原子层沉积系统、光刻机、电感耦合等离子体刻蚀机、超高真空复合溅射镀膜系统 采购公告

浙江大学采购中心对《 原子层沉积系统、光刻机、电感耦合等离子体刻蚀机、超高真空复合溅射镀膜系统 》项目进行竞争性谈判采购，欢迎国内有能力的供应商参加谈判。

1 、采购项目 ： 原子层沉积系统、光刻机、电感耦合等离子体刻蚀机、超高真空复合溅射镀膜系统 。

2 、采购编号： ZUPC-JZ -******* 。

标项一： ALD 原子层沉积系统 一套

主要技术要求：

1 、 ALD 沉积室：不锈钢壳体、气相媒质输送系统、原位光谱在线分析系统、精确温度控制系统、四寸基片加热系统（最高可到 500 度、温度均匀性 +/- 3%@500 ℃ ）；

2 、 真空抽气系统：符合 ALD 沉积要求；

3 、 媒质输送系统：（ 1 ）气体：加热气体，包括一个 MFC 质量流率计精确控制、三个高速 ALD 阀和 1 个关断阀；（ 2 ）液体或固体：包括一个 MFC 、一个高速 ALD 阀和 1 个关断阀（ 3 ）一个清除气体，包括一个和 MFC 和 1 个关断阀；（ 4 ） 6 个气体分送阀。所有的媒质加热可到 200 度；

4 、 ALD 控制系统：有自动控制系统及人机界面。

标项二： 光刻机 一套

主要技术要求：

1 、 350W-500W 汞灯，紫外 NUV ，波长 280-450nm ；

2 、精度： 4 寸晶圆误差 +/-2% ， 6 寸晶圆误差 +/-4% ；

3 、对准：双面对准下 1-1000 微米解析度。

标项三： 电感耦合等离子体刻蚀机 一套

主要技术要求：

1 ．激励电源： 13.56MHz 1500W ；带匹配器和功率计。 1 台。

2 ．偏压电源： 500W ；带匹配器和功率计。带定时器。 1 台。

3 ．真空系统： 620 升 / 秒分子泵、 8 升 / 秒机械泵各 1 台。带真空计。

4 ．反应室尺寸： Ф 300mm

5 ．气路系统： 6 路进气（其中 2 路可作清洗）； 4 个质量流量计， 4 路显示。

6 ．可加工片子尺寸： 4 英寸 片。

7 ．均匀性： ±5% ( 4 英寸 内 )

标项四： 超高真空复合溅射镀膜系统 一套

主要技术要求：

1 、双室结构：一个主溅射室（溅射镀膜室）；一个为样品室（样品取放）；溅射室极限真空度： 6.7×10-5Pa ，系统漏率： 1×10-7PaL/S ；进样室极限真空度： 6.7×10-4Pa ，系统漏率： 1×10-7PaL/S ；溅射室和进样室共用一套真空抽气机组。溅射室烘烤照明：采用红外加热除气方式，烘烤温度： 150℃ ；

2 、超真空真空磁控靶及电源：有效尺寸 4 英寸，数量： 2 支，永磁靶，水冷； RF ： 500W ，一台； DC ： 500W ，一台。

3 、靶基距： 95mm±20mm ，用光轴加直线轴承导向，可手动连续调节，有刻度指示；

4 、样品台：可加热旋转，最大 4 英寸样品，样品台最高的加温温度为 500℃ ，程序控温；样品实现自转，转速为： 0~50 转 / 分；

5 、气路：三路进气，分别用质量流量控制器控制。

3 、参加谈判厂（商）家的资格要求：（ 1 ）国内具有独立法人资格；（ 2 ）有相当的技术力量和经济实力；（ 3 ）售后服务能力强；（ 4 ）社会信誉好；（ 5 ）注册资金 50 万元 人民币（含）以上的供应商均可参加。

4 、购买采购文件时间： 2010 年 10 月 21 日至 2010 年 10 月 26 日 （上午 9 ： 00 — 11 ： 00 ；下午 1 ： 30 — 4 ： 30 上班，放假时间（参照国家关于十一的放假通知）不发售标书）。

5 、谈判文件的购买

（ 1 ）采购文件价格每本 500 元（售后不退） ，凭单位营业执照副本复印件（加盖公章）购买。

（ 2 ）购买地点：浙江大学采购中心（浙江大学紫金港校区东四 139 室）

（ 3 ）联系人： 申 老师

（ 4 ）联系电话： ****-******** ；传真： ****-******** 。

6 、谈判响应文件递交截止时间： 2010 年 10 月 27 日 上午 9 时 。

7 、参加谈判的供应商在 2010 年 10 月 27 日 上午 9 时 前应将贰万元保证金交至浙江大学采购中心（浙江大学紫金港校区东四 139 室）。

8 、 自成交公告发出五个工作日后，请未成交单位开具收款收据（有财政或税务机关监制章）到浙江大学采购中心办理谈判响应保证金的退还手续。

9 、 谈判时间： 2010 年 10 月 27 日 上午 9 时 ，地点：浙江大学紫金港校区东四 156 室。

10 、监督单位： 浙江大学监察处；电话 : ****-******** 。

11 、 通讯地址： 杭州市西湖区余杭塘路 388 号 ；邮编： 310058; Email:zupc@zju.edu.cn 。