实验用多晶硅铸锭炉、有机半导体器件一体化真空蒸镀设备 采购公告

公告发布日期：2009年5月26日

浙江大学采购中心对《 实验用多晶硅铸锭炉、有机半导体器件一体化真空蒸镀设备 》项目进行竞争性谈判采购，欢迎国内有能力的供应商参加谈判。

1 、采购项目 ： 实验用多晶硅铸锭炉、有机半导体器件一体化真空蒸镀设备 。

标项一： 实验用多晶硅铸锭炉 一台

主要技术要求：

1 、总装机功率：～ 52KVA ；

2 、额定功率： 50KW ；

3 、额定温度： 1500 ℃；

最高温度： 1550 ℃；

4 、控制方式：可控硅调功 + 大电流变压器；

5 、控温精度：± 3 ℃；

6 、石英坩埚尺寸：Φ 254 × 192 ；

7 、极限真空度：≤ 1Pa ；

8 、加热区：二区。

标项二： 有机半导体器件一体化真空蒸镀设备 一台

主要技术要求：

1 、极限真空度不差于 2 × 10-5Pa ，工作背景真空度不差于 4 × 10-4Pa ，以保证更高的镀膜纯净度，提高镀膜质量。

2 、恢复工作真空时间短，从大气到工作背景真空， 40 分钟左右 ( 充干燥氮气 ) 。

3 、四个有机蒸发源，两个金属蒸发源，配备四个掩膜板；蒸发源分别配备挡板，样品和蒸发基底处配有上挡板。

4 、有机蒸发源升温速度不低于 6 0 ℃ / 分钟，稳定时间小于 1 分钟。温度稳定后，上下浮动范围在 0. 2 ℃ 范围内。

2 、采购编号： ZUPC-JZ -******* 。

3 、参加谈判厂（商）家的资格要求：（ 1 ）国内具有独立法人资格；（ 2 ）有相当的技术力量和经济实力；（ 3 ）售后服务能力强；（ 4 ）社会信誉好；（ 5 ）注册资金 50 万元 人民币（含）以上的供应商均可参加。

4 、购买采购文件时间： 2009 年 5 月 26 日至 2009 年 5 月 31 日 （上午 9 ： 00 — 11 ： 30 ；下午 1 ： 30 — 4 ： 30 上班， 5 月 28 日至 5 月 30 日放假不上班，不发售标书）。

5 、谈判文件的购买

（ 1 ）采购文件价格每本 500 元（售后不退） ，凭单位营业执照副本复印件（加盖公章）购买。

（ 2 ）购买地点：浙江大学采购中心（浙江大学紫金港校区东四 139 室）

（ 3 ）联系人： 申 老师

（ 4 ）联系电话： ****-******** ；传真： ****-******** 。

6 、谈判响应文件递交截止时间： 2009 年 6 月 1 日 下午 1 时 30 分 。

7 、参加谈判的供应商在 2009 年 6 月 1 日 下午 1 时 30 分 前应将贰万元保证金交至浙江大学采购中心（浙江大学紫金港校区东四 139 室）。

8 、 自成交公告发出五个工作日后，请未成交单位开具收款收据（有财政或税务机关监制章）到浙江大学采购中心办理谈判响应保证金的退还手续。

9 、 谈判时间： 2009 年 6 月 1 日 下午 1 时 30 分 正，地点：浙江大学紫金港校区东四 156 室。

10 、监督单位： 浙江大学监察处；电话 : ****-******** 。

11 、 通讯地址： 杭州市西湖区余杭塘路 388 号 ；邮编： 310058; Email:zupc@zju.edu.cn 。