晶圆清洗机国际招标公告(2)0613-194022150617
晶圆清洗机国际招标公告(2)0613-194022150617
上海机电设备招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2019-03-06在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:中芯集成电路制造(绍兴)有限公司计划为中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目购买一批工艺生产设备
资金到位或资金来源落实情况:资金已到位
项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件
2、招标内容
招标项目编号:****-********0617
招标项目名称:晶圆清洗机
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 晶圆清洗机/Wet buffer oxide etch,晶圆清洗机/B clean | 2台 | 1、晶圆清洗机/Wet buffer oxide etch:1台,实现55纳米级别清洗;Oxide etch;均匀性好;2、晶圆清洗机/B clean:1台,实现55纳米级别清洗,去除颗粒能力强 |
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