天津大学-竞价公告(CB100562018001733)
天津大学-竞价公告(CB100562018001733)
| 基本信息： | |
| 申购单主题： | 3D全自动光学轮廓仪 |
| 申购单类型： | 竞价类 |
| 设备类别： | 仪器仪表 |
| 使用币种： | 美元 |
| 竞价开始时间： | 2018-11-14 10:45 |
| 竞价结束时间： | 2018-11-15 12:00 我要报价 |
| 申购备注： | ********45 |
| 申购设备详情： |
| 设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 3D全自动光学轮廓仪 | 1 | 套 | zygo | zegage plus | 是 | 按行业标准提供服务 | 1)*纵向扫描范围≥20mm，（单次扫描取样，不接受多次纵向拼接扫描。）；2)*测试原理:具备非接触相干扫描干涉CSI采样方式，无须切换扫描模式，可在不小于300um的扫描范围内，单次扫描，达到下列3项，4项性能要求。3)*表面形貌重复性≤0.15nm，（在扫描范围不小于300um情况下）; 附注14)RMS数值重复性优于:0.01nm （在扫描范围不小于300um情况下）; 附注25)扫描速度≥70um/s ;6)*摄像头分辨率：1024x1024,最大采样数据点：********)台阶测量：准确度：≤1％ ，重复性≤0.3％ @1 sigma 8)*主机包含抗震功能，无需另配隔震平台就可以实现高速精确测量（基于硬件和算法，非后期数据处理）。 9)*10倍干涉物镜一个, 50倍干涉物镜一个; 1X目镜。在1倍目镜10倍物镜组合下，视场范围X，Y皆不小于0.8mm, 在1倍目镜50倍物镜组合下，视场范围X，Y皆不小于0.17mm。10)手动编码4位镜头塔台；11)包含电脑及测试软件；12)样品台自动XY平移功能，带拼接软件；13)*XYZ三方向自动控制；工作台容忍样品最大高度147mm;14)带拇指控制按钮的控制器，可同时控制速度和聚焦模式的切换。15)Z轴聚焦模式：100mm自动聚焦。附注1：表面形貌重复性，根据ISO规定，是指测试一个超光滑表面，典型的如碳化硅。两次测试结果的两个数据，不加任何数据平均，像素与像素对减，其残差的RMS为表面形貌重复性。附注2：超光滑样品，36次测量，RMS数值变化范围。 | 无 |
标签: 大学
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