中核北方核燃料元件有限公司磁控溅射炉设备招标项目-招标公告

中核北方核燃料元件有限公司磁控溅射炉设备招标项目-招标公告

中核北方核燃料元件有限公司磁控溅射炉设备招标项目

招标公告

1. 招标条件

本招标项目中核北方核燃料元件有限公司磁控溅射炉设备招标项目,招标人为中核北方核燃料元件有限公司,招标项目资金来自中央预算内投资,出资比例为100%。该项目已具备招标条件,现对磁控溅射炉进行公开招标。

招标编号:XHTC-HW-2018-0354


2. 项目概况与招标范围



1、设备名称:磁控溅射炉

2、型号规格:非标

3、数 量:一台

4、设备功能

设备可实现在锥形内空工件(约Φ125*Η110mm)内外表面、圆柱形(Φ30*Η800mm)外表面及粉体颗粒(D0.1~0.5mm)外表面溅射镀制单层膜、多层膜和复合膜(共溅射),可以镀制纯金属、合金以及氧化物等薄膜材料,可溅射材料Al\Cr\Ni\Cu\/Zn等(必须可溅镀Cr\Ni\Cu),且能实现反应溅镀镀陶瓷膜。通过软、硬相配合的传感技术、互锁技术、超时控制、智能监控、在线状态记忆、断点保护、安全日记、操作日志等设计,使设备的安全性得以保障。

5、主要性能参数

序号

项目

技术参数

备注

1

溅射室规格

1.若设计为单一真空腔体,尺寸≤长1800mm×宽1100mm×高1000mm;

2.若设计为2个或3个真空腔体,尺寸以最终设计为主,但每个腔体的尺寸≤长1300mm×宽1000mm×高1000mm。


2

工件台旋转

公转、自转+公转、定点自转、1-25rpm,连续可调


3

溅射靶规格

溅射靶尺寸Ф80mm、Ф100mm,总数量8只,两种靶材需配置尺寸与数量之间的对应关系,以设计为准


4

溅射材料

纯金属、合金材料(二元),氧化物


5

溅射靶

布置形式

靶材布置位置、安装数量及规格以供方的设计为准,但需保证镀膜的均匀性要求同时工件镀膜效率最高(要求投标人明确镀膜效率)


6

样品加热

可将样品加热至400℃,PID自动测温、控温,多段控温模式,控温精度±1%


7

样品装载量

Φ30mm*L800mm棒状工件,8-12件/炉;Φ125mm*H110mm锥形工件,8-12件/炉;

100-500μm类球型颗粒不小于100g。


8

溅射不均匀性

±10~±15%(依异形样品形状确定)


9

溅射速率

依据具体工件对应的工艺设计为准,投标人在投标文件中明确


10

真空室

不锈钢真空室,带有前开舱门、观察窗口


11

极限真空

6.7×10-5Pa(环境湿度≤55%)


12

真空室漏气率

≤5.0×10-7Pa·L/s


13

抽气速率

系统短时间暴露大气并充干燥N2开始抽气,溅射室30分钟可达到9.0×10-4Pa


14

真空室保压

系统停泵关机12小时后真空度:≤5Pa


15

工件清洗系统

工件在真空腔室内能实现全部外表面等离子清洗



2.4交货地点:中核北方核燃料元件有限公司

*2.5交货期:合同签订后5个月。



3. 投标人资格要求



3.1在中华人民共和国境内注册的独立法人,具有合法有效的营业执照、组织机构代码证、税务登记证(或三证合一的营业执照)。

3.2投标人必须是投标设备的制造商,并独立于招标人和招标机构,需具备完善、有效的质量保证体系,具有质量保证管理体系认证证书。

3.3投标人近三年来应具有同类或类似投标设备供应和服务的业绩,并提供相应的业绩证明材料(签订日期在2015年1月1日后的同类或类似投标设备供应及服务合同的复印件,至少应包括合同首页、供货范围页及签字页)。

3.4 本项目不接受联合体投标。

3.5法律、行政法规规定的其他条件。


4.招标文件的获取

4.1凡有意参加投标者,需在中核集团电子采购网(http://ecp.cnnc.com.cn/)完成免费注册和报名。完成注册和报名后,请于2018523日上午9:002018528日下午16:00(北京时间,下同),携带以下资料:

(1)合法有效的营业执照;

(2)投标人必须是投标产品制造商,需具备完善、有效的质量保证体系,具有质量保证体系认证证书。

到北京丰台区菜户营东街甲88号鹏润家园豪苑B座29层购买招标文件,或将上述资料加盖公章的扫描件发送到lixirao@xhtc.com.cn。

4.2招标文件每套售价1000元,售后不退。未向招标代理机构购买招标文件并登记备案的潜在供应商均无资格参加投标。

4.3投标人报名截止时间:2018年5月28日下午16:00,截止时间之后不再接受投标人报名。

5. 投标文件的递交

5.1投标文件递交的截止时间(投标截止时间,下同)为2018615900分,地点为中核北方核燃料元件有限公司AP1000办公楼五楼会议室

5.2逾期送达或者不按招标文件要求密封的投标文件,招标人将予以拒收。

6. 发布公告的媒介

本次招标公告在中国招标投标公共服务平台中核集团电子采购网上同时发布。


7. 联系方式

招标人:中核包头核燃料元件股份有限公司

地址:内蒙古包头市青山区乌素图

邮 编:014035

联系人:王飒

电 话:0472-3139779

传 真:0472-3139203

电子邮件:wangsa1981@163.com

网 址:www.cnnfc202.com

开户银行:工行建华支行

账 号:0603023009022110166


招标代理机构:新华招标有限公司

地址:北京丰台区菜户营东街甲88号鹏润家园豪苑B座29层

邮 编:100055

联系人:马女士、李晰饶

电 话:010-63905965、010-63905877

传 真:010-63905988

电子邮件:lixirao@xhtc.com.cn

网 址:www.xhtc.com.cn/

开户银行:招商银行北京海淀支行

账 号:110902295610703




标签: 磁控溅射 燃料 中核

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