姓名

工作单位

职称

专业

李智慧

四川大学

研究员

核技术应用

刘波

四川大学

副研究员

核技术应用

贺平逆

贵州大学

副教授

核技术应用

韦建军

四川大学

副研究员

材料物理

黄萍萍

国浩律师（成都）事务所

专职律师

法律

拟采购清单

序号

产品名称

数量

预算

（万元）

机电产品

（是或不是）

专家组采购建议

（同意或不同意）

1

轮廓仪

1

39.8

否

建议采购

2

真空检漏仪

1

32.6

否

建议采购

3

红外测温仪

1

33.8

否

建议采购

4

高速相机

1

94.6

否

建议采购

5

X射线衍射仪

1

206.6

否

建议采购

6

X射线光电子能谱仪

1

394.8

否

建议采购

7

傅里叶红外光谱仪

1

73

否

建议采购

专家论证意见

1、成都大学因科研和教学需求，急需购置轮廓仪（3D光学轮廓仪）一台，主要用于样品表面微细形状测定等方面的研究。如何准确地表征镀层厚度、表面粗糙度、表面缺陷的观测决定了该镀膜工艺的功能。该类薄膜的厚度及粗糙度通常介于亚微米至毫米之间，原子力显微镜无法表征如此大起伏的结构，而常规光学显微镜无法得其三维结构。超景深光学显微镜可以利用2D图像拼接实现三维成像，通过不同的放大倍率来观测样品的表面形貌，但对于反光或透光较强的金属/非金属薄膜材料则不适应。作为一种精确观察材料表面形貌的技术，白光干涉扫描技术的测试结果是基于每个像素点上的光强信号单独分析，其结果是基于绝对物理高度。在测量具有微纳结构的表面的数据时，白光干涉扫描具有很大的优势，能够测量有微纳结构金属/非金属镀膜材料的粗糙表面。即使表面形貌降低到亚微米结构，现白光干涉仪对表面粗糙度的测量已经可以达到0.1 nm的分辨率，这是超景深光学显微镜远远不能比及的。白光干涉原理测量样品表面轮廓的特征时，针对样品材料自身的反光或较强透光的属性，也能较好的得出其表面的干涉信号，从而构建出其的表面轮廓特征。同时基于白光干涉扫描的3D光学轮廓仪也能够实现大面积高精度的观测。因此白光干涉扫描技术现已成为了镀膜表面观测领域性价比非常高的技术。采购人的上述采购需求是合理的。

国内该产品尚处于初步研发阶段，技术指标相对较低，其垂直测量精度在1nm（Z轴为电动驱动），横向分别率在0.5um，可测样品反射率在0.5%-100%，产品性能无法达到测试需求。目前，国外的Filmetrics、Keyence等品牌光学轮廓仪，其垂直测量精度能达到0.1 nm(Z轴为压电陶瓷驱动)，横向分辨率达到0.4 um，可测样品反射率在0.05%-100%，粗糙度测量标准达到国际标准：ISO25178。因此只有进口产品能够满足采购人上述设备的质量及技术水平的要求，国内产品无法满足采购人实际工作需要。

该进口产品符合采购人实际工作需求，同时不属于产品《中华人民共和国禁止进口、限制进口产品目录》中禁止或限制产品，因此建议采购进口产品。

2、成都大学因科研和教学需求，急需购置真空检漏仪一台，主要用于等离子体发生装置的性能、应用影响方面的检测。为保证等离子体发生装置系统能稳定的工作，需满足如下技术要求：需具备180°磁偏转质谱室；真空模式最小可检氦漏率：5×10-13Pa m3/ s；前级泵的抽速：≥16m3/h，分子泵对氦气抽速：≥8 L/s；进气口最大压强：≥1500Pa。真空检漏仪需具备高灵敏度的质谱室和独特的三进气结构分子泵：检漏采用全逆扩散检漏方式，即使是在精检和超精检模式依然采用逆扩散检漏方式。同时，作为高校的实验室建设，还要兼顾仪器的精度、稳定性和可扩展性，以便在仪器平台上开发新的分析方法。采购人的上述采购需求是合理的。

目前国产真空检漏仪还采用落后的90°质谱室，灵敏度完全达不到器件检漏仪的高灵敏度要求；前级泵初抽速率只有1.8 m3/h，很难达到采购人系统的抽气速率要求，国产检漏仪质谱室灵敏度低及普通的双进气结构分子泵。粗检采用逆扩散检漏模式，但是在精检时却采用的是传统的顺流检漏模式。在精检模式，被检工件的气体非常容易进入质谱室。因此质谱室容易被水汽和杂质污染。目前瑞士，德国，法国，加拿大等国外厂家生产的该产品采用全球领先的180°磁偏转质谱室；真空模式最小可检氦漏率可达5×10-13Pa m3/ s；前级泵的抽速16m3/h以上，分子泵对氦气抽速8 L/s以上；进气口最大压强可达到1500Pa以上。因此只有进口产品能够满足采购人上述设备的质量及技术水平的要求，国内产品无法满足采购人实际工作需要。

该进口产品符合采购人实际工作需求，同时不属于产品《中华人民共和国禁止进口、限制进口产品目录》中禁止或限制产品，因此建议采购进口产品。

3、成都大学因科研和教学需求，急需购置红外测温仪一套，主要用于等离子体靶材的性能、应用影响方面的研究。保证对等离子体靶材的温度进行分析，因为靶材在等离子体作用下温度会急剧上升，故测温范围不能低于2000℃，采购人希望得到清晰的红外图，在50Hz的拍摄速度下红外图像分辨率不低于640*480像素（窗口模式下可达200Hz）；为保证准确识别出靶材的温度变化，其测温仪的热灵敏度＜30mK（非优化或插值算法）；同时具备多波段动态成像MSX功能；为使各设备之间的通信与控制热像仪须支持以下通信协议：TCP, UDP, HTTP，ICMP, IGMP,DHCP，ftp,uPnP。通过蓝牙技术连接、通过无线通信方式传输红外图像；内置GPS定位功能；配备视场角32 x 24mm 50um微距镜头，考虑到红外的特殊性，需配置透过率不低于95%的锗玻璃红外窗口，能承受真空压强。同时，作为高校的实验室建设，还要兼顾仪器的精度、稳定性和可扩展性，以便在仪器平台上开发新的分析方法。采购人的上述采购需求是合理的。

目前国内的红外热像仪厂家主要有浙江大立，上海热像等为主。目前国内的设备在测温范围不超过1200℃，而采购人使用等离子体轰击靶材的时候温度是会高于这个温度范围，当所测试的温度高于设备的测温范围，会对设备造成不可修复的损伤，达不到采购人科研需要的不低于2000 ℃的测温范围；当红外分辨率在640*480时帧频能达到50Hz，但是不能进入高帧频200Hz窗口模式拍摄，其目的主要是为了捕捉到更多的温度信息，从而更准确的分析出靶材的性能；国内的设备灵敏度仅为0.06℃@30℃，进口设备是其性能的两倍，灵敏度越高其温度变化情况就越清晰，温度越真实，灵敏度是红外热像仪尤为关键的一个性能指标；国内红外测温仪设备的通信协议单一，满足不了与其他设备之间的通信及信号触发。目前能达到采购人的技术要求主要以美国，德国，法国，加拿大厂家生产该产品。因此只有进口产品能够满足采购人上述设备的质量及技术水平的要求，国内产品无法满足采购人实际工作需要。

该进口产品符合采购人实际工作需求，同时不属于产品《中华人民共和国禁止进口、限制进口产品目录》中禁止或限制产品，因此建议采购进口产品。

4、成都大学因科研和教学需求，急需购置高速相机一套，主要用于等离子体发生以及对其性能、应用影响方面的研究。为保证对等离子体进行分析，必须要求在全画幅分辨率下拍摄速度不少于1024*1024@12,500fps，在640*488像素下不低于40,000fps，在640*384像素下不低于50,000fps，在384*264像素下不低于@100,000fps，采用单一像素尺寸为20x20微米的方形CMOS芯片，以降图像采集时间，保证采集到的等离子体图像清晰，分析其发生过程才有实质性的意义；由于等离子体产生的时间特别短，基本都在几十至百微秒以内，为能准确抓住其产生，那么高速相机的快门时间不得慢于1微秒。因等离子体产生的时间短，持续时间也短，故高速相机需用专门触发信号触发，所以高速相机触发信号输入须有：触发（TTL／开关）、同步信号、IRIG；当多台高速相机并用时，为保证各高速相机之间的时间同步，高速相机必须有输出触发、各种同步信号、ready signal。采购人的上述采购需求是合理的。

目前国内该产品仅有一家合肥君达在研发，他们相机的最高技术性能为：在全画幅分辨率状态下拍摄速度为：1280*680@4,000fps，远达不到采购人对高速相机要求的性能；在23500fps的拍摄速度下，其分辨率只有1280*128，满足不了采购人对分辨率的要求；采购人的最低分辨率要求单边300以上，国产设备能满足这个分辨率的情况下，其拍摄速度仅为8,000fps，不能满足采购人的速度要求。另国内的最高拍摄速度仅为：1024*64@47,000fps，此时的图像为窄带状，不能将采购人的拍摄对象覆盖在内，也远达不到采购人要求的最快的速度，其拍摄出来的图像也是没有意义的。能够满足采购人科研所需的高速相机主要以日本，德国，美国厂家生产该产品。因此只有进口产品能够满足采购人上述设备的质量及技术水平的要求，国内产品无法满足采购人实际工作需要。

该进口产品符合采购人实际工作需求，同时不属于产品《中华人民共和国禁止进口、限制进口产品目录》中禁止或限制产品，因此建议采购进口产品。

5、成都大学因科研和教学需求，急需购置X射线衍射仪一台，主要用于金属、陶瓷材料、有机和无机材料中晶体结构的定性、定量和无标样定量分析，以及精确测定晶胞参数，微观结构分析，固溶体、薄膜的厚度、密度和粗糙度、晶体排列缺陷等微结构分析以及结构对其性能影响方面的研究。为保证数据的精度与可靠性，根据国家的粉末衍射仪计量检定规程的要求，要求角度 2θ示值误差≤±0.02度，无标样定量分析对数据质量的要求也是2θ示值误差≤±0.02度。此外，当前进口品牌都已采用带能量分辨率的阵列探测器，（能量分辨率<380eV）测量速度比普通的点式探测器块450倍，准“零”噪音，因此信噪比>350:1; 含量低至0.5%的含量都可以轻松检出。采购人的上述采购需求是合理的。

目前国内衍射仪的角度2θ示值误差≤±0.2度，与计量标准差一个数量级，产品性能无法达到测试需求。国内高校和科研单位，科研和教学，大都采用的是进口的X射线衍射仪。进口品牌有德国布鲁克、日本岛津、意大利揭尔纳、荷兰帕纳科等厂家生产该产品，2θ示值误差≤±0.02度，有的更是可以达到≤±0.007度。此外，目前国产仍采用传统的闪烁探测器（能量分辨率是<4800eV），噪音高，信噪比大约只有5：1,无法满足无标样分析和含量低5 %的微量相检出。因此只有进口产品能够满足采购人上述设备的质量及技术水平的要求，国内产品无法满足采购人实际工作需要。

该进口产品符合采购人实际工作需求，同时不属于产品《中华人民共和国禁止进口、限制进口产品目录》中禁止或限制产品，因此建议采购进口产品。

6、成都大学因科研和教学需求，急需购置X射线光电子能谱仪（XPS）一台，主要用于金属，陶瓷材料以及其他无机和有机高分子材料的表面成分和化学态的表征和研究。主要的研究方向都涉及对化学物质和材料以及器件的表面成分、表面掺杂/吸附/扩散、表面颗粒物、表面腐蚀、纳米级多层膜结构、性能及其应用进行分析和表征，经常需要用XPS对材料表面的元素成分及化学态（价态和分子键合）进行定性、定量分析，特别是扫描聚焦XPS能够对微区进行差异性分析，同时具备化学态成像及深度剖析能力，可获得表面成分分布及纵深方向的分布信息。为保证使用要求，该设备需要涉及到高真空系统(真空度需要优于10-8Pa)，高能量分辨（小于0.5eV）和高信号灵敏度(大于2Mcps)以及分析的重复性和可靠性等要求，考虑到金属以及其他样品成分的多样性和复杂性，同时，作为高校的实验室建设，还要兼顾仪器的精度、稳定性和可扩展性，以便在仪器平台上开发新的分析方法。采购人的上述采购需求是合理的。

目前国内该产品尚处于初步研发阶段，没有此类产品销售。目前国外有热电、岛津、ULVAC-PHI等厂家生产该产品，且都可以满足对固体材料表面成分的定性定量分析要求，同时均配置数据处理软件以及对应的标准数据库。因此只有进口产品能够满足采购人上述设备的质量及技术水平的要求，国内产品无法满足采购人实际工作需要。

该进口产品符合采购人实际工作需求，同时不属于产品《中华人民共和国禁止进口、限制进口产品目录》中禁止或限制产品，因此建议采购进口产品。

7、成都大学因科研和教学需求，急需购置傅里叶红外光谱仪一台，主要用于催化研究中气体产物的在线检测。为实现对特定催化反应产物的实时监测，例如NO、NO2、N2O、SO2、NH3、CO、CO2、CH4、C2H8、C3H6等（由于某些气体分子的化学不稳定性，无法使用气相色谱进行快速定量检测），要求使用傅里叶红外光谱仪连续快速在线测量目标气体中各气体组分，并能实时检测出各组分气体浓度。由于气相反应气流速度较快，因此这将要求仪器需有快速采集功能，当气体发生反应时能立即得到各浓度变化结果，具体参数要求如下：在370-6000波数范围内，谱图快速采集能力需达5 scans/秒，分辨率需达到0.5cm-1及以上。若要实现对产物的长时间监测，光谱仪需能够进行1秒至无限时连续扫描。同时，傅里叶红外光谱仪需具有压力和温度自动补偿，能够在多种环境中工作，使分析结果更加准确。为实现对气体产物的定量分析，光谱仪需内置校准系统，仪器精度须在0.01cm-1及以上，方可有效避免了仪器外部环境随机产生的影响。此外，傅里叶红外光谱仪要求具备远程连接功能，分析数据能实时输出到其它控制系统如DCS等。采购人的上述采购需求是合理的。

目前国内该产品功能比较单一且稳定性差，尤其是对于气体样品的定量检测比较困难。目前国外有赛默飞、布鲁克、岛津等厂家生产该产品，且可实时在线检测NO、NO2、N2O、SO2、NH3、CO、CO2、CH4、C2H8、C3H6等气体组分。几个品牌的红外光谱仪在370-6000波数范围内，谱图快速采集速度均能达到5 scans/秒，分辨率可达0.5 cm-1。因此只有进口产品能够满足采购人上述设备的质量及技术水平的要求，国内产品无法满足采购人实际工作需要。

该进口产品符合采购人实际工作需求，同时不属于产品《中华人民共和国禁止进口、限制进口产品目录》中禁止或限制产品，因此建议采购进口产品。

相关单位和个人对专家组论证意见有异议的，可以自本公示发出之日起3个工作日内，填写《进口产品公示反馈意见》，并分别报送采购人和财政部门。

采购人联系人：杨老师 电话：138*****151/liuqiancheng@cdu.edu.cn">***-********

审核财政部门联系人：肖老师 电话：***-********