云南大学-竞价公告(CB106732018000241)
云南大学-竞价公告(CB106732018000241)
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 脉冲激光沉积系统 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 机电设备 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2018-10-31 16:02 |
| 竞价结束时间： | 2018-11-07 16:05 我要报价 |
| 申购备注： | |
| 申购设备详情： |
| 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 脉冲激光沉积系统 | 1 | 台 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 脉冲激光沉积系统 | 是 | 公司负责安装调试。现场验收合格后，二十四个月内免费维修正常使用出现的故障（包括零件更换），非常故障维修只核收工本费，终身维修只核收工本费，售后量小时响应，三天到场维修。 | 沉积室极限真空度：≤8.0x10-7 Pa（6.0×10-9torr） (经烘烤除气后，分子泵单独抽气)；系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S；系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，20分钟可达到5x10-3 Pa；系统主要由沉积真空室、进样室、旋转靶台、抗氧化基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成；1.溅射真空室组件1套球型真空室尺寸Ф450mm，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封，预留与MBE、LMBE、STM、进样室、离子源、RHEED接口。2.旋转靶台组件1套 每次可以装6块靶材，靶材尺寸：Φ25mm；每块靶材可实现自转，转速5～20转/分，连续可调，由电机驱动磁力耦合机构控制；靶位公转换位机构，由电机驱动磁耦合机构控制；靶材屏蔽罩将6块靶材屏蔽，每次只有1个靶材露出溅射成膜，以避免靶材之间的交叉污染；3.抗氧化基片加热台组件1套 基片尺寸：可放置φ2″基片；加热炉加热最高温度 1000℃±1℃,采用铂铑抗氧化加热丝（客户另购），由热电偶闭环反馈控制。基片可连续回转，转速5～20转/分，电机驱动磁耦合机构控制；基片与靶台之间距离30～90mm可调，由腔外手控盒电动波纹管调节机构控制；PLC控制样品挡板组件：1套；样品托：2个；4.窗口及法兰接口部件1套5.激光束扫描控制系统1套通过PLC控制样品台摆动实现控制；6.工作气路1路100SCCM质量流量控制器、充气阀CF16、管路、接头等：1路充气阀CF16、管路、接头等：1路（解除真空充氮气）；7.抽气机组及阀门、管道1套沉积室进口分子泵及变频控制电源：1台（Hipace700，德国普发）（客户另购）；VRD30直联机械泵：1台（抽速8升/秒，浙江飞越）；KF40电磁压差阀：1台（上海）；分子泵与机械泵软联接金属软管：2套 ；机械泵与真空室之间的旁抽管路、KF40电磁隔断阀及角阀CF35：1套 ；分子泵与真空室之间的旁抽管路及角阀CF35：1套 ；CF150手动闸板阀：1台（用于分子泵与真空室隔离）；CF100手动插板阀阀：1台（用于进样室与PLD真空室隔离）；8.脉冲激光沉积预留与MBE/LMBE传输样品接口 | 无 |
标签: 大学
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