项目名称 高真空电阻蒸发镀膜设备 项目编号 AHU-XNJJ********
公告开始日期 2019-05-09 14:15:53 公告截止日期 2019-05-13 15:00:00
采购单位 安徽大学 付款方式 货到验收付款
联系人 中标后在我参与的项目中查看 联系电话 中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求 到货时间要求 成交后7天
预 算 ￥ 99,990.00
收货地址 蕙园11号楼101房间
供应商资质要求
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
高真空电阻蒸发镀膜设备 1 台 无
品牌 微纳真空
型号 VZZ-300
预算 ￥ 99,990.00
技术参数及配置要求 一、系统组件清单（品牌微纳真空）：
1. 真空腔室2个
2. 分子泵1台
3. 前级泵1台
4. 基片台1台
5. 膜厚仪1台
6. 蒸发热源2组
7. 循环冷水机1台
二技术参数：
1) 真空腔室：直径不小于300 mm，高度不小于420 mm；
2) 真空系统：主泵采用分子泵，分子泵抽速不小于551 L/s；前级泵抽速不小于18立方米每小时；
3) 真空极限：优于2.3×10-7 Torr；
4) 基片台尺寸：最大可镀基片尺寸不小于4英寸；具备衬底水冷功能；
5) 源基距：源基距最高可达300 mm以上；
6) 可在线监测镀膜速率和厚度；
7) 蒸发源及电源：不少于两组蒸发源，蒸发电源功率不小于2.3 KW；
8) 交货周期：合同签订后1周；
9) 其他：配齐设备需要的其它外围设备，冷水机一台，设备备品备件一套，要求设备到位后即能开展工作。
安徽大学