高真空有机镀膜仪招标公告
高真空有机镀膜仪招标公告
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 高真空有机镀膜仪 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 电子设备 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2018-11-01 16:15 |
| 竞价结束时间： | 2018-11-06 09:00我要报价 |
| 申购备注： | ********87 |
| 申购设备详情： |
| 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 高真空有机镀膜仪 | 1 | 台 | 沈阳科诚KC-ZD400 | 1、有机真空室腔体1套1)外形：304优质不锈钢D形前后开门（后门采用铰链式方门，方便清洗真空腔体，真空室内部调试，维修以及取放物品，前门采用横拉方门）真空室腔体1套（真空室内部尺寸D400*480mm），前后门配DN100视窗2套；2)底部：有机源接口4套，国产600L/S风冷分子泵接口1套（真空室内部口采用遮板防尘），CF25照明接口2套以及进口水冷膜厚探头接口2套；3)顶部：样品台接口1套，电动挡板接口1套，KF16气动角阀接口1套；4)左侧： CF35气动预抽角阀接口1套，KF16气动放气阀接口1套。2、有机蒸发源系统1套1)有机束源炉4套：4CC石英舟，温控电源4台（温控表显示精度0.1℃），温度区间：室温-500℃（控温精度±1℃），配气动挡板；2)隔板：蒸发源相互独立，隔板分隔，避免交叉污。3、样品台系统1套1)基片旋转：转速0～30转／分连续可调；2)基片升降：电动升降，衬底与蒸发源间距200-300mm通过触摸屏连续可调；3)基片挂架：120×120 mm基片台，承载最多25片15×15mm基片（或可根据客户需求定做），附掩膜板；4)基片加热：采用卤钨灯，加热洁净，升温快，最高温度300℃；5)基片挡板：电动挡板。 | 是 | 按行业标准提供服务 | 4、真空泵机组1套1)国产600L/S风冷分子泵1台；2)8L/S直联旋片泵1台；3)CF150高真空气动插板阀2台；4)CF35高真空气动挡板阀1台；5)KF16高真空气动挡板阀2台；6)KF40高真空气动挡板阀1台；7)KF40真空电磁充气阀1台；8)KF40泵阀连接软管2套，KF40三通1套；9)ZDF-5227数显真空计1台（测量范围：1×105～1×10-5Pa）。5、膜厚检测系统1套1)膜厚仪：美国infocon，SQM310两通道石英晶振膜厚监控仪1台，2)膜厚探头：美国进口水冷膜厚探头2套。6、设备机架1套1)40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑；2)3英寸万向轮4件，移动调整；3)M16地脚4件，锁紧定位。7、其他电控系统1套（电气控制采用1.8米电控柜内置或集约机架式结构）1)有机源电源：4台（1带1）；2)烘烤照明电源：1台；3)总控制电源（配7英寸触摸屏，PLC控制器，控制样品台，蒸发源，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等）：1台。8、其他参数：1)系统检测误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能；2)供水：小型冷水机，冷却水温度5℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃；3)供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门；4)极限真空：优于6×10-5Pa，大气至6×10-4Pa时间优于35分钟（充干燥氮气），关机12小时真空度≤10Pa。 | 无 |
标签: 大学
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