一、项目名称：手套箱/真空热蒸发镀膜机集成系统

二、项目编号：S*******

三、采购人：苏州大学采购与招投标管理中心

地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼0904室

邮编：215021　　　　　　　传真：****-********

联系人：罗老师　　　　　　电话：****-********，********

电子邮箱：lrb998@suda.edu.cn

技术联系人：王老师　　　 电话：150*****926

电子邮箱：cl.wang@suda.edu.cn

四、采购货物品名、数量及主要性能参数要求

手套箱/真空热蒸发镀膜机集成系统　　1套

该系统需要将四工位手套箱与两个镀膜机进行一体化集成，实现协同工作。手套箱供应商与真空系统供应商可自行组合，提供集成服务。

1.手套箱

1.1采用四个工位，其中封装、测试两个工位，真空热蒸发镀膜机一个工位，为磁控溅射预留一个工位；箱体设置多个标准接口；泄露率﹤0.005vol%/h，工作时水氧含量小于1ppm；包含大过渡舱与两个小过渡舱，大过渡舱具有自动抽放气功能；

1.2循环系统可在较短时间内将杂质水氧吸附至1ppm以下；采用高性能吸水、除氧材料；过滤系统须采用标准0.3微米孔径滤网高性能过滤器；再生系统可实现净化系统的再生、活化；

1.3照明系统：每个工位具有独立照明，且光照亮度友好；真空系统采用国际知名品牌真空泵，过渡舱能单独控制；

1.4控制系统需采用人机友好界面智能中英文操控系统，配备彩色触摸屏，可自动控制腔体压力、自动进行三次过渡舱抽放气操作、箱体气体自动清洗功能、历史记录、自动再生/溶剂再生、自动报警与锁定等。

2.真空热蒸发镀膜机

2.1腔体要求：500 mm×500 mm×650mm，前后两个开门，腔门密闭性能好，并配有玻璃观察窗与防污挡板；两门均可单独打开，前门采用滑轨式设计，与手套箱相连；侧面具有真空系统接口法兰；

2.2真空系统：采用国际知名品牌高性能泵组结构，半小时内达到工作要求1×10-4Pa；腔体的真空极限优于8×10-5Pa；具有旁路抽气系统，可实现分子泵不停的情况下对真空腔室进行充气，并打开舱门；

2.3基片：转动基片架有4个基片位。可自动识别的基片位置。基片尺寸最大为32-32mm，每个基片位有一组模板库。可放3个不同模板图形，可任意换模板。每个基片位有独立基片挡片。在真空条件下，转换掩膜板并实现零间隙掩模接触；（投标时提供实物照片）

2.4蒸发电源：配8个有机蒸发源和2个金属蒸发源，其中有机蒸发源温度最高可到800 ℃，控温精度为±1 ℃；恒流控制金属蒸发源最大电流为200A。每组蒸发源配有独立档板。可实现有机三掺杂，金属两惨杂制备工艺；

2.5真空室防污板：真空室上方、左侧、右侧、前后门和玻璃观察窗都配有防污板（不锈钢材质）共2套；（投标时提供实物照片）

2.6膜厚探测：膜厚探测系统能多路同时显示，能多源（3源）共蒸发；膜厚可控制，精度0.01埃；可实现膜厚清零操作，清零之后按新的膜厚重新计算；可显示晶振质量或寿命等参数；

2.7控制方式：将电气部件集成于设备机架中（无需控制柜）采用控制屏或电脑界面，并采用人机友好界面中英文操控系统；

2.8保护措施：对冷却水循环系统检测保护，温度检测保护，真空度检测保护，对泵与电源进行缺水、欠压、过压过流、断路等异常情况报警并采取有效保护措施；

2.9所提供的配件必须保证在综合测试中稳定性良好，波动小于5%。

3. 配套配件

3.1复合分子泵及配套电源1套。法兰接口为200ISO-K；抽气速(L/S)(对空气)≥1200；压缩比N2>109，H2>1X104；极限压强(Pa)<5×10-7；电机转数(rpm)≥24000；冷却方式为风冷；电源输出功率≥800W，具有自动跟踪功能和485控制；

3.2磁控靶3套。靶尺寸：2吋磁控靶；可用于RF、DC或直流电源驱动；磁铁不暴露在真空中和冷却水中；有独立挡板；

3.3射频电源1台。射频恒功率输出，；一键式自动调谐匹配及自动跟踪；RS232及RS485通讯接口，可实现全功能遥控与遥测；数据显示采用带触摸屏的液晶显示器；最大允许输出功率500W；

3.4直流电源1台。恒压、恒流和恒功率三种工作模式；RS232 或RS485 通讯接口，可实现全功能遥控与遥测；20 微秒高速灭弧功能，可有效抑制磁控靶的放电现象，对磁控靶及靶材具有良好的保护作用；最大输出功率1000W；

3.5真空计1套。测量范围：1.0×10?Pa～1.0×10﹣6Pa；测量路数3路（两路低真空和一路高真空）；通讯接口RS-232；RS485；显示方式为LED数码显示（双显）；

3.6机械泵1台。要求进气口为VG40；抽气速率(L/min)≥500；极限压强(Pa)<5×10-1；电机功率≥1.1KW；

3.7超高真空插板阀1个。要求驱动方式为气动；接口通径为200mm；适用范围：1×10-5Pa～1.2×105P（全部氟胶圈密封）；打开时插板上的压差≤3×103Pa任意方向；阀体和阀座漏率1.3×10-7Pa?L?s-1。

4. 整套系统质保期不少于1年。

五、评分标准：

本次磋商采用综合评分法，总分为100分，具体内容如下：

（一）技术参数、配置及整体综合性能分（50分）

1．技术参数及配置（35分）

以供应商提供的能直接反映该产品技术参数的彩页或产品说明书等作为主要评判依据，其他情况由磋商小组根据实际情况进行评判。

（1）所提供产品多项不满足竞争性磋商文件要求（偏离），或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的，经评标委员会评审可作为无效投标。

（2）所提供产品不满足竞争性磋商文件技术要求的（偏离）、配置不详、技术参数不清或缺漏项的，每处扣3分。

2．综合性能情况（15分）

（1）所提供产品性能参数优于竞争性磋商文件要求情况（磋商小组认为超出指标有意义的）（5分）。其中优于项，每处加2分。

（2）所提供产品的市场反馈情况（10分）。根据所提供产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况以及使用提供产品发表的学术论文情况等综合评定。

（二）价格分（35分）

1．基准价：满足竞争性磋商文件要求且价格最低的报价为基准价，基准价为满分35分；

2．其他供应商的报价得分按照下列公式计算：报价得分＝（基准价／报价）×35分。

（三）综合商务（15分）

1．供应商综合实力（2分）

2．售后服务与培训情况等（10分）

（1）质保期（3分）。符合磋商文件要求的，得1分，每增加一年质保期加1分。

（2）服务、技术支持与培训承诺情况（7分）

根据磋商响应文件的相关承诺、服务网点设置情况、服务响应时间、现有用户对产品售后服务情况及服务水平的反馈等综合评定。

3．其它（3分）

（1）磋商响应文件质量（1分）。根据磋商响应文件的规范性、完整性等情况综合评定。

（2）其它优惠措施等（2分）。根据是否提供磋商文件要求范围以外，磋商小组认可的优惠措施综合评定。

六、供应商的报价应包括仪器设备费、安装调试费、测试验收费、培训费、运行维护费、税金（含美国产品被加征关税）、国际国内运输费、保险和其他为完成本项目所发生的一切费用。

七、供应商资质要求

（一）在中国注册，具有独立法人资格；

（二）经营范围包含报价产品；

八、磋商响应文件

（一）磋商响应文件组成：

1. 目录（磋商响应资料与页码对照表）

2. 磋商响应函（原件）

3. 响应基本情况一览表（原件）

4. 详细配置清单（原件）

5. 技术规格偏离表（原件）

6. 公司简介（包括公司性质、公司规模、公司业绩、公司荣誉、公司资质等，原件）

7. 资格证明材料

（1）营业执照、税务登记证以及组织机构代码证（复印件）

（2）法定代表人授权书（原件）

（3）法定代表人身份证明材料（如身份证、护照等）（复印件）

（4）法人授权代表身份证明材料（如身份证、护照等）及单位社保证明（复印件）

（5）供应商最新的年度审计报告或财务报告（复印件）

（6）仪器设备生产或经营许可证（复印件，特殊行业必须提供）

（7）仪器设备销售代理授权证明（复印件，进口货物必须提供）

（8）有关质量认证中心出具的质量体系认证证书（例如：ISO、FDA、CE、3C等，国家强制要求的设备必须提供，复印件）

（9）近三年来与本次采购相同产品的用户名单及联系方式（以教学、科研用户为主，原件）

8. 服务措施、服务承诺（主要包括针对本项目的服务、培训方案及其他优惠措施等）（原件）

9. 供应商认为应该提供的其他材料。

（二）特别说明

1. “磋商响应文件”应装订和密封，并加盖投标单位公章；

2. 正本一份，副本三份，如副本与正本有出入，以正本为准；

3. 相关材料及填写规范按照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第三条“投标文件”中的具体要求执行。

九、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，参照《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》第21条中的要求执行。

十、磋商文件价格：人民币500元（递交磋商文件时刷POS机），售后不退。

十一、供应商在报名前，须认真阅读《苏州大学招标采购仪器设备投标人须知》和本磋商公告，完全了解并接受其所有条款及要求，并在2019年4月5日12：00前将报名函（格式见附件）发送邮件至采购人处（lrb998@suda.edu.cn）；未在苏州大学供应商库(http://gysk.suda.edu.cn)注册的供应商，请在递交磋商响应文件前完成注册。注册要求如下：

（一）登录苏州大学供应商库(http://gysk.suda.edu.cn)录入相关信息；

（二）递交磋商文件时（前），携带营业执照、税务登记证以及组织机构代码证（或加载18位社会信用代码的营业执照）原件和复印件各一份交采购人审核备案。

十二、递交磋商响应文件时间：2019年4月10日8：30～9：00；

递交磋商响应文件地点：江苏省苏州市东环路50号凌云楼904室。

十三、递交磋商文件截止时间：2019年4月10日9：00。

十四、磋商时间：2019年4月10日9：00。

竞争性磋商公告附件.rar