关于采购进口扫描探针显微镜的技术参数公示

各潜在供应商：

河南省科教仪器设备招标有限公司受委托拟对扫描探针显微镜进行单一来源采购，现将技术参数及功能要求上网公示，请各潜在供应商对公示的内容是否合理提出意见和建议。

所有意见应于2010年10月18日中午12：00（北京时间）前以书面形式把意见书（注明联系人、联系电话并加盖单位公章）递交至河南省科教仪器设备招标有限公司，逾期不予受理。

联系人：王先生

电 话：****-********

传 真：****-********

河南省科教仪器设备招标有限公司

2010年10月15日

附：设备技术参数及功能要求

1 设备名称：扫描探针显微镜

2 设备数量：1套

3 设备用途：对金属、半导体、陶瓷、有机物、高分子、生物体等样的表面可在纳米尺度下进行观测形貌及力学等物体特性测试。可应用于材料科学、纳米生物、物理学、化学、电子学、半导体等领域应用。

应用领域:

微电子—半导体设备，数据存储磁头和媒体，应用包括形貌、电属性和力学测量（掺杂，膜厚，磁畴分布等）

先进材料—聚合物，金属，陶瓷，MEMS/NEMS，应用包括形貌测量，分子研究，磨损/摩擦学研究等方面

光通讯—激光和其他设备，应用包括形貌和电属性测量

生命科学/生物技术—细胞，组织，DNA，蛋白质，应用包括形貌测量和单个分子之间相互作用力的力学测量。

制药—药品交货/密封包装，药品发明，结晶性等

纳米操纵/刻蚀 —在纳米级别组装结构，操纵原子和分子，进行刻蚀。

4 工作条件

4.1电源：220V 1500W

4.2 气源：20-40PSI压缩空气

4.3环境温度：10℃～30℃；

4.4环境湿度： 10%～80%

5 详细技术性能要求：

*5.1 此系统应具有以下工作模式：contact AFM(接触模式)，Tapping mode（轻敲模式），Lift mode（抬起模式），Phase imaging(相位成像模式)，LFM（横向力显微镜）， STM（扫描隧道显微镜），MFM（磁力显微镜模式），EFM（静电力显微镜模式），Surface potential（表面电势成像），Piezo response（压电响应成像），CAFM（导电原子力成像模式）

5.2噪音：RMS < 0.3 ? (垂直方向).，横向分辨率：0.2nm (XY方向)

可得到稳定的云母及石墨原子像

5.3扫描方式：为保证最短机械回路，高分辨率测试，控制最低噪音水平，必须提供样品扫描方式工作。探针、探针支架、激光反馈装置保持静止。扫描管为软件线性校准管状全对称扫描管 。

5.4 气浮防震平台，防震频率1HZ

*5.5 光学系统：在操作原子力显微镜、扫描隧道显微镜的同时，可获得光学图象，10倍Nikon物镜(工作距离：49.5mm; 数值孔径：0.2; 分辨率：1.6μm)，垂直方向移动范围超过400mm, 放大倍率450倍。

*5.6管状扫描器两个

小扫描器：XY方向扫描范围≧10 μm ，Z方向扫描范围≧2.5 μm

大扫描器：XY方向扫描范围≧125 μm，Z方向扫描范围≧5 μm

*5.7扫描隧道显微镜需满足以下指标：

具有1011V/A的前置放大器，可对半导体样品进行成像。可通过开关选择1010V/A和1011V/A两个增益值，可通过开关选择400Hz, 1.5KHz, 4KHz三个滤波器。

*5.8 导电原子力显微镜需满足以下指标：

电流测量范围从50fA到1uA，电流分辨率可达50fA。样品上可加偏压大小从-12V到12V。

5.9 控制器：控制器应在每根轴上都有三个独立的DAC位(共9个)的数模转换器，用来控制扫描尺寸、扫描形状和偏移量。

6附件及备件

6.1 接触模式探针：70根

6.2 轻敲模式探针：60根

6.3 导电探针：50根

6.4 磁力显微镜探针：10根

6.5 STM探针：20根

6.6 HOPG一个（12mm x 12mm）

6.7 液晶显示器：21英寸液晶显示器2台（液晶显示器可在国内购置）