西安电子科技大学-竞价公告(CB107012018000076)
西安电子科技大学-竞价公告(CB107012018000076)
基本信息: | |
申购单主题: | 真空蒸发镀膜系统 |
申购单类型: | 竞价类 |
设备类别: | 机电设备 |
使用币种: | 人民币 |
竞价开始时间: | 2018-04-17 17:34 |
竞价结束时间: | 2018-04-20 15:36 我要报价 |
申购备注: | 供应商中标当时须联系用户 |
申购设备详情: |
设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
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真空蒸发镀膜系统 | 1 | 套 | 泰科诺 | ZHDS400 | 否 | 按行业标准提供服务 | 1.由纳米薄膜沉积与手套箱组成真空蒸发镀膜系统。2.手套箱部分为米开罗那Universal(2400/750/900mm)手套箱,双工位(4只手),水氧指标小于1 ppm,含一套水分析仪和一套氧分析仪。3.镀膜室净尺寸:≥L400mm×W440mm×H450mm,前门水平滑开式,后门为侧开门,和手套箱嵌套组成真空蒸发镀膜系统。3.复合分子泵+直联旋片泵+高真空插板阀高真空系统,“两低一高”数显复合真空计,极限真空优于5.0×10-5Pa,抽速:从大气抽至10-4Pa≤40min,设备升压率≤0.8Pa/h。4. 基片台旋转速度0~20转/分钟可调,300℃ PID智能温控闭环控制基片台加热,定制掩膜板1套。5.至少 6组束源式控温有机蒸发源(最高温度600°)每组配独立PID智能温控电源,至少两组金属水冷铜电极蒸发源,配8组蒸发源挡板及源间防污隔板。6. 采用PLC+触摸屏半自动控制或全自动控制。7.含有空气压缩机和循环水冷机等配件。 | 无 |
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