西安电子科技大学-竞价公告(CB107012019000042)
西安电子科技大学-竞价公告(CB107012019000042)
基本信息: | |
申购单主题: | 实验型等离子系统 |
申购单类型: | 竞价类 |
设备类别: | 航空航天工业专用设备 |
使用币种: | 人民币 |
竞价开始时间: | 2019-03-26 17:51 |
竞价结束时间: | 2019-03-29 17:50 我要报价 |
申购备注: | 预计挂网天数为:3天; |
申购设备详情: |
设备名称 | 数量 | 单位 | 品牌 | 型号 | 是否标配 | 售后服务 | 规格配置 | 附件 |
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实验型等离子系统 | 1 | 台 | 宝丰堂 | Experiment—ICP | 是 | 1. 视窗玻璃最小直径; 300mm2. 台面高度, 宽度, 深度; 高度: 1000mm, 宽度: 1500mm, 深度 1000mm3. 石英腔体下部开孔尺寸; 500mm4. 石英腔体距离下部平台高度; 400mm5. 具备朗缪尔探针法兰孔,内径 45mm 的法兰孔6. 石英腔体最小外直径, 最小内直径, 最小长度, 最小观测长度等;最小内直径: 500mm, 最小观测长度 400mm。7. 具备偏压牵引法兰孔;8. PLC+触摸屏控制9. 提供 10 步序等离子参数设定( 包括: RF 功率、 等离子时间、 气体流量、 真空度)10. 等离子产生方式为 ICP 电感耦合式等离子; 11. 等离子体电源( RF) 频率为 13.56Mhz; 12. 配备两种气体通道, 使用质量流量控制器控制( MFC) ; ( O2: 量程 0~200ml、 Ar:量程 0~200ml) ; 13. 配备真空泵以及相应电感线圈冷却系统; 14. 使用 380Vac 三相五线制供电; 使用 380Vac 三相五线制供电 | 无 |
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