华诚博远工程咨询有限公司受北京量子信息科学研究院委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对激光直写光刻机进行单一来源招标，欢迎合格的供应商前来投标。

项目名称：激光直写光刻机

项目编号：HCBY-ZC-*******

项目联系方式：

项目联系人：杨楠

项目联系电话：186*****731

采购单位联系方式：

采购单位：北京量子信息科学研究院

采购单位地址：北京市海淀区西北旺东路10号院西区3号楼

采购单位联系方式：陈春融、***-********

代理机构联系方式：

代理机构：华诚博远工程咨询有限公司

代理机构联系人：杨楠、186*****731

代理机构地址： 北京市西城区宣武门外大街10号庄胜广场中央办公楼北翼13A层

一、拟采购的货物或者服务的说明:

项目背景：2017年12月24日北京市政府联合中国科学院、北京大学、清华大学等单位超前谋划、统筹部署、整合资源，创新体制机制，共同建设北京量子信息科学研究院。瞄准世界量子物理与量子信息学前沿和国家在量子信息技术等领域战略急需，在量子计算、量子通信、量子物态、量子器件、量子精准测量等方面重点研发，将推翻“围墙”，进行体制机制创新，建成世界一流新型研究机构。为响应国家重大战略部署，加快建设北京量子信息科学研究院的进度，搭建国际一流水平的量子信息实验平台，吸引全球量子领域优秀科研人才，现急需采购微纳加工和综合测试平台所需先进科研设备，加快量子实验室平台搭建进度。

项目内容：采购激光直写光刻机1台套。

二、采用单一来源采购方式的原因及相关说明:

原因：只能从唯一供应商处采购。

相关说明：

北京量子信息科学研究院开展了量子自旋器件与物理、量子通信单光子器件、量子精密测量中的半导体器件等方向的研究工作，需要对各种新颖微纳图形的快速实现和验证，最细线宽需达到0.6um，且光刻速度高。直写式曝光工艺是利用半导体微纳加工技术构筑半导体量子器件的关键基础工艺，较其它同型无掩膜光刻机速度快，能够很好的完成量子器件中的图形化需求。

目前无掩膜的激光直写光刻机市场上，商业化的产品很难做到线条精度0.6um的最细线宽。本次欲采购的德国海德堡仪器公司所生产的MLA150无掩膜激光光刻机可以实现制作0.6um的线条；且光刻速度每分钟可达285mm2/min, 较其它同型无掩膜光刻机速度快20倍；平台的移动采用的是分辨率达10nm的双轴激光干涉仪, 可以保证其正面对准精度达0.5um, 背向对准精度达1um；高精密的气压差式自动聚焦读写头提升了自动聚焦的能力,实时动态自动聚焦范围更可高达180um,缩短了图形制作上的时间；还可以搭配128 levels的基础灰度光刻功能, 可以制作的灰度光刻图形, 增加了设备的应用范围。该设备可以为量子院的相关研究带来更高效率的直写光刻技术。

海德堡仪器跨足工业生产与科研领域，是唯一一家能够提供满足实验需求的激光直写机供货商。其在大陆地区的独家代理公司是华格科技（苏州）有限公司，因此拟在华格科技（苏州）有限公司进行采购。

三、开标时间：

四、拟定的唯一供应商名称及其地址：

华格科技（苏州）有限公司、苏州工业园区北摆宴街8号恒润商务大厦一楼A-3

五、其它补充事宜

专业技术人员论证意见，以及专业技术人员姓名、工作单位及职称：

公示的期限：

本项目公示期为2019年3月30日至2019年4月8日。有关单位和个人如对公示内容有异议，请在2019年4月8日17:00（北京时间）之前以实名书面形式（包括联系人、联系地址、联系电话）向采购人、采购代理机构反馈，并同时抄送给财政部门。

采购人：北京量子信息科学研究院

采购人地址：北京市海淀区西北旺东路10号院西区3号楼

采购人联系人及电话：陈春融，***-********

采购代理机构：华诚博远工程咨询有限公司

采购代理机构地址：北京市西城区宣武门外大街10号庄胜广场中央办公楼北翼13A层

采购代理机构联系人及电话：杨楠，186*****731

财政部门：北京市财政局

财政部门地址：北京市通州区承安路3号院

财政部门联系人及电话：袁老师，***-********

六、预算金额

预算金额：367.0 万元（人民币）