云南大学-竞价公告(CB106732018000244)
云南大学-竞价公告(CB106732018000244)
基本信息: | |
申购单主题: | 匀胶旋涂仪 |
申购单类型: | 竞价类 |
设备类别: | 其他 |
使用币种: | 人民币 |
竞价开始时间: | 2018-10-31 15:58 |
竞价结束时间: | 2018-11-07 15:55 我要报价 |
申购备注: | |
申购设备详情: |
设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
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匀胶旋涂仪 | 2 | 台 | Laurell | WS-650Mz-23NPPB | 是 | 保修期:一年,自验收合格之日算起。保修期内,对设备提供全免费保修。保修期后收取成本费维修,终生负责。如果是代理公司竞标,必须有原厂代理或授权证书文件 | 1、腔体尺寸:9.5英寸 (241 毫米);2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直径的材料,方片125x125mm;3、转动速度:0-12,000rpm, 4、旋涂加速度:0-12,000rpm/sec;5、马达旋涂转速:稳定性能误差 < ±1%;6、转速调节精度:<0.2rpm,重复性< 0.2rpm;7、工艺时间设定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度;8、匀胶机材质:NPP天然聚丙烯材质,抗腐蚀性和抗化学物性,美观大方;9、高精度数码控制器:PLC控制,设置点精度小于0.006%。10、程序控制:可存储20个程序段,每个程序段可以设置51步不同的速度状态;11、分辨率:分辨率小于0.5转/分,可重复性小于±0.5转/分,美国国家标准技术研究院(NIST)认证过的,并且无需再校准!12. 电子绝缘负载双保护装置;13. 嵌锁的安全盖板;14. 防腐装置;15. 保护气体装置:旋涂过程中可以充氮气和压缩气体,对旋转马达进行气流保护;16.配套真空泵系统:无油型 220~240伏交流,50/60赫兹;17.包括真空泵,真空泵参数:25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱),抽速:4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟) 。18、配套分析软件:SPIN3000操作分析软件; | 无 |
标签: 大学
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