北京航空航天大学物理科学与核能工程学院多靶磁控溅射镀膜设备（重招）采购公告
北京航空航天大学物理科学与核能工程学院多靶磁控溅射镀膜设备（重招）采购公告
| 公告信息： | |||
| 采购项目名称 | 北京航空航天大学物理科学与核能工程学院多靶磁控溅射镀膜设备（重招） | ||
| 品目 | 货物/专用设备/专用仪器仪表/其他专用仪器仪表 | ||
| 采购单位 | 北京航空航天大学物理科学与核能工程学院 | ||
| 行政区域 | 北京市 | 公告时间 | 2018年07月13日13:34 |
| 开标时间 | 2018年07月24日14:00 | ||
| 预算金额 | ￥49万元（人民币） | ||
| 联系人及联系方式： | |||
| 项目联系人 | 刘健 | ||
| 项目联系电话 | ***-******** | ||
| 采购单位 | 北京航空航天大学物理科学与核能工程学院 | ||
| 采购单位地址 | 北京市海淀区学院路37号 | ||
| 采购单位联系方式 | 黄老师 ***-******** | ||
| 代理机构名称 | 中钢招标有限责任公司 | ||
| 代理机构地址 | 北京市海淀区海淀大街8号中钢国际广场16层 | ||
| 代理机构联系方式 | 安乐、刘健、张静、封勋***-********（购买标书）、62686386、******** | ||
| 附件： | |||
| 附件1 | 1841STC50946_采购公告（重招）.doc | ||
中钢招标有限责任公司受北京航空航天大学物理科学与核能工程学院 委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对北京航空航天大学物理科学与核能工程学院多靶磁控溅射镀膜设备（重招）进行其他招标，欢迎合格的供应商前来投标。
项目名称：北京航空航天大学物理科学与核能工程学院多靶磁控溅射镀膜设备（重招）
项目编号：1841STC50946
项目联系方式：
项目联系人：刘健
项目联系电话：***-********
采购单位联系方式：
采购单位：北京航空航天大学物理科学与核能工程学院
采购单位地址：北京市海淀区学院路37号
采购单位联系方式：黄老师 ***-********
代理机构联系方式：
代理机构：中钢招标有限责任公司
代理机构联系人：安乐、刘健、张静、封勋***-********（购买标书）、62686386、********
代理机构地址： 北京市海淀区海淀大街8号中钢国际广场16层
一、采购项目内容
包号 | 采购内容 | 数量 | 交货期 | 交货地点 | 采购需求 |
01 | 多靶磁控溅射镀膜设备 | 1套 | 合同签订后 5 个月内完成安装调试并通过验收。 | 北京，北京航空航天大学沙河校区国家实验室二期 | 极限真空度优于 5×10-5Pa； 配备可调节2000步位的插板阀； 2寸溅射靶3个；靶对中进行向上共溅射镀膜； 溅射靶均配备防交叉污染的屏蔽筒和翻盖挡板，同时采用园柱型永磁铁同径列阵设计，靶面横向磁场强度高于500高斯； 单靶或者多靶旋转镀膜的条件下，4寸晶园片膜厚不均匀度优于±4.0%； 配备2台RF电源，功率为500W 自动匹配，配备1台直流电源，功率为500W； 样品台可调节靶基间距，采用石英灯加热，加热温度由室温至～600℃，同时可调速旋转和可加载偏压； 操控系统以计算机和PLC程序控制； 机柜和机台一体化设计； 具体详见第四章技术需求书。 |
二、开标时间：2018年07月24日 14:00
三、其它补充事宜
四、预算金额：
预算金额：49.0 万元（人民币）
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