项目名称：干刻用废气处理设备
日期：2010年03月18日
招标编号：0730-1040GD040205/01
中航技国际经贸发展有限公司受买方委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2010年03月18日公告。 本次招标采用传统招标 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标产品的名称、数量及主要技术参数：
0730-1040GD040205/01
主要规格：
经过废气处理设备处理后废气的浓度(出口)
CF4 ≦10 % (去除能力:>98%)
C4F8 ≦0.5 ppm (去除能力:>99.9%)
BCL3 ≦0.5 ppm (去除能力:>99.9%)
SF6 ≦10 % (去除能力:>99.9%)
CL2 ≦0.5ppm (去除能力:>99.9%)
两条干刻线的废气流量(入口)

0730-1040GD040205/02
7.3 设备主要要求和规格参数：
7.3.1 电源供给为220V，50Hz
7.3.2 对每个Panel提供不少于8个电源及10个信号输入；电源及信号的电压范围不小于-15 V 到 15 V
7.3.3 可满足不少于75个panel同时老化的需求
7.3.4 可通过软件设置电流，电压，频率和时间以设定老化程序，其中包括对R、G、B单独进行老化或者同时老化及其分别的老化时间
7.3.5 可提供的持续老化时间大于5小时
7.3.6 脉冲频率范围1Hz~ 30kHz
7.3.7 脉冲占空比(duty ratio)可控
7.3.8 脉冲上升和下降时间均小于100ns (panel loading: 10kOhm, 10pF)
7.3.9 供给ELVDD和ELVSS的DC电流可以达到每个panel 500 mA，其余DC电流可以达到每个panel 10mA
7.3.10 信号电压精度小于或等于20mV。

0730-1040GD040205/03
7.3 设备主要要求和规格参数：
7.3.1 电源供给为220V，50Hz
7.3.2 满足不少于30个PM-OLED 器件同时进行寿命测试的需求
7.3.3 可独立控制每个器件的寿命测试
7.3.4 对每个器件可持续进行寿命测试的时间不低于10000小时
7.3.5 可选择恒压，恒流，脉冲等模式
7.3.6 恒流模式下加载到器件上的电流范围不小于-2mA ~ +2mA, 精度不大于0.1%
7.3.7 恒压模式下加载到器件上的电压范围不小于-20V ~ +20V
7.3.8 可连续测量电压，电流，光电二极管的光电流，相对亮度变化。

2、招标文件售价：01- RMB1000.00 or USD160.00 02- RMB1000.00 or USD160.00 03- RMB1000.00 or USD160.00
3、购买招标文件时间：2010年03月19日至2010年04月07日 9时至16时 节假日除外
4、购买招标文件地点：北京市朝阳区慧忠路５号远大中心Ｂ座２０层
5、投标截止时间和开标时间：2010-04-07 10:00
6、开标地点：上海天马微电子有限公司
地 址：中国上海市浦东新区汇庆路889号
邮编：200201
电子邮箱：ytx@catic-ted.com
电话： 0086-10-******** or 0086-0-138*****701
传真：0086-10-******** or 0086-10-********
联系人：杨彤欣 先生
开户银行（人民币）：招行亚运村支行
开户银行（美元）：中国银行总行营业部
帐 号（人民币）：***************
帐 号（美　元）：********094001 SWIFT CODE：BKCHCNBJ