江苏大学物理实验中心原子层沉积系统招标公告

江苏大学物理实验中心原子层沉积系统

招 标公 告
江苏大学因教学科研需要，拟购置如下仪器设备，经费已经落实到位，现欢迎符合相关条件的供应商参加投标。

本次招标信息如下：

1、 招 标 编 号：JSDXZBCG-060
招标项目名称：江苏大学物理实验中心购买原子层沉积系统一套

1.1、 资格审查方式：资格预审。
1.2、 资格审查时间：2018年4月 16 日 9 时30 分，潜在投标人提前15分钟到达现场。
1.3、 资格审查地点：江苏大学行政2号楼302室。
2、 申请人应具备的必要资格条件
2.1、 符合国家相关法律及江苏大学招投标管理办法等的规定；
2.2、 具有独立订立合同的能力且信誉良好；
2.3、 具有本次招标货物的供货、安装、售后服务等的成功经验和相应能力；
2.4、 本次采购接受进口产品投标；
2.5、 本次采购不接受联合体投标。
3、 资格审查时潜在投标人需提供的材料(复印件均需加盖公章)：
3.1、 法人代表授权委托书原件（格式见附件二）；
3.2、 法人代表身份证复印件；
3.3、 被授权代表人本人身份证复印件，查看原件；
3.4、 企业营业执照副本复印件（需加盖公章）；
3.5、 提供投标人2016年1月1日以来同类项目销售业绩清单及业绩合同复印件2份。
3.6、 生产厂家针对本项目的代理资格证明文件复印件或者针对本项目的专项授权书原件；一个生产厂家只能针对本项目发一个授权；（本项目需要授权）；
4、 招标文件获取及售价：
4.1、 资格审查合格单位数量达3家及以上的，当场发放招标文件；资格审查合格单位数量小于3家的，招标人不发放招标文件，重新组织招标；重新招标失败的按相关规定执行；
4.2、 招标文件售价：人民币200元，发放招标文件时交纳。售后不退。
5、 投标确认：
5.1、 资格审查合格的潜在投标人在领取招标文件时，当场确认是否参加投标，并填写“供应商参与投标确认函”（格式见附件三），法人授权代表签字确认后有效；
5.2、 如潜在投标人未按上述要求操作或不履行承诺，将自行承担所产生的风险。
6、 投标截止时间及开标时间、开标地点：详见招标文件。
7、 与本次招标有关的事宜请按下列通讯方式联系：
7.1、 技术咨询：江苏大学物理实验中心　王老师　　159*****493
7.2、 商务咨询：
7.2.1、 江苏大学实验室与设备管理处　　 杨老师　　0511－********
7.2.2、 江苏大学采购与招标办公室　　 　 徐老师　　0511－********
7.3、 联系地址：江苏省镇江市学府路301号行政2号楼3楼302室
7.4、 Email：ycl@ujs.edu.cn.








江苏大学采购与招标办公室

2018年4月10日



理学院物理实验中心原子层沉积系统主要技术指标：

1．反应腔

304或316 不锈钢。可以生长最大6 英寸样品的腔体，氮气保护的双O-Ring 高温密封系统，有效隔绝其他气体渗漏。基底加热温度RT-400℃可控，控制精度±1℃。腔体烘烤温度RT-200℃可控，控制精度±1℃。

反应腔内具有可拆卸更换挡版以方便维护。

2. 预留升级接口

设备真空腔室以及控制系统配置用于微波等离子体源和氢分子动能系统的升级接口。

3．沉积模式

包括至少以下2种工作模式：高速沉积的连续模式，沉积超高宽深比结构的停流模式。

4．前驱体源输运系统

共5路前驱体源，1路为常温源，可接水和臭氧/氨气/H2S等气体；4路为加热源，加热温度RT-200℃可控，控制精度±1℃。加热源配备耐高温(325°C) 世伟洛克手动阀，以及世伟洛克前驱体源瓶体积50cc。

5．载气系统

N2或者Ar，须配备质量流量计，流量控制0-50sccm。

6．真空规

爱德华宽范围真空规测量范围10E-4Torr~10E 3Torr

7．高浓度臭氧发生器

包括管路，裂解器附件最高产量>7g/h，最大浓度>3.5%(w/w)

8．真空机械泵系统

采用Fomblin惰性泵油的机械泵系统，抽速1.5 L/s，国际知名品牌。

9. 验收指标

Al2O3 均匀性 ≤ /?1%：在4-6英寸晶圆上沉积100nm，取5个不同点（上、下、左、右、中心）进行测试，计算厚度标准偏差。量方法：椭偏仪

10．安装培训

厂家工程师现场进行安装与培训，包括操作，维护及安全使用等，确保人员熟练使用

11.售后服务

一年免费保修，自验收之日起。



法人代表授权委托书

（投标单位全称）__________________________法定代表人（姓名）____________授权（全权代表姓名）____________为全权代表，参加贵单位组织的（项目名称）___________________________项目的投标，招标编号为________________，其在招标中的一切活动本单位均予承认。

法定代表人签字：______________

单位公章：

二0一八年______月______日

全权代表姓名：_________________________________________

职　　　　务：_________________________________________

详细通讯地址：_________________________________________

传　　　　真：_________________________________________
电　　　　话：_________________________________________
手　　　　机：_________________________________________
邮　　　　箱：_________________________________________
邮　　　　编：_________________________________________


附件三：

供应商参与投标确认函

江苏大学实验室与设备管理处：

本单位自愿参加招标编号为　　　　　　　　　、招标项目名称为　　　　　　　　　　　　项目的投标，在获得招标文件后，按贵方投标文件要求交纳相应费用，并保证准时参加投标，特此确认。

授权代表姓名：

联系电话：

手机号码：

单位名称（公章）：

年　　月　　日


注意事项

1、供应商如确定参加资格审查及参加投标,请填写本函，参与资格审查时一并带（或寄）来，如果不能现场参加资格审查，请于招标公告资格审查截止时间的前一天下午5：00前，按本招标公告的联系方式，将《供应商参与投标确认函》送（或寄）达江苏大学实验室与设备管理处。

2、确认参与的投标单位故意缺席投标的，招标人有权保留拒绝以后一段时间内参与我校仪器设备招投标商务活动的权利。

江苏大学实验室与设备管理处联系方式：

联系电话：0511－******** 联系人：杨春犁

邮箱：ycl@ujs.edu.cn