聚焦离子束纳米制备和加工系统 采购公告

公告发布日期：2010年 10 月 28 日

浙江大学采购中心对《 聚焦离子束纳米制备和加工系统 》项目进行竞争性谈判采购，欢迎国内有能力的供应商参加谈判。

1 、采购项目 ： 聚焦离子束纳米制备和加工系统 。

2 、采购编号： ZUPC-JZ -******* 。

标项： 聚焦离子束纳米制备和加工系统 一套

主要技术要求：

一、组成：

? 主机系统

? 样品室

? 无油真空系统

? 气体沉积系统（标配 Pt ，可扩充至多种）

? 隔振平台

? 空压机

? 冷却循环水机

? 不间断供电电源（ UPS ）

? 控制主机和显示器

二、硬件指标

聚焦离子束纳米加工和制备系统主要完成纳米尺度微结构的制备，需要在加工过程中同时观察样品加工进度和状态，并且具有加工多种材料包括导电金属材料，半导体材料，介质材料如金、氧化锌、硒化镉、二氧化硅等的功能。除了离子束加工之外，气体沉积功能也是必须包含在内的功能，除基本的 Pt 气体外，其他如 Au 等气体沉积也会对纳米结构制备提供更大的灵活性和便捷性。

（一）成像系统 ( 如果存在电子束成像 )

1 、成像分辨率： ≤ 1nm @ 15kV ； ≤ 1.5nm @ 1kV （在最佳工作距离的条件下） *

2 、电子束成像系统最大加速电压： ≥30kV

3 、 EHT 灯丝寿命： ≥ 1 年

（二）离子束加工系统

1 、离子源：液态 Ga 离子源

2 、离子源寿命： ≥ 1000 小时

3 、离子束最大加速电压： ≥ 30 kV

4 、最大离子束流强度：＞ 50 nA *

5 、离子束最大束流密度： ≥60A/cm 2 *

6 、束流交叉点分辨率： ≤ 5 nm @ 30kV *

7 、样品台 X 、 Y 方向移动距离：＞ 100 mm

8 、 Z 方向移动范围： ≥ 10 mm

9 、最大样品直径：＞ 110mm *

10 、样品室真空度： ≤2.7*10 -6 mbar

11 、可增至 5 种气体注入系统，包括 Pt 、 Au 金属气，每种气体配备独立的气体注入器，防止不同气体交叉污染 *

三、工艺指标

聚焦离子束纳米加工和制备系统要求在静态和加工时保证高质量得观察样品状态，需要较高的成像分辨率，适应于基于各种材料（包括导电，半导体，非导电，磁性材料）的结构的加工制备。加工线宽，深宽比，沉积线宽等都是 FIB 非常重要的参数指标，需要予以特别重视。

? 在加工过程中可实时观察样品状态 *

? 加工深宽比：在 50nm 线宽条件下，加工材料为 SiO2 ， ≥ 5:1 （无辅助气体） *

? 最小加工线宽 ≤ 15 nm （ Au,ZnO,SiO2 ） *

? 最小沉积线宽 ≤ 50 nm * （离子束沉积 Pt ）

注：投标方需提供 “ 工艺指标 ” 中涉及的各个参数的详细测量标准和步骤。

* 表示重要参数。

标准附件、标准工具及选配件：

1. 、标准附件及工具：按标准配置由厂家提供，包括备品备件、消耗品及专用工具。

2 、选配件

产品配置要求：

? 聚焦离子束加工和制备系统（ FIB ）： 1 套

? 提供安装操作软件的服务器一套

? 操作及安装手册各 1 套

? 维护操作手册和维修电路图各 1 套

? 标准附件及工具：用于 3 年的备品备件及消耗品。 1 套专用工具。

验收标准：

? 参见技术规格

? 设备标准应符合厂家公开的技术文件，验收程序严格遵守厂家提供的公开验收文件，所有内容须在安装现场演示，其结果须在要求范围之内。

技术服务：

? 保修期：自仪器安装调试合格，双方签署验收报告之日起两年。第三、四年人工免费，仅收取零配件成本价

? 保修期内软件硬件出现问题，应在接到用户通知后二十四小时内给予答复，五个工作日内给与解决方案并到达用户现场解决问题。重大问题或其他无法立刻解决的问题应在两周内解决或提出明确解决方案。

? 成交方提供终身维修，并保证终身免费提供软件升级。

交货时间：

合同签订后 6 个月内。

3 、参加谈判厂（商）家的资格要求：（ 1 ）国内具有独立法人资格；（ 2 ）有相当的技术力量和经济实力；（ 3 ）售后服务能力强；（ 4 ）社会信誉好；（ 5 ）注册资金 50 万元 人民币（含）以上的供应商均可参加。

4 、购买采购文件时间： 2010 年 10 月 28 日至 2010 年 11 月 4 日 （上午 9 ： 00 — 11 ： 00 ；下午 1 ： 30 — 4 ： 30 上班，放假时间（参照国家关于十一的放假通知）不发售标书）。

5 、谈判文件的购买

（ 1 ）采购文件价格每本 500 元（售后不退） ，凭单位营业执照副本复印件（加盖公章）购买。

（ 2 ）购买地点：浙江大学采购中心（浙江大学紫金港校区东四 139 室）

（ 3 ）联系人： 申 老师

（ 4 ）联系电话： ****-******** ；传真： ****-******** 。

6 、谈判响应文件递交截止时间： 2010 年 11 月 5 日 上午 9 时 。

7 、参加谈判的供应商在 2010 年 11 月 5 日 上午 9 时 前应将贰万元保证金交至浙江大学采购中心（浙江大学紫金港校区东四 139 室）。

8 、 自成交公告发出五个工作日后，请未成交单位开具收款收据（有财政或税务机关监制章）到浙江大学采购中心办理谈判响应保证金的退还手续。

9 、 谈判时间： 2010 年 11 月 5 日 上午 9 时 ，地点：浙江大学紫金港校区东四 156 室。

10 、监督单位： 浙江大学监察处；电话 : ****-******** 。

11 、 通讯地址： 杭州市西湖区余杭塘路 388 号 ；邮编： 310058; Email:zupc@zju.edu.cn 。