南方科技大学-竞价公告(CB143252018000771)

招 标 正 文
 

南方科技大学-竞价公告(CB143252018000771)

基本信息：
申购单主题：高温超导沉积仪
申购单类型：竞价类
设备类别：仪器仪表
使用币种：人民币
竞价开始时间：2018-11-12 13:36
竞价结束时间：2018-11-19 12:00 我要报价
申购备注：1.本单采购预算为19.80万元，超过预算金额的投标为无效投标。 2.质保期：一年。 3.付款方式：全部货物按照合同约定，设备到达指定安装现场且安装、调试验收合格并提供全额发票后支付合同总额的95％；余款5％待质保期满且无质量问题并经学校确认后支付。 4.送货时间：合同签订后30天内。 质保期、付款方式、送货时间为最低要求，不满足以上要求的视为无效投标。 5.本项目打包采购。投标人须为境内合法注册登记的法人，中标后不允许分包、转包。投标人必须按要求在报价说明一栏分别填写所投产品生产厂商（全称）和产地信息，如不提供，视为无效投标。
申购设备详情：

设备名称数量单位品牌型号是否标配售后服务规格配置附件
高温超导沉积仪1套沈阳科仪（SKY）PLD300是按行业标准提供服务系统主要由溅射真空室、旋转靶台、抗氧化基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成；主要仪器参数如下：1.溅射真空室组件 1套 球型真空室尺寸Ф300mm，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或进口氟橡胶圈密封； 1.1、RF150法兰接口：1个（或开门组件）； 1.2、CF150法兰接口：2个（基片样品台组件、靶组件）； 1.3、CF63法兰接口：1个（激光入射窗口、备用） 1.4、CF16法兰接口：4个（进气管路、充气阀、备用、低真空） 1.5、CF150法兰接口：1个（分子泵）； 1.6、CF50法兰接口：1个(备用)； 1.7、CF35法兰接口：3个（电离规管、照明、离子源）； 1.8、CF35法兰接口：1个（旁抽）； 2、旋转靶台组件 1套 2.1、每次可以装4块靶材，靶材尺寸：Φ1"； 2.2、每块靶材可实现自转，转速5～60转/分，连续可调，由电机驱动磁力耦合机构控制； 2.3、靶位公转换位机构，由电机驱动磁耦合机构控制； 2.4、靶材屏蔽罩将3块靶材屏蔽，每次只有一个靶材露出溅射成膜，以避免靶材之间的交叉污染； 3、抗氧化基片加热台组件 1套 3.1、基片尺寸：可放置φ1″基片； 3.2、基片加热最高温度 800℃±1℃，由热电偶闭环反馈控制，采用抗氧化材料作加热器； 3.3、基片可连续回转，转速5～60转/分，电机驱动磁耦合机构控制； 3.4、基片与旋转靶台之间距离30～90mm可调，由腔外手动波纹管调节机构控制； 3.5、手动控制样品挡板组件：1套； 3.6、样品托：2个； 4、窗口及法兰接口部件 1套 4.1、RF150两用活开门：1套（其上有铰链、锁紧件、φ100观察窗）； 4.2、CF63石英玻璃窗口：1块（可透过紫外248nm波段的JGS1石英玻璃，供激光入射使用）； 4.3、CF35陶瓷封接引线法兰：1个（照明及内烘烤引线）； 4.5、CF16盲法兰：各1个；CF35、CF50、CF63盲法兰：1个。 4.6、室内进气法兰CF接管D6：1套（其上有CF16双面法兰、铜管、D6卡套、瓷管等） 5、工作气路 2路 5.1、100SCCM质量流量控制器、充气阀CF16、管路、接头等：2路（汇博隆） 5.2、充气阀CF16、管路、接头等：1路（解除真空充氮气）； 6、抽气机组及阀门、管道 1套 6.1、软联接金属软管：1套 ； 6.2、旁抽管路、KF40电磁隔断阀及角阀CF35：1套 ； 6.3、CF150-B手动闸板阀：1台（用于真空室隔离）； 7、安装机台架组件 1套 优质方钢型材焊接成，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四只脚轮，可固定，可移动； 8、真空测量及电控系统 1套 8.1、电源机柜：1台（含总控电源，有断电保护功能）； 8.2、控制电源：1台（为机械泵、电磁阀等提供电源）； 8.3、样品加热控温电源：1套（可实现程序控温）； 8.4、电机旋转电源：3套； 8.5、加热烘烤及照明电源：1套； 8.6、宽量程数显真空计（成都）：1套；测量范围：1.0x105Pa～1.0x10-8Pa。 8.7、质量流量显示器：1套； 9、备件 1套 9.1、无氧铜密封垫圈及管路：CF16：3个；CF35：5个；CF150：2个；￠6mm卡套：4套；￠6mm不锈钢管：6m 无
联系方式：400-838-0606

标签: 大学 科技

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