多功能热蒸发薄膜器件制备系统等设备 采购公告

公告发布日期：2010年 11 月 11 日

浙江大学采购中心对《 多功能热蒸发薄膜器件制备系统等设备 》项目进行竞争性谈判采购，欢迎国内有能力的供应商参加谈判。

1 、采购项目 ： 多功能热蒸发薄膜器件制备系统等设备 。

2 、采购编号： ZUPC-JZ -******* 。

标项一： 多功能热蒸发薄膜器件制备系统 一台

主要技术要求：

1 、各室极限真空度不差于 2 × 10-5Pa ；恢复工作真空时间短，从大气到工作背景真空， 40 分钟左右 ( 充干燥氮气 ) 。

2 、此一体化设备主要包括防泄漏气源柜，总电柜，一个进出样品室，一个样品预处理兼样品过渡室，一个原位真空样品传送室，一个金属溅射室和一个化学气相沉积兼真空退火室；存放置样品处尺寸以 3 英寸设计标准。

3 、样品预处理室采用直流轰击或离子源。

4 、溅射室：两个直流溅射靶和一个 RF 溅射靶并分别配备挡板，三个独立控制的微量气源，衬底温度不低于 400 OC 上下浮动范围在 0.2OC 范围内，衬底自转，样品和蒸发基底处配有上挡板；能够溅射磁性材料；独立真空获得系统。

5 、化学气相沉积兼真空退火室：五路独立控制的微量气源，热处理温度不低于 1100 ℃ ，并预留原位低能或高能电子衍射谱连接口；独立真空获得系统；升降温度的速率可控，上下浮动范围在 0.2 ℃ 范围内。

6 、样品传送室备有可以储存不少于三个样品的储存处。

标项二： 电子束与电阻蒸发复合镀膜系统 一台

主要技术要求：

复合镀膜系统主要由蒸发真空室、 E 型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、两路工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等部分组成。

1 、系统真空室： U 型水冷箱体活开门结构，尺寸大于 F 400mm ×550mm ；

2 、极限真空度： ≤6.67×10 -5 Pa ( 经烘烤除气后 ) ；

3 、系统真空检漏漏率： ≤5.0×10 -7 Pa × l/s ；

4 、短时间（ <45 分钟）真空度可达到 5×10 -4 Pa 左右；

5 、水平旋转基片加热台：可放置 4 英寸样品，加热最高温度可达 800°C±1°C ；

6 、基片加热台与蒸发源之间的距离： 300mm － 350mm 可调；

7 、垂直旋转的丝状样品放置台：安装在侧面的 16CF 法兰接口上，电机驱动磁耦合机制控制，转速 0-30rpm 可调；丝状样品放置台位于水平旋转基片加热台正下方，可随意拆卸；

? 电阻蒸发源：水冷电极 3 根，蒸发电源最大输出功率至少 2.5KW ；

9 、电子枪及电源： 270oE 型电子枪，功率 0-6KW 可调，阳极电压为 6KV 、 8KV ；

10 、离子轰击系统的接口：在该设备的腔体上正后方加工一个安装离子轰击系统的口径约为 150mm 的转接口；

11 、水冷式坩锅：四穴坩锅，每个容量至少 10ml ，单穴结构为圆台型；

12 、石英晶体振荡膜厚仪：厚度分辨率为 1? ，厚度显示范围为 0 ～ 99μm ；

13 、两路工作气路：分别配备 100SCCM 和 200SCCM 的质量流量控制器各一套。

技术服务及质量保证：

1 、提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书；

2 、在验收后，一年内免费维修，并终身维修。

现场安装具备的条件：

1 、电源 380V 50Hz 功率大于 10KW ；

2 、可靠地线 , 对地电阻小于 2Ω ；

4 、具有循环冷却水；

5 、安装场地面积 25M 2 , 高度高于 2.4M ；

6 、要求有普通氮气，压强要在 2 ～ 3 个大气压之间；

7 、外排废气管道；

培训要求：

1 、培训时间 3 3 天，培训人数 3 3 人

2 、培训内容及要求：

1 ）了解设备的工作原理、组成及各部组件、控制系统的工作原理和使用方法

2 ）熟练掌握整套系统的操作规程

3 ）能够对设备的一般故障进行诊断和简单维修，进行易损件的更换

4 ）对设备能够进行日常的维护和保养。

交货期：

合同签定后 4 个月内。

标项三： 室温等离子体增强化学气相沉积 一台

主要技术特点：

1 、鼓泡器

2 、温控水浴罐 , 经由载气鼓泡并携带进入反应室。

2 、沉积室采用上开盖的结构，有利于镀膜区的均匀性和日常的清理和维护。

3 、电极板的进气板，喷淋式进气，采用双层结构，每一层的进气孔大小和间距的优化设计，保证了进气的均匀性，镀膜质量高。

4 、压强自动控制，保证镀膜时的压强平稳恒定，配装真空压强自动控制系统。

5 、提供稳定的进口 RF 电源及匹配器，保证镀膜过程的稳定。

6 、配装电动高真空闸板阀、电控气动角阀、电动挡板、电脑复合真空计、压强自动控制装置、电脑温控仪等。

7 、基片可加热、可水冷、可升降。

8 、沉积方式：等离子体源在上方，样品在下方的表面沉积方式。

9 、基片加热器采用高温抗氧化加热材料（进口铠装加热丝），在真空高温环境中，不释放其它杂质物质，避免加热元件放气或挥发对基片和真空室的污染，高温加热通氧气时不产生氧化反应，提高了加热器的可靠性和寿命。

用不锈钢炉盘将铠装加热丝封闭安装，起到均温器的作用，提高了加热器的温度均匀性，使镀膜更均匀。温度可用电脑编程控制，可控可调。

10 、极限真空度 5×10-3Pa ，恢复工作背景真空时间短，从大气到工作背景真空（ 1Pa ）时间 15 分钟以内（充干燥氮气）， 30 分钟以内达到 0.1Pa 。

真空漏率小于 10-4Pa&#8226;L/s 。

11 、玻璃观察窗带内衬玻璃挡板，可拆卸清洗；

12 、真空抽气管路上加装分子筛过滤器。

13 、系统自动监控和保护功能强，包括缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统保护等。

14 、 PLC 控制系统一套，包括：可编程控制器（ PLC ），液晶显示电脑触摸屏。

工作条件及主要技术参数：

1 、实验室工作环境条件：供电 ～ 380V 三相供电系统（容量 10KW ）；冷却水循环量 0.3M3/H （用去离子水），冷却水温度 20℃ ～ 30℃ ；工作环境温度 10℃ ～ 35℃ ，。

气动阀门供气压力： 0.4 ～ 0.6MPa 。

质量流量控制器输入压力： 0.05 ～ 0.2MPa 。

2 、样品台 150mm 、源直径 100mm ，基片可加热、可水冷、可升降

3 、镀膜室：极限真空： 5×10-3Pa ；从大气到达 0.5Pa 时间 15 分钟以内（充干燥氮气）。

4 、进口 RF 电源功率 600W 、 13.56MHz ；带功率指示，带匹配器。

5 、沉积室的基、极间距： 40mm ～ 150mm （真空状态下在线可调）。

6 、气体控制回路： 3 路（ 2 路反应气体， 1 路载气），气体流量可调（ 1sccm-200sccm ）

7 、样品台加热器温度：室温～ 600℃ ；温度可控可调（配智能电脑温控仪）。 样品冷却采用水冷。

8 、沉积室压力调节范围： 0.1 ～ 100Pa

9 、设备占地面积： 2.0m×1.5m 。

10 、系统检测保护功能：缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空检测与保护。

主要配置 ：

1 、真空腔体部分

（ 1 ）镀膜室真空腔体（ φ350×400 ） 1 套；真空专用不锈钢壳体，上开盖，； 1.2 、上开盖升降机构 1 套；

（ 2 ）预留 CF35 法兰口若干，用于设备的功能扩展。

2 、真空系统部分

（ 1 ）大于 160L/s 分子泵 1 台；（进口）

（ 2 ）大于 10L/s 机械泵 1 台；（国产）

（ 3 ） CF100 超高真空电动闸板阀 1 台；（川北真空）

（ 4 ） CF35 超高真空旁抽气动角阀 1 台；（川北真空）

（ 5 ）高真空充放气电磁阀 1 台；（七星华创）

（ 6 ） KF32 电磁截止阀 1 台；

（ 7 ）前级不锈钢液压波纹管路 1 套；（中外合资弗莱希波）

（ 8 ）金属高低真空规管各 1 支；

（ 9 ）分子筛过滤器 1 套；

3 、气路部分

（ 1 ）气路管路 3 套（内抛光管、接头）；

（ 2 ）质量流量控制器 3 台； ( 进口 )

（ 3 ）流量显示仪 1 台（一带 4 ，自制）；

（ 4 ）气路电磁截止阀 9 台；

（ 5 ）恒温水浴箱 1 台；

（ 6 ）管路保温 1 套；

4 、部件部分

（ 1 ）观察窗 DN100 1 套；

（ 2 ）可加热、可冷却、可升降样品台 1 套；

（ 3 ）基片加热器 1 套；

（ 4 ）基片冷却台 1 套；

（ 5 ）圆形平面电极 1 套；

（ 6 ）真空室烘烤照明系统 1 套；

（ 7 ）设备主机架 1 套；

5 、电器部分

（ 1 ）美国进口 AE RF 射频电源 1 台， 13.56MHz 、 600W ；匹配器 1 台；

（ 2 ）智能电脑温控系统 1 套；温度：室温～ 600○C 可控可调；

（ 3 ）温控电源 1 台；（自制）

（ 4 ）样品台升降控制系统 1 套；

（ 5 ）上盖升降控制系统 1 套；

（ 6 ） PLC 控制系统，液晶显示电脑触摸屏；

（ 7 ）数字定时器 1 只（ 0.5 秒可控）；

6 、其它

（ 1 ）水欠压断水报警保护系统、相序检测及报警保护系统、温度检测及报警保护系统、真空系统检测及报警保护系统， 1 套；

（ 2 ）陶封电极若干，氟胶圈若干，无氧铜圈若干。

3 、参加谈判厂（商）家的资格要求：（ 1 ）国内具有独立法人资格；（ 2 ）有相当的技术力量和经济实力；（ 3 ）售后服务能力强；（ 4 ）社会信誉好；（ 5 ）注册资金 50 万元 人民币（含）以上的供应商均可参加。

4 、购买采购文件时间： 2010 年 11 月 11 日至 2010 年 11 月 17 日 （上午 9 ： 00 — 11 ： 00 ；下午 1 ： 30 — 4 ： 30 上班，双休日不发售标书）。

5 、谈判文件的购买

（ 1 ）采购文件价格每本 500 元（售后不退） ，凭单位营业执照副本复印件（加盖公章）购买。

（ 2 ）购买地点：浙江大学采购中心（浙江大学紫金港校区东四 139 室）

（ 3 ）联系人： 申 老师

（ 4 ）联系电话： ****-******** ；传真： ****-******** 。

6 、谈判响应文件递交截止时间： 2010 年 11 月 18 日 下午 1 时 30 分 。

7 、参加谈判的供应商在 2010 年 11 月 18 日 下午 1 时 30 分 前应将贰万元保证金交至浙江大学采购中心（浙江大学紫金港校区东四 139 室）。

8 、 自成交公告发出五个工作日后，请未成交单位开具收款收据（有财政或税务机关监制章）到浙江大学采购中心办理谈判响应保证金的退还手续。

9 、 谈判时间： 2010 年 11 月 18 日 下午 1 时 30 分 ，地点：浙江大学紫金港校区东四 156 室。

10 、监督单位： 浙江大学监察处；电话 : ****-******** 。

11 、 通讯地址： 杭州市西湖区余杭塘路 388 号 ；邮编： 310058; Email:zupc@zju.edu.cn 。