云南大学-竞价公告(CB106732018000329)
云南大学-竞价公告(CB106732018000329)
基本信息: | |
申购单主题: | 等离子增强化学气相沉积系统 |
申购单类型: | 竞价类 |
设备类别: | 机电设备 |
使用币种: | 人民币 |
竞价开始时间: | 2018-11-13 21:00 |
竞价结束时间: | 2018-11-16 21:00 我要报价 |
申购备注: | 必须是原厂或提供原厂授权。 |
申购设备详情: |
设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
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等离子增强化学气相沉积系统 | 1 | 台 | 贝意克 | 前端预热滑轨式PECVD系统BTF-1200C-II-SL-PECVD | 否 | 按行业标准提供服务 | 1.开启式真空管式滑轨炉 BTF-1200C-II-SL 炉管尺寸:Φ50/φ60/φ80/φ100mm加热元件:电阻丝(Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo)加热区长度:200mm+200mm恒温区长度:100mm+100mm工作温度:1100℃最高温度:1200℃控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能控温精度:±1℃升温速率:10℃/min炉门结构:开启式工作电源:AC220V /50HZ额定功率:3KW2.预加热炉主要参数:加热区长度:100mm工作温度:1100°C控温方式:智能化30段可编程控制控温精度:±1℃额定功率:800W工作电压:220V加热元件:电阻丝3.三路供气系统技术参数: 流量计类型:质量流量计连接头类型:双卡套不锈钢接头。标准量程(N2):50sccm、 200sccm、500 sccm;(量程可选)准确度:±1.5%线性:±0.5~1.5%重复精度:±0.2%响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec工作压差范围:0.1~0.5 MPa最大压力:3MPa接口:Φ6,1/4工作环境温度:5~45高纯气体内外双抛不锈钢管:Φ6截止阀:Φ64.射频电源与匹配器技术参数:电源:单相50/60Hz 220v±10%加热(功率)电源:2.5KW,25A控制柜电源空气开关:32A空气开关 薄膜生长室温度:室温~ 1200℃信号频率:13.56 MHz±0.005%射频功率输出范围:0~500W5、 真空部分技术参数:空气相对湿度≤85%,工作电电压:220V±10%50~60HZ 功率:400W 抽气速率:10m?/H极限真空:4X10-2Pa实验真空度:0.1Pa(空载)进气口口径:KF25排气口口径:KF25 | 无 |
标签: 大学
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