云南大学-竞价公告(CB106732018000329)
云南大学-竞价公告(CB106732018000329)
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 等离子增强化学气相沉积系统 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 机电设备 |
| 使用币种： | 人民币 |
| 竞价开始时间： | 2018-11-13 21:00 |
| 竞价结束时间： | 2018-11-16 21:00 我要报价 |
| 申购备注： | 必须是原厂或提供原厂授权。 |
| 申购设备详情： |
| 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 等离子增强化学气相沉积系统 | 1 | 台 | 贝意克 | 前端预热滑轨式PECVD系统BTF-1200C-II-SL-PECVD | 否 | 按行业标准提供服务 | 1.开启式真空管式滑轨炉 BTF-1200C-II-SL 炉管尺寸：Φ50/φ60/φ80/φ100mm加热元件：电阻丝（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo）加热区长度：200mm+200mm恒温区长度：100mm+100mm工作温度：1100℃最高温度：1200℃控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能控温精度：±1℃升温速率：10℃/min炉门结构：开启式工作电源：AC220V /50HZ额定功率：3KW2.预加热炉主要参数：加热区长度：100mm工作温度：1100°C控温方式:智能化30段可编程控制控温精度：±1℃额定功率：800W工作电压：220V加热元件：电阻丝3.三路供气系统技术参数： 流量计类型：质量流量计连接头类型：双卡套不锈钢接头。标准量程（N2)：50sccm、 200sccm、500 sccm；（量程可选）准确度：±1.5％线性：±0.5～1.5％重复精度：±0.2％响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec工作压差范围：0.1～0.5 MPa最大压力：3MPa接口：Φ6,1/4工作环境温度:5~45高纯气体内外双抛不锈钢管：Φ6截止阀：Φ64.射频电源与匹配器技术参数：电源：单相50/60Hz 220v±10％加热（功率）电源：2.5KW，25A控制柜电源空气开关：32A空气开关 薄膜生长室温度：室温~ 1200℃信号频率：13.56 MHz±0.005％射频功率输出范围：0~500W5、 真空部分技术参数：空气相对湿度≤85％，工作电电压：220V±10％50~60HZ 功率：400W 抽气速率：10m?/H极限真空：4X10-2Pa实验真空度：0.1Pa(空载）进气口口径：KF25排气口口径：KF25 | 无 |
标签: 大学
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