硅槽刻蚀设备招标公告
硅槽刻蚀设备招标公告
湖北省成套招标股份有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2018-03-26在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:武汉新芯集成电路制造有限公司国际设备采购
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0668-1840H*******/04
招标项目名称:武汉新芯集成电路制造有限公司国际设备采购项目(第2批)
项目实施地点:中国湖北省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 高能量离子注入机 | 1 | 详见文件 | |
2 | 前段干法去胶 | 1 | 详见文件 | |
3 | 热反应式深沟槽填孔薄膜化学气相沉积设备 | 1 | 详见文件 | |
4 | 硅槽刻蚀设备 | 1 | 详见文件 | |
5 | 硅栅刻蚀设备 | 1 | 详见文件 | |
6 | 多晶硅立式低压化学气相沉积设备 | 1 | 详见文件 | |
7 | TEOS立式低压化学气相沉积设备 | 1 | 详见文件 | |
8 | 立式高温退火设备 | 1 | 详见文件 | |
9 | 清除浮渣刻蚀设备 | 1 | 详见文件 | |
10 | 氮化硅立式低压化学气相沉积设备 | 1 | 详见文件 |
招标
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