哈尔滨工业大学招标采购办公室受用户的委托，拟就近场扫描光学显微镜、扫描探针显微镜系统项目进行公开招标。欢迎具有此项供货能力、资信良好的国外制造商及代理商前来投标。

一、项目名称：近场扫描光学显微镜、扫描探针显微镜系统

二、招标编号：HITZB-440

三、采购数量：1

四、主要技术指标：

本系统由由主机(包括探针扫描头、光纤探针、样品扫描台、反馈系统、操作台等)、激光光源、光电探测器、控制测量软件、光学显微镜等部分组成。可以整合为1套系统，也可单独应标。

具体技术要求：

（一）基本组成部件

1） 激光光源：波长为532nm固体激光器，功率>3mW，功率稳定性<±3%；光斑直径<1mm，光束发散角<1.2mrad。

2） 光电探测器：波长响应范围优于400－800nm，包含驱动电源及后续信号处理电路。

3） 光学显微镜：要求至少具有倒置光路配置，最好能够实现正置、倒置显微镜联用。配备10×、40×、60×、100×常规显微物镜，能使用超长工作距物镜以及水或油浸物镜，具备光学共焦成像功能。扫描探头和扫描样品台都应集成于常规光学显微镜架构之上，要求至少具有倒置光路设计，并能够实现透射、反射、照明和收集模式近场光学扫描探测；要求具有远场CCD成像系统（含照明光源），便于在宽视场观测探头与样品。具有适当的接口或安装连接设计，方便与外光路进行友好对接，便于扩展、增加红外、荧光和拉曼光谱功能。

4） 控制测量软件：能够处理光电倍增管、雪崩二极管、CCD等光电探测器信号；能够高精度地同步完成所有系统部件的控制和测量动作；能够读取信号、采集数据、实时处理数据、数据后期处理等。控制系统及软件能够兼容AFM反馈模式扫描，要求该系统的扫描控制部件具有闭环扫描控制功能，多次重复扫描时漂移≤5nm；全部功能控制软件终身免费升级。

5）防震系统：系统专用光学防震平台，平台尺寸适合于整套系统的摆放和操作，固有频率1-2Hz。

（二）近场扫描光学显微镜的工作方式和精度：

1) 样品台扫描工作模式: 探针与样品间距采用剪切力或轻敲方式进行控制，具有自动进针功能。样品台xy调节范围≥5mm；样品扫描范围≥80mm×80mm×10mm；近场光学分辨率：xy方向≤50nm，z方向分辨率≤1nm；扫描步长分辨率≤1nm；要求能够闭环精密控制针尖与样品表面的距离，可调范围≥60nm，步长分辨率≤1nm；重复扫描偏差≤20nm。

2）探针扫描工作模式：探针与样品间距采用剪切力或轻敲方式进行控制，具有自动进针功能，样品台xy调节范围≥5mm；探针扫描范围≥30mm×30mm×5mm，近场光学分辨率：xy方向≤50nm，z方向≤1nm，扫描步长分辨率≤1nm；要求能够精密控制针尖与样品表面的距离，可调范围≥100nm，步长分辨率达≤1nm；重复扫描偏差≤20nm。

3）要求该系统同时具有透射模式、反射模式、收集模式和照明模式扫描成像操作模式。

4）要求该近场光学系统能够在测试时对样品进行原位加热并且具有温控功能，温度可高达150度，温度稳定性0.05度。

5）要求该近场光学系统能够在液态环境下观测微结构材料和生物样品，在液体环境下也能实现上述功能。

6)要求该近场扫描光学系统具有一定的改造升级空间及功能扩展性，如升级为双探针系统，各扫描探针能够独立或者联合工作。要求该光学近场系统能够兼容波导探针、光纤直针和弯针等光学探针。

（三）扫描探针显微镜测量模式和精度：

1）测量模式：原子力显微镜，包括接触模式、轻敲模式、抬起模式、定量相位成像模式，液体环境工作模式；磁力显微镜，静电力显微镜，可进行表面电势绝对值测量，导电原子力测量，纳米压痕和刻蚀。

2)光学辅助观察系统：450倍放大，分辨率<3μm，带彩色CCD摄像头和监视器。

3）原子力显微镜分辨率：纵向分辨率≤0.1nm（通过对石墨样品5~10nm范围的扫描测量图像中石墨的台阶高度值来表征仪器的纵向分辨率）；横向分辨率≤1nm（通过对云母样品进行10nm范围的扫描成像中相邻云母原子的间距值来表征仪器的横向分辨率）。扫描范围≥50×50×5(mm)，扫描步长分辨率≤1nm。噪声<0.03nm (采用原位扫描方式验证)。

4)导电原子力测量：要求电流灵敏度有两个选项1nA/V和100nA/V，可在软件中直接选择；电流分辨率为2pA。

5)纳米压痕和刻蚀：提供两根已经校准好弹性常数的金刚石探针，杨氏模量测量范围1-1000 GPa。

6)控制器：在所有模式的探针逼近样品的过程中，系统具有自动逼近功能，确保探针和样品表面不受损坏；系统能自动决定阈值，确保探针在样品真实表面进行扫描成像。下针后，具有在样品表面重新调整共振频率的功能，可准确知道探针在成像时的真实频率，保证成像的真实性。控制器采用低共射激光源消除干涉影响；相位成像具有自动调零功能。

（四）附件及零配件

随整套设备配套提供计算机、显示器、系统软件操作系统等。提供光学探针孔径为50nm、100nm以及300nm的探针各10个，要求通光效率≥0.1%,铝镀膜层，单模光纤。提供详细的设备安装指南、操作指南、用户培训手册。供应商长期提供近场光学探针的购置优惠，根据用户需求设计制作各种规格和孔径尺寸的光学探针。

（五）技术服务条款

1) 货到之后3周内完成现场安装和调试，并且负责免费现场培训3名操作管理人员，安装调试和培训时间不少于4天。提供一次免费移机安装调试，并提供用户维护操作手册和维修电路图。在硬件支持的前提下，免费提供软件升级。

2) 保修期2年，保修期内出现问题，应在接到用户通知后5个工作日内到现场。

3) 在保修期外软硬件出现的问题，接到用户通知后2个工作日内给予答复，5个工作日内给与解决方案并到达用户现场解决问题。重大问题或其它无法立刻解决的问题应在一周内解决或提出明确的解决方案，如因卖方原因不能及时修复，保修期将相应顺延。设备保修期满前1个月，卖方免费负责一次全面的检查、维护，并写出正式报告，如发现潜在问题，应负责排除。设备供应商提供终身维修。

交货日期： 签订合同后3个月内交货。

附件及零配件

随整套设备配套提供计算机、显示器、系统软件操作系统等。提供光学探针孔径为50nm、100nm以及300nm的探针各10个，要求通光效率≥0.1%,铝镀膜层，单模光纤。提供详细的设备安装指南、操作指南、用户培训手册。供应商长期提供近场光学探针的购置优惠，根据用户需求设计制作各种规格和孔径尺寸的光学探针。

交货日期： 签订合同后3个月内交货。

五、投标商准入资格

（1）具有在境内的独立法人资格以及相关资质证明文件。

（2）具备中国政府采购法第二十二条的条件。

（3）本次公告截止日期为2009年12月22日,有意参与投标的供应商请将投标申请表及营业执照传真予我们，以便于有效安排开标事宜。

（4）如果报名情况符合开标条件，标书将在报名截止后以电子邮件的形式发送到您的邮箱，敬请自行查询邮箱并仔细阅读标书，哈工大招标办不在另行通知，请报名单位在规定时间交纳标书款、投标保证金（标书款收取后一概不退）获取投标资格。

（5）提供国产设备的供应商，注册资金须超过所投货物的总价。

（6）如果代理商投标的是进口产品，投标时应出具与国外公司所属关系证明文件。

六、报名办法

招标人：哈尔滨工业大学

招标人地址：哈尔滨市南岗区西大直街92号

哈尔滨工业大学行政办公楼207室招标采购办公室

招标联系人：张立 联系电话（自动传真）：0451－********

技术联系人：裴延波 联系电话：****-******** 139*****397

邮政编码：150001

哈尔滨工业大学招标采购办公室

2009年12月1日