中国科学院长春光学精密机械与物理研究所采购红外介质薄膜蒸镀系统国际公开招标国际招标公告(1)2928
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所采购红外介质薄膜蒸镀系统国际公开招标国际招标公告(1)2928
中研(长春)工程咨询有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2019-03-07在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:红外介质薄膜蒸镀系统1套
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:本项目已由中国科学院重点实验室批复
2、招标内容
招标项目编号:****-********0005
招标项目名称:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所采购红外介质薄膜蒸镀系统国际公开招标
项目实施地点:中国吉林省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 红外介质薄膜蒸镀系统 | 1套 | 该红外介质薄膜蒸镀系统包括电子束蒸镀和磁控溅射镀膜两个子系统。主要实现Au、Al、Ag、Cr、Ni、Pt等常用金属薄膜及VOx、Al2O3、SiO2、SiNx等介质薄膜等沉积工艺。该红外介质薄膜蒸镀系统主要包括真空腔体、真空系统、水冷系统、气路、电子枪、射频源、膜厚仪等主要部件。 具体技术规格详见招标文件。 |
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