路、接头等组成，用于气体工作气路：
　　3.2、面板自动显示气路运行状态
　　质量流量控制器： 5只
　　4．电器测量及控制部分：
　　4.1、射频功率源及自动匹配器（进口） 1套
　　功率：600W，13.56Mhz，
　　 直流电源（进口） 1套
功率：500W
　　4.2、复合数显真空计及真空规（成都睿宝）： 1套
　　量程：105Pa～10-5Pa 。
　　4.3、薄膜压强真空计及可控蝶阀： 1套
　　4.4、温度控制电源： 2套
　　温度值数字显示，可控温度：室温-----1000℃（用于样品盘控制温度）
　　4.5、热丝电源： 1套
　　功率：5KW，0－60A可调节；
　　热电偶测温装置，用于测量热丝温度：室温-----1600℃
　　4.6、样品盘负偏压电源： 1套
　　－20V至－500V,样品盘即可接地，也可加偏压。
　　4.7、总控电源： 1套
　　4.8、断水保护；
　　4.9、电器安装控制柜 1台
　　用于安装各种电源机箱。
　　5．安装机台组件 1套。
　　6. 磁控溅射系统
　　6.1 真空室约Φ450X300筒形全不锈钢结构，手动上掀盖结构，上面开有
　　磁控靶、样品台、真空规、照明、观察、抽气、及旁抽等接口。可内烘烤100～150℃。
　　6.2 磁控靶组件： 3套
　　靶材尺寸：2英寸，射频与直流溅射兼容，靶内有水冷；
　　6.3 样品台组件 1套
　　基片尺寸：可放置30mm基片；基片加热最高温度800°C±1°C，
　　6.4 气路系统：与PECVD共用。
　　6.5 水路及水流报警系统
　　四、相关要求：
　　1．交货期：合同签订后以六个月内。
　　2．安装调试：卖方负责货物到买方后，在买方现场安装、调试系统、并交付使用。
　　3．技术服务及培训：进行免费培训。
　　4．验收标准和方法：设备分预验收和终验收，提供元件清单，最终验收在买方现场完成安装、最终验收买方应在系统安装调试完毕后，5个工作日内组织验收，卖方制作验收备忘录，买方签署验收意见。
　　5．质量保证和售后服务要求： 12个月内免费保修，出现故障报修后24小时内到达现场，48小时内排除故障。如出现现场无法修复的故障，供应商负责将产品运回厂家修理，由维修产生的一切费用由卖方负担。保修期后，产品如出现故障，使用者只负担产品维修本身发生的费用，且该费用不能超出当时市场价范围。

　　五、其他
　　技术负责人：王老师 联系电话：***-********
　　投标截止时间：2009年05月11日上午10：00
　　标书请寄：上海理工大学设备科(军工路516号230信箱 邮编200093)
　　联系地址：上海理工大学第二办公楼106室
　　联系电话（传真）：***-********
上海理工大学设备招标领导小组
2009年5月5日