西安电子科技大学-竞价公告(CB107012018000396)
西安电子科技大学-竞价公告(CB107012018000396)
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 匀胶机,显影机,通风清洗台 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 电工、电子专用生产设备 |
| 使用币种： | 美元 |
| 竞价开始时间： | 2018-11-08 17:14 |
| 竞价结束时间： | 2018-11-11 16:00 我要报价 |
| 申购备注： | 送货时间(以备注为准)：签约后45个工作日内 |
| 申购设备详情： |
| 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 显影机 | 1 | 台 | Laurell | EDC-650Hz-23NPPB | 是 | 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训; | 1.系统概述1.1 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全1.2 保护气体，CDA（清洁干燥气体）/氮气（N2）,气压20~80PSI可调节1.3 通信接口，蓝牙连接2. 基片及处理方式2.1 适用于2/3/4/6英寸晶圆片/不规则碎片/四英寸1/4基片2.2 基片处理方式，Single Wafer单片处理，手动上下载3. 控制系统*3.1 用户界面，650型高精度数显屏/基于Windows的SPIN3000操作软件3.2 最大可存储20个程序段3.3 最大51 骤工艺步骤3.4 时间设定范围，0.1S~99Min59.9S（最小增量0.1 S）3.5 最大旋转速度，3000 rpm±0.5 rpm (带安全罩)3.6 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全3.7 旋转加速度，1 – 13000 rpm/s 3.8 保护气体， CDA（清洁干燥气体）/氮气（N2）,气压60~70PSI3.9 系统所需纯水和氮气以及压缩气体（可用氮气替代）由实验室自行供应*3.10 通信接口，蓝牙连接4. 试剂分配系统4.1 标准腔洗 Bowl Wash：接入1路纯水和1路氮气4.2 背部清洗 Backside Riser：接入1路纯水4.3 样片冲洗甩干Rinsing &Drying：接入1路纯水和1路氮气4.4 显影试剂：1路订制的显影液，由气动泵浦供给4.5 注射装置：采用日本原装进口雾的池内专用喷嘴5. 安装文档5.1 快速安装指南5.2 出厂报告5.3 系统管路详细图纸6. 系统附件6.1 *免费赠送基于Windows的操作软件6.2 差压计6.3 CDA及DI管路6.4 废气废液排放管路 | 无 |
| 匀胶机 | 1 | 台 | Laurell | WS-650Mz-23NPPB | 是 | 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训; | 1. 系统概述1.1 智能嵌锁，系统盖板具有智能嵌锁装置，确保操作安全1.2 防腐装置1.3 *设有保护气体装置：旋涂过程中对旋转马达进行气流保护1.4 通信接口，蓝牙连接2. 处理腔体2.1 处理腔体内径不小于9.5英寸 (241毫米)2.2 * Wafer芯片尺寸至少满足10-150mm直径的材料，方片125x125mm，无需更换片托2.3 配有适配四英寸1/4基片的嵌入式托盘2.3 腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质3. 旋转马达3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec3.3马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%4. 控制系统4.1 工艺时间设定范围至少满足1-5999.9 sec/step ，精度不超过0.1s4.2 配有高精度PLC可编程的控制器，设置点精度小于0.006%4.3 可存储不少于20个程序段，每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态4.4 *分辨率要小于0.5RPM，重复性误差要小于±0.5RPM，具有国际标准认证，并且无需再校准5. 配套泵浦5.1 配套真空泵系统：无油型 220~240伏交流，50/60赫兹5.2 真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可调节，抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟) 6. 系统附件6.1 *免费赠送基于Windows的操作软件6.2 原装进口水平测试仪6.3 两袋密封圈6.4 *配有两套可更换的废液接收单元 | 无 |
| 通风清洗台 | 1 | 台 | Laurell | EDC-WetStation | 是 | 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训; | 1、通风橱外壳板为：瓷白 PP 板，T10mm，德国劳士领2、观察门为透明 PVC 板，T5mm，台湾南亚品牌3、通风橱底部装有防漏托盘，瓷白 PP 板，T5mm，德国劳士领4、通风橱顶部装有黄色照明灯管5、设备左右两侧各安装 1 个五孔插座，含保护罩6、设备尺寸：长宽高1500x900 x1850mm | 无 |
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