北京量子信息科学研究院申请北京量子信息科学研究院激光直写光刻机 采购项目采用单一来源方式采购，该项目拟由华格科技（苏州）有限公司、苏州工业园区北摆宴街8号恒润商务大厦一楼A-3提供（或承担）。现将有关情况向潜在政府采购供应商征求意见。

一．采购人名称：北京量子信息科学研究院

联系地址：北京市海淀区西北旺东路10号院西区3号楼，
联系人：陈春融，
联系电话：***-********

采购项目名称及编号：激光直写光刻机

代理机构名称：华诚博远工程咨询有限公司，
联系人：杨楠，
联系电话：186*****731

二． 拟采购的服务说明：

项目背景：2017年12月24日北京市政府联合中国科学院、北京大学、清华大学等单位超前谋划、统筹部署、整合资源，创新体制机制，共同建设北京量子信息科学研究院。瞄准世界量子物理与量子信息学前沿和国家在量子信息技术等领域战略急需，在量子计算、量子通信、量子物态、量子器件、量子精准测量等方面重点研发，将推翻“围墙”，进行体制机制创新，建成世界一流新型研究机构。为响应国家重大战略部署，加快建设北京量子信息科学研究院的进度，搭建国际一流水平的量子信息实验平台，吸引全球量子领域优秀科研人才，现急需采购微纳加工和综合测试平台所需先进科研设备，加快量子实验室平台搭建进度。项目内容：采购激光直写光刻机1台套。

三． 采用单一来源采购方式的原因及相关说明：

原因：只能从唯一供应商处采购。相关说明：北京量子信息科学研究院开展了量子自旋器件与物理、量子通信单光子器件、量子精密测量中的半导体器件等方向的研究工作，需要对各种新颖微纳图形的快速实现和验证，最细线宽需达到0.6um，且光刻速度高。直写式曝光工艺是利用半导体微纳加工技术构筑半导体量子器件的关键基础工艺，较其它同型无掩膜光刻机速度快，能够很好的完成量子器件中的图形化需求。目前无掩膜的激光直写光刻机市场上，商业化的产品很难做到线条精度0.6um的最细线宽。本次欲采购的德国海德堡仪器公司所生产的MLA150无掩膜激光光刻机可以实现制作0.6um的线条；且光刻速度每分钟可达285mm2/min, 较其它同型无掩膜光刻机速度快20倍；平台的移动采用的是分辨率达10nm的双轴激光干涉仪, 可以保证其正面对准精度达0.5um, 背向对准精度达1um；高精密的气压差式自动聚焦读写头提升了自动聚焦的能力,实时动态自动聚焦范围更可高达180um,缩短了图形制作上的时间；还可以搭配128 levels的基础灰度光刻功能, 可以制作的灰度光刻图形, 增加了设备的应用范围。该设备可以为量子院的相关研究带来更高效率的直写光刻技术。海德堡仪器跨足工业生产与科研领域，是唯一一家能够提供满足实验需求的激光直写机供货商。其在大陆地区的独家代理公司是华格科技（苏州）有限公司，因此拟在华格科技（苏州）有限公司进行采购。

四． 拟定的唯一供应商名称、地址：

华格科技（苏州）有限公司、苏州工业园区北摆宴街8号恒润商务大厦一楼A-3

五． 专业人员对相关供应商因专利、专有技术等原因具有唯一性的具体论证意见，以及专业人员的姓名、工作单位和职称：

姓名	工作单位	职称	论证意见
高宇南	北京大学物理学院	研究员	拟购置的激光直写光刻机，符合量子院研究方向，是当前量子院科学研究工作的必需设备，进口仪器主要技术指标明确且满足实验需求，意向供货商产品符合科研需求，关键技术功能有技术发明专利。 专家组一致同意以单一来源形式购置该设备，建议尽快实施采购。
刘永椿	清华大学物理系	副教授
杨乐仙	清华大学物理系	副教授
王 谦	清华大学微电子所	副研究员
黄亚军	中科院半导体所	高级工程师
张硕淼	华利信（北京）会计师事务所有限公司	高级会计师
唐 莉	北京华标律师事务所	高级合伙人

六． 公示的期限：

征求意见期限从2019年03月30日至 2019年04月08日 止。

潜在政府采购供应商对公示内容有异议的，请于公示期内以实名书面（包括联系人、地址、联系电话）形式将意见反馈至市级财政有关部门和北京市科学技术委员会（联系人：郝自强，联系电话：***-********），以及使用单位北京量子信息科学研究院（地址：北京市海淀区西北旺东路10号院西区3号楼，联系人：陈春融， 联系电话：***-********）。

2019年3月29日