云南大学-竞价公告(CB106732018000272)
云南大学-竞价公告(CB106732018000272)
基本信息: | |
申购单主题: | 高真空多靶磁控溅射镀膜机 |
申购单类型: | 竞价类 |
设备类别: | 仪器仪表 |
使用币种: | 人民币 |
竞价开始时间: | 2018-11-05 14:55 |
竞价结束时间: | 2018-11-08 14:55 我要报价 |
申购备注: | 必须为原厂或取得原厂授权。 |
申购设备详情: |
设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
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高真空多靶磁控溅射镀膜机 | 1 | 台 | 泰科诺 | JCP350(3靶) | 否 | ①产品质保期为一年;②质保期内设备的维修免费(人为损坏因素除外);③质保期内由于设备本身原因而引起的零配件(易损件除外)的更换,其费用由我公司承担; ④建立客户设备信息档案,随时跟踪设备运行及维护,保证设备正常运行;⑤在接到用户要求本公司进行技术支持的正式通知(含电话或邮件通知)后,我公司技术人员于48小时内,赶到技术服务现场;⑥对于质保期以外设备的维护,我公司只收取成本费;⑦所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。 | 高真空多靶磁控溅射镀膜机JCP350(3靶)1套包含直流脉冲偏压电源-800V1KW1台,直流脉冲溅射电源1KW2台,冷却循环水机2P1台,气泵TYW-21台,1.真空腔室:φ350 mm×H350mm, 304优质不锈钢真空腔室;2.真空系统:复合分子泵+直联旋片泵+高真空气/电动阀门高真空系统,数显复合真空计;3.真空极限:极限真空优于6.6×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);4.漏率:≤0.8Pa/h;5.抽速:(空载)从大气抽至5.0×10-3Pa≤15min;6.基片台尺寸:Φ120mm范围内可装卡各种规格基片;7.基片台旋转、加热:基片旋转,0~20转/分钟;加热,室温~500±1℃,可控可调,日本岛电PID智能温控闭环控温;8.溅射靶:2英寸磁控靶,3只;间接水冷式,可三靶共焦溅射,兼容直流/射频电源溅射;直流脉冲溅射电源2台;磁控靶配有气动挡板结构; | 无 |
标签: 大学
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