设备名称

技术指标

数量

扫描隧道显微镜（ z7416-1 ）

最大扫描范围： X 和 Y 方向 0.5um × 0.5um

最大扫描范围： Z 方向 200um

扫描速度：每 128 个数据点， 60ms/line

槽压：5 mV 阶段时， ±10 V

设定点电流： 5 pA 阶段时， 0.02 — 20 nA

反馈回路宽带：3kHz

自动接近样品

用 0.25 mm 的 Pt/Ir 金属丝

软件在 Windows 3.1/ 9x 和 NT 操作系统上运行

不同的窗体的扫描数据可以被同时显示

线观察，点观察， 3 维观察

在线数学计算功能（减，平均值等）

可以实现多数据输出

I-V 和 I-z 曲线测量

1 台

主动式防震台（ z7416-2 ）

含防震台及屏蔽罩；

isostage 指标及技术参数

响应方向 全方位主动式补偿

隔离性能 > 5 Hz = 23 dB (93.0%)

>15 Hz = 40 dB (99.0%)

带宽 1 – 200 Hz(1)

置位时间 300 ms

最大修正力 Vertical ± 8 N; horizontal ± 4 N

负载 0 – 8 kg

工作温度 10 – 40 ° C

(optimal performance at 20–25°C)

相对湿度 0 – 60%

有效高度 < 2500 m

Protector 指标及技术参数

干扰源 降低噪声

可见光 >98%

气流 >99%s

噪声 >90%

电磁噪声 >84%

1 套