西安电子科技大学-竞价公告(CB107012018000245)
西安电子科技大学-竞价公告(CB107012018000245)
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 电子束与电阻蒸发复合镀膜系统 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 专用仪器仪表 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2018-07-06 17:21 |
| 竞价结束时间： | 2018-07-10 17:10 我要报价 |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 电子束与电阻蒸发复合镀膜系统 | 1 | 台 | 沈阳晨鑫 | ZFS-500 | 是 | 极限真空度：≤6.67×10-5 Pa (经烘烤除气后)；系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，45分钟可达到6.67×10-4Pa；系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等部分组成；1、真空室组件 1套真空室为U型箱体活开门结构，尺寸为500mm ×500mm ×600mm，四壁水道冷却，壁挂防污板，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：1.1、RF200法兰接口：1个（接旋转基片加热台组件）；1.2、RF100法兰接口：1个（观察窗口）；1.3、RF10法兰接口：1个（进气接口）；1.4、CF200法兰接口：1个（接分子泵）；1.5、CF35法兰接口：5个(接电离规管、膜厚仪、旁抽、2个备用)；1.6、CF16法兰接口：8个（进气接口、烘烤照明、高压放电电极、充气阀、蒸发电极挡板直接转轴、1个备用两芯引线、2个备用）；1.7、ZC16法兰接口：1个(接低真空规管)；2、旋转基片加热台(具体尺寸及数量根据用户要求设计) 1套 2.1、单拱形基片架：2寸样品（可放置30片）；2.2、基片架可实现连续转动，转速5-20转/分钟连续可调；2.3、 基片架旋转通过调速电机驱动，磁流体密封 3、离子轰击系统1套其中轰击电源：电压3000V,电流160mA，用于清洗样品表面。4、电阻蒸发源1套 4.1、蒸发水冷电极4根，组成2个蒸发舟，蒸发控制电源2套，，蒸发电源电压10V，电流300A，最大输出功率3Kw；4.2、蒸发源手动控制挡板：1套；5、电子枪及电源1套 5.1、270°E型电子枪及高压电源，电子枪功率0—8 KW可调（成都）；5.2、电子枪阳极电压： 8kv；5.3、电子束可二维扫描调节，最大扫描正负15mm（X，Y），备有遥控盒, 可手持遥控操作扫描；5.4、水冷式坩埚：四穴坩埚，每个容量约为11 ml，手动切换；单穴尺寸：Φ30mm ×Φ22mm ×22mm（圆台型）；5.5、可控制坩埚位置变化；5.6、由气动驱动坩埚挡板；5.7、具有高压灭弧自动复位功能； 3.、石英晶体振荡膜厚监控仪 （国产） 1套 6.1、监测膜厚显示范围：0~99μ9999？；6.2、厚度分辨率：1？；6.3、速率显示分辨率：0~9999.9 ？；6.4、控制精度：1 ？；6.5、监测时间显示范围：1分~99小时；4.、工作气路 3路7.1、200SCCM质量流量控制器、充气阀CF16、管路、接头等：1路（北京）7.2、微调阀（上海）、管路、接头等：1路；7.3、充气阀D6、管路、接头等：1路（解除真空冲氮气）；5.、抽气机组及阀门、管道 1套8.1、复合分子泵及变频控制电源：1台（抽速1200升/秒，北京）；8.2、直联机械泵：1台（抽速8升/秒，浙江）； 8.3、KF40电磁压差阀：1台（上海）；8.4、分子泵与机械泵软联接金属软管：1套 ；8.5、机械泵与真空室之间的旁抽管路、KF40电磁隔断阀及角阀CF35：1套 ；8.6、CF200-B闸板阀：1台（用于分子泵与真空室隔离）；6.、窗口及法兰接口部件 1套9.1、RF100磁力旋转观察窗挡板：1个；9.2、CF16陶瓷封接两芯引线法兰：2个（照明及内烘烤引线、备用引线）；9.3、盲法兰CF16：2个；CF35：2个；9.4、CF16单芯陶瓷封接引线法兰：1个（高压放电电极）；7.、安装机台架组件 1套优质方钢型材焊接 | 无 |
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