广西大学-竞价公告(CB105932018000621)
广西大学-竞价公告(CB105932018000621)
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 加热板,无油真空泵浦系统,匀胶旋涂仪 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 仪器仪表 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2018-09-05 08:54 |
| 竞价结束时间： | 2018-09-10 11:26 我要报价 |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 加热板 | 2 | 台 | HOTPLATE | NDK-2K | 是 | 1、供应商投标时必须提供所报设备的品牌和型号（品牌和型号均需提供），如不填写视为不满足；2、所有设备要求免费送货上门、免费安装调试、保修期内免费上门保修；3、设备必须原厂包装，必须当用户面拆封；4、原则上不接受物流和快递送货。如采用物流和快递送货的必须在报价说明中注明，申购用户认可的，方可成交；5、其他按行业标准提供服务； | ★一、 技术参数1. 采用PID方式，可高精度地进行温度控制。2. 主体正面面操作部分与顶板之间装有安全灯（顶板温度在55oC一下时亮灯）。3. 顶板采用铝合金，其表面喷涂陶瓷涂层，具有非常好的耐腐蚀性。4. 最高温度（℃）：350oC5. 加热尺寸（mm）：250×2506. 重量（Kg）：7.7kg★二、配置1. 热板主机2. 电源线3. 说明书 | 无 |
| 无油真空泵浦系统 | 1 | 套 | Oiless Vacuum Pump | Rocker300 | 是 | 1、供应商投标时必须提供所报设备的品牌和型号（品牌和型号均需提供），如不填写视为不满足；2、所有设备要求免费送货上门、免费安装调试、保修期内免费上门保修；3、设备必须原厂包装，必须当用户面拆封；4、原则上不接受物流和快递送货。如采用物流和快递送货的必须在报价说明中注明，申购用户认可的，方可成交；5、其他按行业标准提供服务； | ★一、 技术参数1. 真空泵：无油型 220~240伏交流，50/60赫兹。2. 真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可调节，抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟)。★二、配置1. 真空泵主机2. 电源线 | 无 |
| 匀胶旋涂仪 | 1 | 套 | Spin Processor | WS-650Mz-23NPPB | 是 | 1、供应商投标时必须提供所报设备的品牌和型号（品牌和型号均需提供），如不填写视为不满足；2、所有设备要求免费送货上门、免费安装调试、保修期内免费上门保修；3、设备必须原厂包装，必须当用户面拆封；4、原则上不接受物流和快递送货。如采用物流和快递送货的必须在报价说明中注明，申购用户认可的，方可成交；5、其他按行业标准提供服务； | ★一、 技术参数1. 系统概述1.1 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全。1.2 防腐装置1.3 *设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护。1.4 通信接口，蓝牙连接。2. 处理腔体2.1 处理腔体内径不小于9.5英寸 (241毫米)。2.2 * Wafer芯片尺寸至少满足10-150mm直径的材料，方片125x125mm，无需更换片托。2.3 腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质。3. 旋转马达3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm。3.2旋涂加速度不小于12,000rpm/sec。3.3马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1％。4. 控制系统4.1 工艺时间设定范围至少满足1-5999.9 sec/step ，精度不超过0.1s。4.2 配有高精度PLC可编程的控制器，设置点精度小于0.006％。4.3 可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态。4.4 *分辨率要小于0.5RPM，重复性误差要小于±0.5RPM，具有国际标准认证，并且无需再校准。5.系统附件5.1 *免费赠送基于Windows的操作软件5.2 原装进口水平测试仪5.3 两袋密封圈5.4 *配有两套可更换的废液接收单元★二、配置1. 匀胶旋涂仪主机：满足10-150mm直径的材料。2. 真空托盘：真空托盘适用于2、3、4晶圆片。3. 系统附件：真空及CDA管路、废液排放装置。4. 安装文档：快速安装指南，出厂报告。5. 报价包含运输的运费和保险。 | 无 |
标签: 大学
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