哈尔滨工业大学招标采购办公室受用户的委托，拟就电子束蒸发系统项目进行公开招标。欢迎具有此项供货能力、资信良好的国外制造商及代理商前来投标。

一、项目名称：电子束蒸发系统

二、招标编号：HITZB-430

三、采购数量：1套

四、主要技术指标：

本系统由电子束蒸发沉积系统、湿法刻蚀清洗机、精密光学隔振平台和天平台等构成。

电子束蒸发沉积系统主机包括E-GUN电源，加热控温电源，真空抽气系统各一套。

1. 腔体尺寸为520mm（直径）′650mm（高度）。

2. 控制电源：220V，为电源供电，驱动Alcatle涡轮分子泵、机械泵、电磁阀、水流报警、照明烘烤、真空室大法兰盖升降控制，有断电保护功能。

3. 极限真空度需达到5.0E-7torr。

4. 从大气开始抽气，30分钟内真空度可抽到5.0E-6torr。

5. 系统真空检漏漏率：≤5.0E-7 torr/s或关机12小时后系统真空度≤5.0E-1torr

6. 坩埚为无氧铜，可配合衬锅，坩埚数为6个，15cc。

7. 材料挡板控制，有位置显示。

8. 样品加热与冷却：石英灯加热在320℃以内,变化范围≦ ± 5 ℃，腔体可水冷；提供升温速度曲线，要求升温速率的可重复性好；

9. 提供两种方式的镀锅旋转，6"单基片实验型能够调整镀膜角度，最高可达到掠射角度89度。镀膜角度调整后，盘的中心轴旋转采用步进电机，要求旋转速度可控，可编程，转速最低0.1rpm, 最高30rpm，连续可调。置顶的不可调整角度的镀锅转速可达到5-20rpm, 4"基片5个，且破片可用。

10. 在可调整角度的旋转方式中，中心位置左右可调整各20mm。

11. 系统应配有水冷却管路，用来对腔体、坩埚等进行冷却,在水路上安装有水压继电器，一旦缺水，能进行报警并切断相应电源，以防止损坏设备。

12. 可进行在线膜厚测量，晶振震荡频率6MHz以上。

13. PLC及触摸屏全自动控制。

14. Telemark 6 kW电子枪，可实现270度偏转沉积。

15. 置顶镀锅4英寸基片范围内蒸镀2000nm厚Al膜，其薄膜厚度均匀度≦ ± 5 %。

16. 循环水冷却系统1套；冷却水路进出水都配不锈钢球阀及接嘴，配水冷循环系统，保证停水时可持续工作，水温≤30℃。缺水报警并切断电源以保护分子泵、电源、蒸镀材料。

17. 蒸镀材料：纯Ti、Cr、Zr、Fe、Ni、Mn、Co、Cu、Ag(99.999%)各30g。

18. 烘烤灯、灯管等易损件备件（适量）；相关规格螺栓、螺母、螺钉、垫圈等标准件备件（适量）；随机专用工具（五金工具箱）一套。电子枪灯丝10个。晶振片随机赠送5片。钼，钨衬锅各一个。

湿法刻蚀清洗机主要技术指标:

1. 整机主要由机架、操作台面、引风装置、机台照明、电控单元及清洗槽体等所组成。设备尺寸2000mm(L)×1200mm(W)×1900mm(H)

2. 设备操作台的前部使用上下推拉PVC透明推拉门（两个导轨），门底部开通风孔，具有前后维修门，后部设有门开关报警功能。

3. 具有氮气、压缩空气压力不够报警功能。

4. 所有酸槽配置高低液位报警；所有设备配置CDA，N2压力调节阀；所有设备增加漏电、意外停电保护装置；所有加热槽增加漏电、过热保护装置。

5. 所有设备操作台面高度800mm（包括地脚螺丝高度）。

6. 引风装置由引风窗和排风口所组成。排风口直径200mm。每个排风口排风量要求≥8500L/min。排风口位置为顶部排风。排风口的数量由具体的设备配置决定。风量可调节。引风窗风量可单独调节。

7. 机台台面为多孔结构，有利于操作台面水、液的排出和清洁。槽顶部低于工作台面。

8. 照明采用20W照明灯管（欧普或飞利浦品牌）。位置在操作台面的上面。操作面板上设有照明控制开关。

9. 每个槽体均由专用的控制器进行控制，其工艺参数均可单独修改。并具备加密功能，以防止工艺参数被随意更改。

10. 电控单元设置在机台的后部和上部，与清洗、腐蚀区隔离。操作区位于其正前方，设备各清洗槽的工艺参数设置、启停按钮以及紧急停止开关均设置其上。

11. 设备在台面的右前部配置进口PTFE N2枪，左前部配置进口PTFE DI水枪。

12. 设备酸槽的废液排放采用槽体虹吸射流进行自来水稀释（除特别说明以外）。

13. QDR槽在长度方向配置不少于12喷嘴。QDR循环结束后顶部喷淋停止，底部持续注入水，直到按下结束按钮为止。设备底部排水采用活接头连接。

14. 所有石英槽体采用美国GE板料加工而成。设备框架采用不锈钢外包德国进口10mmPP板。不锈钢焊接处要保证长期不锈蚀。

15. 设备的气控元件采用日本进口SMC CKD气动管件、阀门（进口PFA）。去离子水路采用优质进口PP（美国JACO品牌PP）、CL-PVC（日本积水）和PFA(美国杜邦 美国Partek)管件。

16. 电器控制：为了日后升级便利，便于学校研发试验，特此要求采用日本欧姆龙品牌人机界面+PLC控制。

17. 水池台钢木结构，pp防酸碱水槽。

18. 槽体说明：

1#、2#、3#槽（酸槽）

1) 槽体材料：美国GE板料加工而成；介质：SC1 SC2； 2) 内槽尺寸：200（长）×200（宽）×200（高） (需加槽盖) ； 3) 酸液注入方式：人工手动；废酸排放方式：人工手动控制开启虹吸射流阀排放； 4) 温度控制：RT～+140℃，精度控制：±1℃； 5) 加热方式：石英缸五面体外贴加热膜加热（包裹式）； 6) 控制方式和保护装置：采用进口温度控制器件和温度液位传感器，以保证控温的准确性并在超出允许的时间范围时发出声光的报警信息,来提示操作人员； 7) 药液需回收，配置药液回收装置，与PLC互锁。4#槽（HF槽）

1) 槽体材料：优质日本大金PTFE板料热弯焊接加工而成平口状槽体；介质：HF49%； 2) 内槽尺寸：200（长）×200（宽）×200（高） (需加槽盖) ； 3) 温度：RT； 4) 酸液注入方式：人工手动；废酸排放方式：人工手动控制开启虹吸射流阀排放。5#槽（超声槽）

1) 槽体材料：优质SS316板料加工而成；介质：DI； 2) 内槽尺寸：200（长）×200（宽）×200（高） (需加槽盖) ； 3) 酸液注入方式：人工手动；废酸排放方式：人工手动控制开启虹吸射流阀排放。 4) 温度控制：RT 5) 超声波部品：采用合资或国产优质分体式装置；工作频率：40kHz；输出功率：300W；振板材质：S316 不锈钢； 6#7#槽（QDR槽）

1) 槽体材料：德国进口10mmNPP 2) 内槽尺寸：200（长）×200（宽）×200（高）(需加槽盖)； 3) 槽体结构：由安装在槽体底部的快排汽缸、DI注入孔及顶部左右两侧的DI喷嘴实现槽体的快速注入与排放。 4) 注入时间：≤45秒（DI水压力为2～3Kg）；排放时间：≤5秒； 5) 工艺过程：由专用控制器实现QDR及溢流工艺过程。（溢流是指顶部喷淋停止，底部持续注入，直到达到设置溢流时间） 6) 垫板：槽体底部配置网眼式NPP垫板，垫板厚度10mm8#槽（F/R）

1) 槽体材料：德国进口10mm NPP 2) 槽体尺寸：200（长）×200（宽）×200（高） 3) 上液方式：由人工手动控制DI上水。19. 动力参数：

自来水压力： 0.25-0.35MPa

自来水流量： ≥18L/min

自来水接口： 外径φ25mmPVC管

去离子水压力： 0.25-0.3MPa

去离子水流量： ≥60L/min

去离子水接口： φ25mm PP管

排水口； 外径φ60mm PP管

酸液排放口 1/2"PFA管

氮气压力： 0.3-0.35MPa

氮气流量： ≥18L/min

氮气接口： 3/8" PFA插管式接头

压缩空气压力： 0.25-0.3MPa

压缩空气流量： ≥10L/min

压缩空气接口： 3/8" PP插管式接头

20.一年用实验室用消耗品和光刻胶

精密光学隔振平台主要技术指标:

2400mm′1800mm′200mm和1800mm′1200mm′200mm各一个，整体高度800mm，台面采用高导磁性不锈钢，抛亚光密迪纹理处理，M6螺孔，安装孔距（25′25）mm，平台不平度（0.02～0.05 mm /m2），表面粗糙度 ＜Ra0.8μm，固有频率～2Hz，自动调平方式。

天平台和边台主要技术指标：

天平台1200mm′750mm′850mm共6个，全木结构，40mm厚大理石台面，三级防震设计。边台1800mm′750mm′850mm共2个，钢木结构，实芯防静电理化板台面。

五、投标商准入资格

（1）具有在境内的独立法人资格以及相关资质证明文件。

（2）具备中国政府采购法第二十二条的条件。

（3）本次公告截止日期为2009年12月1日,有意参与投标的供应商请将投标申请表及营业执照传真予我们，以便于有效安排开标事宜。

（4）如果报名情况符合开标条件，标书将在报名截止后，以电子邮件的形式发送到您的邮箱，敬请自行查询邮箱并仔细阅读标书，哈工大招标办不在另行通知，请报名单位在规定时间交纳标书款、投标保证金（标书款收取后一概不退），获取投标资格。

（5）投标供应商的注册资金须超过所投货物的总价。

（6）如果代理商投标的是进口产品，投标时应出具与国外公司所属关系证明文件。

六、报名办法

招标人：哈尔滨工业大学

招标人地址：哈尔滨市南岗区西大直街92号

哈尔滨工业大学行政办公楼207室招标采购办公室

招标联系人：张立 联系电话（自动传真）：0451－********

技术联系人：姜永远 联系电话：****-******** 138*****632

邮政编码：150001

哈尔滨工业大学招标采购办公室

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