热压/紫外对准式纳米压印设备招标公告
热压/紫外对准式纳米压印设备招标公告
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 热压/紫外对准式纳米压印设备 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 机电设备 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2018-04-28 15:05 |
| 竞价结束时间： | 2018-05-05 10:38我要报价 |
| 申购备注： | 1.保修期1年；2.报价包含代理费等货物送到学校指定地点的一切费用；3.合同生效并收到相应发票后支付合同总额的30%作为进度款；设备到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的65%；剩余5%的尾款作为质保金，在验收12个月后在未发现乙方有违反售后服务承诺或质量问题的前提下，由甲方全部无息支付给乙方；4.供应商必须按要求填写附件中的多品牌网上竞价技术要求，并在参与竞价时上传，如不提供，视为无效投标。5.本项目经费拟从G********智能装备与精密加工平台经费支出，项目预算600000元。 |
| 申购设备详情： |
| 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 热压/紫外对准式纳米压印设备 | 1 | 台 | 不指定 | 不指定 | 是 | 按行业标准提供服务 | 热压印单元：1)主机包含：真空系统，温度自动控制系统，压力自动控制系统，水冷系统，PLC全自动控制系统，按键及触屏操作界面；2)设备实现热压印功能；能使用硅、石英制、镍、PDMS软膜制成的压印模板，用于各种不同衬底，包括硅、石英、金属、聚合物薄片等；3)可以根据科研需求提供全系列的纳米压印胶，包括：热塑型压印胶、紫外光固化型纳米压印胶（自由基引发或阳离子引发）、举离型传递层材料、刻蚀型传递层材料、各类模板防粘剂；以上各物品厂家免费提供给买方使用18个月；4)压印精度：压印精度：10 nm重复性：15 nm 能实现线宽的范围：10 nm-1000 um；(5) 压印形式：板对板式均匀气压压印有效压印面积：1mm 至6英寸最大压力： 30kgf/cm2(30个bar)；(6) 固化形式：热固化。加热台升温速度：0.5-1 K/sec；冷却速度0.5-3 k/sec可调；热压所能达到的最高温度：300 OC温度均匀性：±1%；温度设置精度：±1℃；（7）设备真空度： 0.1kpa对准式紫外压印单元：1）主机包含：真空系统，压印模腔自动控制系统，压力自动控制系统，基底运送系统；PLC全自动控制系统，按键及触屏操作界面，紫外光源，XYZ位移对准系统，CCD光学显示系统，载片台加热系统；2）设备实现紫外曝光压印或对准式紫外曝光压印；使用PDMS软膜成的压印模板，用于各种不同的衬底，包括硅、石英、金属、聚合物薄片等；3）紫外光源类型：400W宽频Philips 紫外汞灯光源；4）可以根据科研需求提供全系列的纳米压印胶，紫外光固化型纳米压印胶、举离型传递层材料、刻蚀型传递层材料、快速模板制作材料、各类模板防粘剂； 5）压印精度：压印精度：10 nm重复性：10 nm 能实现线宽的范围：10 nm-1000 um；6） 压印形式：软模自动化压印有效压印面积：1mm 至4英寸；7）压印压力：压印压力在5kPa 至30KPa之间可调；8）固化形式： 紫外固化；9）设备真空度： 0.1kpa；10）载片台加热系统能够对被压印基底进行加热，最高温度可致120℃，温度精度± 2℃；11）设备具备对准压印功能对准精度： ±10um；压印模板吸盘能够进行360度旋转，最小刻划2度，最小调整量15度；X、Y、Z及Theta平台；分场光学显微镜及CCD相机；模板承载及转移系统。 | 登陆后可下载附件 |
|
招标
|
- 关注我们可获得更多采购需求 |
关注 |
最近搜索
无
热门搜索
无
