受浙江大学委托，杭州求是招标代理有限公司对 以下 项目进行竞争性谈判采购。欢迎国内外有能力的供应商参加谈判。

一、采购编号 ： z6100

二、采购项目 ：磁控溅射镀膜机

三、技术指标：

磁控溅射镀膜机（ z6100 ） 1 台

一、设备用途和功能特点：

1 、该设备是一台高真空镀膜设备，适用于镀制各种单层膜、多层膜。可镀金属、合金、化合物、半导体、陶瓷膜（需配射频电源）、介质复合膜和其它化学反应膜。可用于有机材料的物理化学性能研究实验、有机半导体器件的原理研究实验、 OLED 实验研究、有机薄膜电池研究及太阳能电池研究实验等。

2 、溅射镀膜室

1.1 三支 2 英寸磁控溅射靶（其中可镀铁磁材料的溅射靶一支）。

1.2 样品台：可旋转、可加热、可升降。

1.3 溅射方式：为避免微粒物质落到基片上，采用基片在上、磁控溅射靶在下的结构，即由下向上溅射。

1.4 工作模式：可以采用单靶独立、多靶轮流或组合共溅工作模式，向心溅射。

1.5 磁控溅射靶射频（ RF ）、直流 (DC) 兼容。

1.6 磁控溅射靶面与基片的距离可调，这一功能为寻找最佳实验参数提供了强有力的手段。

1.7 为了保证镀膜的工艺性（预溅射、多层膜、掺杂膜、防止交叉污染和干扰等），每只磁控溅射靶均配备挡板。基片配挡板。

1.8 磁控溅射靶头可调角度，为寻找最佳溅射角度提供了手段。

1.9 基片加热器采用高温加热材料。

3 、由于采用了超高真空密封技术，极限真空度高，可进入 2 × 10-5Pa 量级，

恢复工作背景真空时间短，从大气到工作背景真空（ 7 × 10-4Pa ）时间 30 ～ 40 分钟（充干燥氮气）。设备总体漏放率：关机 12 小时真空度≤ 10Pa 。

4 、超高真空密封主要采用如下技术：玻璃金属焊接技术、陶瓷金属焊接技术、刀口无氧铜金属密封技术等，整机主要采用金属密封技术，真空管路用不锈钢金属波纹管路（不用橡胶管路），采用超高真空阀门。

运动部件的密封，采用磁力耦合传动密封技术。

真空规用金属规（不用玻璃规），密封口用刀口金属密封结构。

5 、系统自动监控和保护功能强，包括缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护等。

6 、 PLC 智能控制系统一套，包括：可编程控制器（ PLC ），液晶显示触摸屏，软件。

7 、数字式智能流量控制仪，可与电脑连网形，全自动闭环控制，一带四。

二、设备技术指标

溅射镀膜室

1. 基片尺寸：≤ 3 英寸，基片加挡板。

2 、基片加热器温度：室温～ 600 ℃ ，可控可调。

3 、基片架公转速度 0 ～ 30 转 / 分，可控可调。

4 、基片架可加热、可旋转、可升降。

5 、靶面到基片距离 60 ～ 100mm 可调。

6 、 Ф2 英寸圆形平面磁控溅射永磁靶，可镀铁磁材料的磁控溅射靶 1 支，可镀普通靶材的磁控溅射靶 2 支；靶材尺寸 Ф2 英寸。

7 、镀膜室的极限真空： 2 × 10-5Pa ，恢复工作背景真空 7 × 10-4Pa ： 30 ～ 40 分钟（新设备充干燥氮气）。

设备总体漏放率：关机 12 小时真空度≤ 10Pa 。

8 、磁控溅射靶电源：射频源 500W 、 13.56MHz ；直流溅射电源 1 台， 1000W 。

9 、质量流量控制器：氩气（ 100sccm ）。

三、工作条件：

供电：～ 380V ，功率 6KW ；

冷却水循环量： 0.2m3/H ，水温： 18 ～ 25 ℃；

工作环境温度： 10 ℃～ 35 ℃；

气动阀门供气压力： 0.6 ～ 0.8MPa ；

质量流量控制器供气压力： 0.05 ～ 0.2MPa 。

四、设备主要配置

溅射镀膜室

1 、真空腔体一套；

2 、前开门机构 1 套；

3 、预留法兰口若干，用于设备的功能扩展；

4 、 CF150 高真空闸板阀 1 台；

5 、 CF35 高真空电控气动旁抽角阀 1 台；

6 、真空抽气不锈钢波纹管路 1 套；

7 、金属高低真空规管各 1 支；

8 、电磁截止阀 1 只；

9 、质量流量控制器 1 台；

10 、玻璃金属焊接观察窗 CF100 1 套；

11 、磁力耦合观察窗挡板 1 套；

12 、基片架 1 套；

13 、基片加热器 1 套，温度：室温～ 600 ℃ ，温度可用电脑编程控制，可控可调；

14 、电控基片挡板 1 套；

15 、 2 英寸磁控溅射靶 3 套（其中 1 套用于镀铁磁材料）；

16 、靶材 2 英寸（由用户自备）；

17 、真空室烘烤照明装置 1 套；

18 、基片升降旋转控制系统 1 套；

19 、温度传感器 1 套，智能电脑温控系统 1 套；

20 、温控电源 1 台；

21 、照明烘烤电源 1 台；

22 、溅射电源： 500W 、 13.56MHz 射频电源 1 台， 500W 直流恒流溅射电源 1 台；

23 、 TM600 膜厚仪一台 ( 含水冷探头一只 );

真空，电器部分

1 、 600L /S 1 台；

2 、 4L /s 机械泵 1 台；

3 、前级带放气电磁阀 1 台，前级电磁截止阀 1 台；

4 、真空室与分子泵联接管路（不锈钢） 1 套

5 、前级三通 1 套，泵阀连接组件 1 套；

6 、数字式流量显示仪 1 台（一带 4 ）；

7 、 1.6m 电控柜 1 台；

8 、总控制电源（机械泵、电磁阀、启动等）

9 、微机型复合真空计 1 套（ 2 高 2 低）

10 、设备机架一套

其它

1 、水欠压断水报警保护系统 1 套；

2 、 相序检测及报警保护系统 1 套；

3 、温度检测及报警保护系统 1 套；

4 、 真空检测及报警保护系统 1 套；

5 、 包装材料、运输及保险、安装调试差旅费

四、参加谈判供应商的资格要求：

符合《中华人民共和国政府采购法》对合格的谈判响应方的要求，具有良好信誉和售后服务能力的企业和供应商。

五、谈判文件的发售：

1 、日期： 2009 年 10 月 12 日 至 2009 年 10 月 22 日 （双休日及法定节假日除外）

2 、时间：上午 8 ： 30-11 ： 30 、下午 13 ： 30-17 ： 00

3 、地点：杭州求是招标代理有限公司（浙江大学玉泉校区设备楼 301 ，杭州市西湖区浙大路 38 号）。

4 、谈判文件售价： 300 元人民币，售后不退。

5 、参加谈判供应商购买谈判文件时应出具的资料：

a ）企业营业执照副本

b ）资质等级证书副本（如有）

c ）法定代表人授权委托书

d ）被授权人身份证

h ）其他资料

6 、联系人：钱老师， E-mail:labmax@zju.edu.cn

电话： ****-******** ，传真： ****-********

六、谈判响应文件递交截止日期： 2009 年 10 月 23 日上午 09:00 止

七、谈判时间： 2009 年 10 月 23 日上午 09:00

八、谈判地点： 杭州求是招标代理有限公司（浙江大学玉泉校区设备楼 301 ，杭州市西湖区浙大路 38 号）

九、谈判保证金：

20000 元（人民币），于开标前在杭州求是招标代理有限公司（浙江大学玉泉校区设备楼 301 室，杭州市西湖区浙大路 38 号）交纳。

交付方式 : 现金 / 汇票 / 支票 / 银行转帐

收款单位（户名） : 杭州求是招标代理有限公司

开户银行：工行浙大支行

银行账号： ****************043