西安电子科技大学-竞价公告(CB107012019000042)

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基本信息:
申购单主题:实验型等离子系统
申购单类型:竞价类
设备类别:航空航天工业专用设备
使用币种:人民币
竞价开始时间:2019-03-26 17:51
竞价结束时间:2019-03-29 17:50 我要报价
申购备注:预计挂网天数为:3天;
申购设备详情:

设备名称数量单位品牌型号是否标配售后服务规格配置附件
实验型等离子系统1宝丰堂Experiment—ICP1. 视窗玻璃最小直径; 300mm2. 台面高度, 宽度, 深度; 高度: 1000mm, 宽度: 1500mm, 深度 1000mm3. 石英腔体下部开孔尺寸; 500mm4. 石英腔体距离下部平台高度; 400mm5. 具备朗缪尔探针法兰孔,内径 45mm 的法兰孔6. 石英腔体最小外直径, 最小内直径, 最小长度, 最小观测长度等;最小内直径: 500mm, 最小观测长度 400mm。7. 具备偏压牵引法兰孔;8. PLC+触摸屏控制9. 提供 10 步序等离子参数设定( 包括: RF 功率、 等离子时间、 气体流量、 真空度)10. 等离子产生方式为 ICP 电感耦合式等离子; 11. 等离子体电源( RF) 频率为 13.56Mhz; 12. 配备两种气体通道, 使用质量流量控制器控制( MFC) ; ( O2: 量程 0~200ml、 Ar:量程 0~200ml) ; 13. 配备真空泵以及相应电感线圈冷却系统; 14. 使用 380Vac 三相五线制供电; 使用 380Vac 三相五线制供电
联系方式:400-838-0606

联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 大学 科技 电子

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