华南理工大学-竞价公告(CB105612018001164)
华南理工大学-竞价公告(CB105612018001164)
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 薄膜沉积系统 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 仪器设备 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2018-09-07 16:04 |
| 竞价结束时间： | 2018-09-11 16:14 我要报价 |
| 申购备注： | 1、必须提供原装原厂新货品； 2、以人民币报价的项目，必须含税；以外币报价的项目，必须按照CIF广州港进行报价；3、办公家具、实验室家具等项目竞价完毕后，如用户单位如需要提供样品，竞价单位则必须要提供，因此，报价时必须考虑。 4、空调、监控等强、弱电安装项目，竞价单位必须具有相关安装资质的技术人员（并能提供相关证明材料），严禁无证上岗。； 5、参与华南理工大学竞价采购项目的供应商需是已在华南理工大学招标中心备案过的供应商，未备案过的供应商报价不予接受。 6、供货完毕后，提供购销类发票（非工程类发票或服务类发票）给用户单位。 |
| 申购设备详情： |
| 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 薄膜沉积系统 | 1 | 套 | 北京泰科诺科技有限公司 | ZHDS400 | 是 | 保修年限：3年 | 北京泰科诺科技有限公司,型号ZHDS400 1.有机/金属镀膜室：1.1镀膜室净尺寸不小于 L400mm×W440mm×H450mm，SUS304不锈钢制作；1.2方箱式，配有前、后门，前门水平滑开式，材质为锻铝，便于手套箱内操作；1.3腔室底板可拆卸，便于设备清理维护；镀膜室配置独立机架。2.真空系统：复合分子泵（抽速不小于685L/S，水平安装）+直联旋片泵+高真空插板阀，“两低一高”数显复合真空计。*3.极限真空：优于5.0×10-5Pa；(设备和手套箱分体，设备空载抽真空24小时)*3.1抽速：从大气抽至10-4Pa≤30min；（短时间暴露大气，冲入干燥氮气后开始抽气）3.2设备升压率≤0.8Pa/h。4.基片台：4.1抽屉式结构，承载最大不小于100×100mm的任意大小的基片； 配有气动基片台挡板；基片台电机驱动，旋转速度0-20转/分钟可调；4.2升降样品台：可有效提高贵重材料利用率及膜厚（焊接波纹管密封，蒸发源到样品垂直距离230-300mm可调）；*4.3最高加热温度300℃，采用1.5KW金属铠装加热器及金属反射板上整体安装于基片台背部对基片进行平行辐射加热，采用热电偶测温、PID智能温控仪控制；*4.4 从室温升至设定温度，并稳定在设定温度值的±5％度内所需要升温时间小于30分钟；*4.5同基片台尺寸不锈钢掩膜板十块，要求线宽加工精度＜50 微米(其中3块线宽为20微米）（规格图形由用户提供，部分掩膜板可设备安装供货）。5.蒸发源：5.1金属蒸发源不少于4组，电源功率不低于3KW共1台；可调角度有机蒸发源不少于2组（可蒸发有机材料不低于600°，蒸发速率稳定在0.2A/S），有机蒸发电源：2套， 采用每源独立PID智能温控+热电偶+加热电源闭环控温。*5.2蒸发源配上下翻转电气动挡板及源间防污隔板。 6.膜厚均匀性：100 mm *100 mm样品范围内9点误差±5％；7.电气控制系统采用PLC+触摸屏控制抽真空系统，可实现自动一键式抽真空。8.给电极、分子泵、 提供稳定的制冷循环水，保证设备稳定运行。9.高压无燥声气体压缩机，为气动阀的开/闭提供动力。10.保证镀膜机能与用户已购手套箱的接口匹配，并提供免费（含所需要配件）组装。 11.对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 12.其它未作说明内容（如材质要求、各组件配置规格及性能等）必须符合供货商提供给用户的该规格型号产品的介绍及性能指标说明。 | 无 |
标签: 理工大学
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