高真空金属蒸发镀膜设备招标公告
高真空金属蒸发镀膜设备招标公告
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 高真空金属蒸发镀膜设备 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 电子设备 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2018-11-01 16:14 |
| 竞价结束时间： | 2018-11-06 09:00我要报价 |
| 申购备注： | ********95 |
| 申购设备详情： |
| 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 高真空金属蒸发镀膜设备 | 1 | 台 | 沈阳科诚KC-ZD400 | 1、金属真空室腔体1套1)外形：304优质不锈钢D形前后开门，真空室腔体1套（内部尺寸D400*480mm），前后门配DN100视窗2套；2)安装部件：金属源4套，分子泵1套（真空室内部口采用遮板防尘），CF25照明2套以及进口水冷膜厚探头2套，样品台1套，电动挡板1套，KF16气动角阀1套，CF35气动预抽角阀接口1套，KF16气动放气阀1套。2、金属蒸发源系统1套1)金属蒸发源4套：水冷铜电极4组，兼容蒸发舟（钨、钼和钽舟）和螺旋丝，免工具拆卸，配气动挡板，1KW可控硅调压电源4台（一带一）（数字显示），电流调整精度1A，功率满足常见的金属以及金属氧化物的蒸镀；2)隔板：蒸发源相互独立，隔板分隔，避免交叉污。3、样品台系统1套1)基片旋转：转速0～30转／分连续可调；2)基片升降：电动升降，衬底与蒸发源间距200-300mm通过触摸屏连续可调；3)基片挂架：120×120 mm基片台，承载最多25片15×15mm基片（或可根据客户需求定做），附掩膜板；4)基片水冷：φ180mm水冷台，接入冷水机冷却；5)基片挡板：电动挡板。4、真空泵机组1套1)北京世纪久泰JTFB-600风冷复合分子泵1台；2)VRD-30双级泵1台（浙江飞跃机电有限公司）；3)CF150气动真空插板阀1台（北京东易达）；4)CDQ-J40B高真空气动挡板阀1台（北京川北科技）；5)GDQ-J16高真空气动挡板阀2台（北京川北科技）；6)GDQ-J40高真空气动挡板阀1台（北京川北科技）；7)KF40真空电磁充气阀1台；8) KF40泵阀连接软管2套，KF40三通1套；9) ZDF-5227数显真空计1台（成都睿宝真空，测量范围：1×105～1×10-5Pa）。 | 是 | 按行业标准提供服务 | 5、膜厚检测系统1套1)膜厚仪：美国infocon，SQM310两通道石英晶振膜厚监控仪1台，2)膜厚探头：美国进口水冷膜厚探头2套。6、设备机架1套1)40碳钢方管焊接机架1套，表面喷塑2)3英寸万向轮4件，移动调整3)M16地脚4件，锁紧定位7、其他电控系统1套（电气控制采用1.8米电控柜内置或集约机架式结构）1)金属源电源：4台（1带1）2)烘烤照明电源：1台3)总控制电源（配7寸触摸屏，PLC控制器，控制样品台，蒸发源，泵阀开关、相序检测，以及电缆开关接头等）：1台8、其他技术参数1)系统状态检测，误操作保护，联动互锁以及一键真空启停等功能2)供水：小型冷水机，冷却水温度5℃～35℃，工作环境温度：10℃～40℃3)供气：小型无油静音气泵，提供0.2-0.3MPa气压，驱动气动阀门4)极限真空：优于6×10-5Pa，大气至6×10-4Pa时间优于35分钟（充干燥氮气），关机12小时真空度≤10Pa | 无 |
标签: 大学
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